[發明專利]一種單晶爐冷卻組件及冷卻裝置

在審

• 申請號: 202210496479.7
• 申請日: 2022-05-09
• 公開（公告）號: CN114808111A
• 公開（公告）日: 2022-07-29
• 發明（設計）人: 周旺超;黃劍雄
• 申請（專利權）人: 無錫松瓷機電有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 無錫永樂唯勤專利代理事務所(普通合伙) 32369
• 代理人: 孫際德

1.一種單晶爐冷卻組件，其特征在于，用于冷卻單晶爐，所述單晶爐內設置有坩堝，所述坩堝與所述單晶爐的爐壁間設置有保溫層，所述單晶爐的爐底設有與所述保溫層上下相對的頂升孔，所述單晶爐冷卻組件包括頂升軸及頂升，其中：

所述頂升軸安裝在所述頂升部的頂端，所述頂升部用于向上頂升所述頂升軸，使得所述頂升軸經所述頂升孔頂入至所述單晶爐內，并向上頂升所述保溫層，以減少所述保溫層覆蓋所述坩堝的面積。

2.如權利要求1所述的單晶爐冷卻組件，其特征在于，所述單晶爐冷卻組件還包括安裝支架，所述安裝支架包括頂板、底板及連接在所述頂板和所述底板之間的側板，所述頂板、所述底板及所述側板限定出至少有一側敞開的安裝腔，所述頂板上設置有第一通孔，所述底板上設置有第二通孔；

所述頂升軸設置在所述安裝腔內，所述頂升軸的頂端經所述第一通孔穿出所述安裝腔，所述頂升部設置在所述底板的下方，所述頂升部的頂端經所述第二通孔向上穿入至所述安裝腔內。

3.如權利要求2所述的單晶爐冷卻組件，其特征在于，所述頂升部的頂端設置有頂升塊，所述頂升軸的下端安裝在所述頂升塊上，所述側板上設置有沿豎直方向延伸的導軌，所述頂升塊滑動連接在所述導軌上。

4.如權利要求3所述的單晶爐冷卻組件，其特征在于：

所述頂升塊上設置感應件；

所述側板上上下間隔設置有與所述感應件配合的第一感應開關和第二感應開關，所述感應件位于所述第一感應開關和所述第二感應開關之間。

5.如權利要求2所述的單晶爐冷卻組件，其特征在于，所述單晶爐冷卻組件還包括套設在所述頂升軸上的波紋管，其中，所述波紋管的上端連接在所述頂板上并與所述頂升軸密封貼合，所述波紋管的下端密封固定在所述頂升軸上。

6.如權利要求5所述的單晶爐冷卻組件，其特征在于：

所述波紋管的上端設有上連接法蘭，所述上連接法蘭固定安裝在所述頂板上，所述上連接法蘭上安裝有與所述頂升軸密封貼合的第一密封圈；

所述波紋管的下端設有下連接法蘭，所述下連接法蘭固定安裝在所述頂升軸上，所述下連接法蘭上安裝有與所述頂升軸密封貼合的第二密封圈。

7.如權利要求2所述的單晶爐冷卻組件，其特征在于：

所述頂板上設置有用于連接所述單晶爐的爐底的連接結構；

所述頂板的上表面上設置有環繞所述第一通孔的第三密封圈，所述頂板經所述連接結構連接至所述單晶爐的爐底后，所述第三密封圈與所述單晶爐的爐底密封貼合。

8.如權利要求1所述的單晶爐冷卻組件，其特征在于，所述頂升軸的頂端設置有軸套，所述軸套由耐高溫材料制成。

9.如權利要求1所述的單晶爐冷卻組件，其特征在于，所述頂升軸為冷卻軸，所述冷卻軸內形成有供冷卻介質流動的流道，所述冷卻軸上還設置與所述流道相通的冷卻進口和冷卻出口。

10.一種單晶爐冷卻裝置，其特征在于，用于冷卻單晶爐，所述單晶爐內設置有坩堝，所述坩堝與所述單晶爐的爐壁間設置有保溫層，所述單晶爐的爐底設有與所述保溫層上下相對的頂升孔，所述單晶爐冷卻裝置設置在所述單晶爐的爐底下方，所述單晶爐冷卻裝置包括N個如權利要求1至9任一項所述的單晶爐冷卻組件和頂升驅動裝置，其中：

各所述單晶爐冷卻組件的頂升部均與所述頂升驅動裝置傳動連接，所述頂升驅動裝置用于同步驅動各所述單晶爐冷卻組件的頂升部向上頂升對應的所述頂升軸，使得各所述頂升軸經對應的所述頂升孔同步頂入至所述單晶爐內，并向上頂升所述保溫層，以減少所述保溫層覆蓋所述坩堝的面積。