[發明專利]波導、光學組件及其集成方法

在審

• 申請號: 202210493752.0
• 申請日: 2022-05-07
• 公開（公告）號: CN114966980A
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發明（設計）人: 陳林
• 申請（專利權）人: 上海圖靈智算量子科技有限公司
• 主分類號: G02B6/26
• 分類號: G02B6/26;G02B6/12;G02B6/42
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種波導，其第一表面沿著所述波導的長度方向包括：

具有第一寬度的第一區域；以及

具有第二寬度的第二區域，其中所述第二寬度大于所述第一寬度；

其中所述波導經配置使得光能夠通過所述第二區域的至少一部分經由倏逝波耦合傳輸到第二波導。

2.根據權利要求1所述的波導，其中所述第二區域包括漸變區，所述漸變區的寬度沿著所述波導的長度方向漸增。

3.根據權利要求1所述的波導，其中所述第二區域包括沿著波導長度方向寬度不變的區域。

4.根據權利要求1所述的波導，其中所述第一表面沿著所述波導的長度方向還包括：

一或多個子區域，其位于所述第二區域的右側；

其中所述子區域的寬度沿著所述波導的長度方向漸減，使得光能夠從所述一或多個子區域經由倏逝波耦合傳輸到所述第二波導。

5.根據權利要求4所述的波導，其中所述子區域中的至少一者的寬度沿著所述波導的長度方向隨其長度的增加線性遞減。

6.一種光學組件，其包括：

第一器件，其包括第一波導，所述第一波導為如權利要求1-5中任一權利要求所述的波導；以及

第二器件，其包括所述第二波導，

其中，所述第一器件與所述第二器件通過所述第一波導的第一表面的第二區域的至少一部分與所述第二波導的第二表面的第三區域耦接。

7.根據權利要求6所述的光學組件，其中所述第三區域沿著所述波導的長度方向包括：具有第四寬度的第四區域，其中所述第四寬度與所述第二區域的所述至少一部分的寬度相當使得所述第一波導與所述第二波導能夠對準安置。

8.根據權利要求7所述的光學組件，其中所述第三區域還包括位于所述第四區域左邊的一或多個第二子區域，其中所述第二子區域的寬度沿著所述波導的長度方向漸增。

9.根據權利要求6所述的光學組件，其還包括位于所述第一器件和所述第二器件之間的介質輔助層。

10.根據權利要求6所述的光學組件，其中所述第一器件是有源器件，所述第二器件是無源器件。

11.根據權利要求6所述的光學組件，其中所述第一器件包括以下器件中的至少一者：激光器、光放大器以及光探測器。

12.根據權利要求6所述的光學組件，其中所述第一波導是InGaAsP波導。

13.根據權利要求6所述的光學組件，其中所述第二波導是鈮酸鋰波導、硅波導或非晶硅波導。

14.一種芯片，其包括如權利要求6-13中的任一權利要求所述的光學組件。

15.一種光量子集成芯片，其包括如權利要求6-13中的任一權利要求所述的光學組件。

16.一種光學組件集成的方法，其包括：

分別制備第一器件和第二器件，其中所述第一器件包括第一波導，所述第一波導為如權利要求1-5中任一權利要求所述的波導，所述第二器件包括所述第二波導；以及

對所述第一器件與所述第二器件進行鍵合耦接使得光能夠通過所述第一波導的所述第二區域的所述至少一部分經由倏逝波耦合傳輸到所述第二波導。

17.一種光電異質集成的方法，其包括如權利要求16所述的方法。