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[發明專利]一種電容式薄膜真空計的薄膜焊接方法有效

專利信息
申請號: 202210492279.4 申請日: 2022-05-07
公開(公告)號: CN114571125B 公開(公告)日: 2022-09-02
發明(設計)人: 劉喬;郭可升;侯少毅;王鳳雙;衛紅;胡強;肖永能 申請(專利權)人: 季華實驗室
主分類號: B23K31/02 分類號: B23K31/02;B23K31/12;B23K10/02;B23K37/00
代理公司: 佛山市海融科創知識產權代理事務所(普通合伙) 44377 代理人: 陳椅行
地址: 528200 廣東省*** 國省代碼: 廣東;44
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 電容 薄膜 真空計 焊接 方法
【權利要求書】:

1.一種電容式薄膜真空計的薄膜焊接方法,用于焊接固定電容式薄膜真空計的中心膜片,其特征在于,所述方法包括以下步驟:

按照預設溫度加熱所述中心膜片,所述預設溫度根據所述中心膜片的張緊力要求及材質特性進行設定;

組合所述電容式薄膜真空計的下腔體、所述中心膜片和上腔體并進行保溫,以使所述下腔體和所述上腔體夾持處于所述預設溫度的所述中心膜片的邊緣;

焊接固定所述下腔體、所述中心膜片及所述上腔體以形成組合體;

靜置冷卻所述組合體;

所述組合所述電容式薄膜真空計的下腔體、所述中心膜片和上腔體并進行保溫以使所述下腔體和所述上腔體夾持處于所述預設溫度的所述中心膜片的邊緣的步驟包括:

將加熱后的所述中心膜片對正放置在所述下腔體上使其邊緣均勻分布在所述下腔體上,并對所述中心膜片進行保溫;

將上腔體對正置于所述下腔體上并壓緊所述中心膜片邊緣;

對所述上腔體施加壓力以使所述上腔體與所述下腔體緊密夾持所述中心膜片;

所述對所述中心膜片進行保溫的步驟包括:

利用設置在所述下腔體內側的加熱支座承托所述中心膜片并對所述中心膜片進行保溫加熱以使所述中心膜片的溫度保持為所述預設溫度;

所述中心膜片材質為不銹鋼SS304、哈氏合金、3J21合金或0Cr15Ni7Mo2Al;

所述加熱支座頂部設有加熱線圈或加熱膜以對中心膜片進行接觸加熱。

2.根據權利要求1所述的電容式薄膜真空計的薄膜焊接方法,其特征在于,所述預設溫度的設定過程包括:

根據所述張緊力要求及所述材質特性計算所述中心膜片滿足所述張緊力要求所需的加熱溫度差;

根據所述加熱溫度差及當前溫度設定所述預設溫度。

3.根據權利要求2所述的電容式薄膜真空計的薄膜焊接方法,其特征在于,所述加熱溫度差根據以下公式計算獲取:

△T為所述加熱溫度差,σ為所述張緊力要求對應的張緊力,α為所述中心膜片的熱膨脹系數,E為所述中心膜片的彈性模量。

4.根據權利要求1所述的電容式薄膜真空計的薄膜焊接方法,其特征在于,所述按照預設溫度加熱所述中心膜片的步驟包括:

利用所述加熱支座對所述中心膜片進行加熱以使所述中心膜片的溫度達到所述預設溫度。

5.根據權利要求1所述的電容式薄膜真空計的薄膜焊接方法,其特征在于,所述將加熱后的所述中心膜片對正放置在所述下腔體上的步驟包括:

將加熱后的所述中心膜片拉平并保持水平狀態地對正放置在所述下腔體上。

6.根據權利要求1所述的電容式薄膜真空計的薄膜焊接方法,其特征在于,所述焊接固定所述下腔體、所述中心膜片及所述上腔體以形成組合體的步驟包括:采用帶氬氣保護的微束等離子焊接方式將所述下腔體、所述中心膜片及所述上腔體焊接固定為所述組合體。

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