[發明專利]用于真空環境的高亮度含硼電子束發射器在審
| 申請號： | 202210487111.4 | 申請日： | 2017-06-20 |
| 公開（公告）號： | CN114823250A | 公開（公告）日： | 2022-07-29 |
| 發明（設計）人： | W·G·舒爾茨;G·德爾加多;F·希爾;E·加西亞(貝里奧斯);R·加西亞 | 申請（專利權）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分類號： | H01J1/304 | 分類號： | H01J1/304;H01J1/34;H01J9/02;H01J19/24;H01J19/82;H01J33/04;H01J37/073;G21K5/02 |
| 代理公司： | 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287 | 代理人： | 劉麗楠 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 真空 環境 亮度 電子束 發射器 | ||
【權利要求書】：
1.一種設備，其包括：
發射器，其含有金屬硼化物材料，其中所述發射器包含具有形狀為截斷球形的至少部分圓形尖端的截頭圓錐形區段，且其中所述至少部分圓形尖端具有針對1μm或更小的彎曲外表面的半徑，其中所述發射器經配置以在以下發射模式中的一者中操作：
0K到低于300K的低溫場發射模式、18℃到38℃的室溫場發射模式、高于環境且低于1000K的暖溫場發射模式、熱場模式或光電陰極模式，且其中所述發射器經配置以基于所述至少部分圓形尖端的半徑而調整發射模式。
2.根據權利要求1所述的設備，其中所述金屬硼化物材料包含選自由堿金屬、堿土金屬、過渡金屬、鑭系元素，和錒系元素組成的列表的物種。
3.根據權利要求1所述的設備，其中所述金屬硼化物材料是金屬六硼化物材料。
4.根據權利要求1所述的設備，其中所述金屬硼化物材料包含LaB6。
5.根據權利要求1所述的設備，其中所述發射器可具有小于1mm2的發射面積。
6.根據權利要求1所述的設備，其中所述金屬硼化物材料具有100晶體定向。
7.根據權利要求1所述的設備，其中所述半徑為700nm或更小。
8.根據權利要求1所述的設備，其中所述半徑為450nm或更小。
9.根據權利要求1所述的設備，其中所述半徑為100nm或更小。
10.根據權利要求1所述的設備，其中所述至少部分圓形尖端包含平坦發射小面。
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