[發明專利]一種MEMS加速度計及其形成方法

在審

• 申請號: 202210464281.0
• 申請日: 2022-04-29
• 公開（公告）號: CN114594281A
• 公開（公告）日: 2022-06-07
• 發明（設計）人: 李森科·伊戈爾·葉夫根耶維奇;徐寶;吳剛;徐元
• 申請（專利權）人: 蘇州米洛微納電子科技有限公司
• 主分類號: G01P15/125
• 分類號: G01P15/125;G01P15/18
• 代理公司: 杭州創智卓英知識產權代理事務所(普通合伙) 33324
• 代理人: 季健康

1.一種MEMS加速度計，其特征在于，包括：

襯底（1）；

第一檢驗質量塊（2）以及第二檢驗質量塊（3），分別彈性懸設于所述襯底（1）上，所述第二檢驗質量塊（3）呈周向連接設置于所述第一檢驗質量塊（2）外，所述第一檢驗質量塊（2）包括主部（21）以及次部（22），所述主部（21）的水平截面積大于所述次部（22）的水平截面積；

感測梳，設有四組，分別設置于所述第二檢驗質量塊（3）的四側，每組所述感測梳包括移動梳（41）和固定梳（42），所述固定梳（42）與所述移動梳（41）相互交叉形成叉指結構，且沿著平行于其所在側對應的所述第二檢驗質量塊（3）邊長的方向延伸，所述固定梳（42）固定設置于所述襯底（1）上，各所述移動梳（41）與所述第二檢驗質量塊（3）的對應各側面彈性連接，所述移動梳（41）彈性連接于所述襯底（1）上；

第一固定平面電極（51）和第二固定平面電極（52），分別固定設置于所述襯底（1）上，所述第一固定平面電極（51）位于所述主部（21）下方，所述第二固定平面電極（52）位于所述次部（22）下方。

2.如權利要求1所述的MEMS加速度計，其特征在于，所述MEMS加速度計還包括兩個扭力桿（6），各所述扭力桿（6）均設置于所述主部（21）和所述次部（22）之間，所述第一檢驗質量塊（2）通過兩個所述扭力桿（6）懸掛于所述襯底（1）上，各所述扭力桿（6）遠離所述第一檢驗質量塊（2）的一端與所述第二檢驗質量塊（3）連接。

3.如權利要求1所述的MEMS加速度計，其特征在于，所述MEMS加速度計還包括將所述第二檢驗質量塊（3）彈性懸設于所述襯底（1）上的固定組件，所述固定組件包括第一彈性懸架（71）、第二彈性懸架（72）以及錨固件（8），所述第一彈性懸架（71）一側與所述第二檢驗質量塊（3）彈性連接，另一側與所述移動梳（41）彈性連接，所述第二彈性懸架（72）一側與所述移動梳（41）彈性連接，另一側與所述錨固件（8）彈性連接，所述錨固件（8）固定于所述襯底（1）上。

4.如權利要求3所述的MEMS加速度計，其特征在于，所述第一彈性懸架（71）設有八個，所述第二檢驗質量塊（3）的四側分別形成有兩個槽口（31），各所述第一彈性懸架（71）對應設置于各所述槽口（31）內，且與所述第二檢驗質量塊（3）彈性連接，所述第二彈性懸架（72）設有八個，所述錨固件（8）設有四個，各所述錨固件（8）對應設置于所述第二檢驗質量塊（3）的各角端，各所述錨固件（8）相鄰兩側分別彈性連接有所述第二彈性懸架（72）。

5.如權利要求3或4所述的MEMS加速度計，其特征在于，所述錨固件（8）靠近所述第二檢驗質量塊（3）的一端部上形成有開口（81），所述開口（81）與所述第二檢驗質量塊（3）上的角端呈配合設置。

6.如權利要求1所述的MEMS加速度計，其特征在于，所述MEMS加速度計還包括固定設置于所述襯底（1）上的阻尼器（9），所述阻尼器（9）設置于所述第二檢驗質量塊（3）內。

7.如權利要求1所述的MEMS加速度計，其特征在于，所述第一檢驗質量塊（2）沿其厚度方向貫穿形成有多個第一通孔（23）。

8.如權利要求1所述的MEMS加速度計，其特征在于，所述第二檢驗質量塊（3）沿其厚度方向貫穿形成有多個第二通孔（32）。