[發(fā)明專利]接近接觸式全自動曝光機有切邊晶圓的預(yù)對準機構(gòu)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210460961.5
• 申請日: 2022-04-28
• 公開（公告）號: CN114792643A
• 公開（公告）日: 2022-07-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周占福;蘆剛;王振宇;葛昕東
• 申請（專利權(quán)）人: 三河建華高科有限責(zé)任公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683
• 代理公司: 北京精翰專利代理有限公司 11921
• 代理人: 劉曉暉

1.一種接近接觸式全自動曝光機有切邊晶圓的預(yù)對準機構(gòu)，包括晶圓升降組件(40)、晶圓旋轉(zhuǎn)組件(50)、晶圓定心組件(60)、晶圓夾持組件(70)和顯微鏡(25)，其特征在于：所述晶圓升降組件(40)包括下底板(1)、電機座(2)、升降電機(3)、第一齒形帶輪(4)、齒形帶(5)、第二齒形帶輪(6)、絲杠支撐座(7)、絲杠(8)、導(dǎo)軌底板(9)、絲杠母(11)、導(dǎo)軌滑塊副(12)、連接塊(13)、絲杠支座(16)；

所述下底板(1)的上表面開設(shè)有方形通孔(34)，所述方形通孔(34)的內(nèi)側(cè)壁貼合于所述升降電機(3)的外側(cè)壁，所述下底板(1)的下表面安裝于所述電機座(2)的上表面，所述的電機座(2)的內(nèi)側(cè)底壁安裝于所述升降電機(3)的下表面，所述升降電機(3)的輸出軸貫穿于所述電機座(2)的內(nèi)側(cè)底壁且安裝于所述第一齒形帶輪(4)的上表面，所述第一齒形帶輪(4)的外側(cè)壁貼合于所述齒形帶(5)的內(nèi)側(cè)壁，所述齒形帶(5)的內(nèi)側(cè)壁貼合于所述第二齒形帶輪(6)的外側(cè)壁，所述絲杠(8)的外側(cè)壁通過軸承轉(zhuǎn)動連接于所述絲杠支撐座(7)的內(nèi)側(cè)壁，所述絲杠支撐座(7)的外側(cè)壁貫穿于所述下底板(1)的上表面，所述絲杠(8)的底端安裝于所述第二齒形帶輪(6)的上表面，所述下底板(1)的上表面安裝于所述導(dǎo)軌底板(9)的下表面，所述導(dǎo)軌底板(9)的上表面安裝于所述絲杠支座(16)的下表面，所述絲杠(8)的頂端通過軸承轉(zhuǎn)動連接于所述絲杠支座(16)的下表面，所述絲杠母(11)的內(nèi)側(cè)壁螺紋連接于所述絲杠(8)的外側(cè)壁，所述絲杠母(11)的外側(cè)壁安裝于所述連接塊(13)的內(nèi)側(cè)壁；

所述晶圓升降組件(40)的上表面安裝有晶圓旋轉(zhuǎn)組件(50)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接近接觸式全自動曝光機有切邊晶圓的預(yù)對準機構(gòu)，其特征在于：所述晶圓旋轉(zhuǎn)組件(50)包括真空接頭(10)、連接塊(13)、旋轉(zhuǎn)電機(14)、旋轉(zhuǎn)電機支架(15)、接片吸盤(24)；

所述連接塊(13)的上表面安裝于所述旋轉(zhuǎn)電機支架(15)的下表面，所述旋轉(zhuǎn)電機支架(15)的下表面安裝于所述旋轉(zhuǎn)電機(14)的上表面，所述旋轉(zhuǎn)電機(14)的空心輸出軸貫穿安裝于所述真空接頭(10)的一端。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接近接觸式全自動曝光機有切邊晶圓的預(yù)對準機構(gòu)，其特征在于：所述晶圓旋轉(zhuǎn)組件(50)的上表面安裝有晶圓定心組件(60)，所述晶圓定心組件(60)包括支撐方形板(17)、上蓋板(18)、定心漏斗(28)；

所述支撐方形板(17)共設(shè)置四個，所述下底板(1)的上表面相互對稱安裝于四個所述支撐方形板(17)的下表面，所述支撐方形板(17)的上表面安裝于所述上蓋板(18)的下表面，所述上蓋板(18)的上表面安裝于所述定心漏斗(28)的下表面。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的接近接觸式全自動曝光機有切邊晶圓的預(yù)對準機構(gòu)，其特征在于：所述晶圓旋轉(zhuǎn)組件(50)的上表面安裝有晶圓夾持組件(70)，所述晶圓夾持組件(70)包括連接板(19)、氣缸(20)、后支撐板(21)、芯軸(22)、定位套(23)、前支撐板(27)、定心漏斗(28)、軸承本體(32)、氣缸底板(33)；

所述氣缸底板(33)共設(shè)置兩個，兩個所述氣缸底板(33)的下表面安裝于所述上蓋板(18)的上表面，所述氣缸底板(33)的上表面安裝于所述氣缸(20)的下表面，所述氣缸(20)的活塞桿安裝有兩個連接板(19)，兩個所述連接板(19)相鄰的一側(cè)分別安裝于所述后支撐板(21)與所述前支撐板(27)相斥的一側(cè)，所述芯軸(22)共設(shè)置四個，所述后支撐板(21)與所述前支撐板(27)的上表面分別對稱活動安裝于兩個所述芯軸(22)的底端，所述芯軸(22)的外側(cè)壁安裝有軸承本體(32)，所述定心漏斗(28)的上表面安裝于所述定位套(23)的下表面。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接近接觸式全自動曝光機有切邊晶圓的預(yù)對準機構(gòu)，其特征在于：所述導(dǎo)軌滑塊副(12)的導(dǎo)軌安裝于所述導(dǎo)軌底板(9)的一側(cè)，所述導(dǎo)軌滑塊副(12)的滑塊滑動連接于所述連接塊(13)的一側(cè)。