[發明專利]一種飛秒激光制備掩膜版的方法在審
| 申請號： | 202210449705.6 | 申請日： | 2022-04-27 |
| 公開（公告）號： | CN114683009A | 公開（公告）日： | 2022-07-01 |
| 發明（設計）人： | 王學文;廉思甜;麥立強;柴年垚;喻科菘;潘雪雷;蔡智君 | 申請（專利權）人： | 佛山仙湖實驗室 |
| 主分類號： | B23P15/00 | 分類號： | B23P15/00;C23C14/04 |
| 代理公司： | 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205 | 代理人： | 林華龍 |
| 地址： | 528200 廣東省佛山市南海區丹灶鎮*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 激光 制備 掩膜版 方法 | ||
1.一種飛秒激光制備掩膜版的方法，其特征在于：包括如下步驟：
步驟一：剪裁金屬箔片；
步驟二：將金屬箔片包裹在蓋玻片一面；
步驟三：清潔金屬箔片表面；
步驟四：在金屬箔片上通過飛秒激光技術刻蝕出刻蝕槽，制成掩膜版。
2.根據權利要求1所述的一種飛秒激光制備掩膜版的方法，其特征在于：所述步驟一至所述步驟四中的金屬箔片設置為鋁箔。
3.根據權利要求1所述的一種飛秒激光制備掩膜版的方法，其特征在于：所述步驟二中，金屬箔片的大小大于蓋玻片的大小，蓋玻片設置于金屬箔片的中央，金屬箔片的四邊大于蓋玻片的部分彎折包覆蓋玻片。
4.根據權利要求3所述的一種飛秒激光制備掩膜版的方法，其特征在于：蓋玻片的大小設置為20mm*20mm，金屬箔片的大小設置為25mm*25mm。
5.根據權利要求1所述的一種飛秒激光制備掩膜版的方法，其特征在于：所述步驟三使用清潔劑通過無塵紙擦拭金屬箔片表面。
6.根據權利要求5所述的一種飛秒激光制備掩膜版的方法，其特征在于：清潔劑設為乙醇。
7.根據權利要求1所述的一種飛秒激光制備掩膜版的方法，其特征在于：在所述步驟三和所述步驟四之間設有步驟三a；
步驟三a：進一步清除金屬箔片表面的褶皺，除去金屬箔片與蓋玻片之間的空氣。
8.根據權利要求1所述的一種飛秒激光制備掩膜版的方法，其特征在于：所述步驟一中的金屬箔片的厚度為20μm；所述步驟四中，激光功率為1.5W；激光重復頻率為200kHz；激光脈寬為5ps；激光波長為1030nm；激光加工速度為30mms-1。
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