[發明專利]晶圓制造的配方數據收集方法和裝置

有效

• 申請號: 202210448370.6
• 申請日: 2022-04-27
• 公開（公告）號: CN114548885B
• 公開（公告）日: 2022-11-08
• 發明（設計）人: 黃藝;鄭文杰
• 申請（專利權）人: 廣州粵芯半導體技術有限公司
• 主分類號: G06Q10/08
• 分類號: G06Q10/08;G06Q50/04;H01L21/67
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 趙琴

本發明提供一種晶圓制造的配方數據收集方法和裝置，至少包括以下步驟：獲取每種機臺組的所有配方ID；通過每個配方ID索引對應的子配方ID得到特氣消耗數據；根據特氣消耗數據得到每個配方ID中所有特氣的配方數據。本發明能夠準確得到晶圓制造過程中各機臺組的配方數據。

技術領域

本發明涉及半導體制造技術領域，特別是涉及一種晶圓制造的配方數據收集方法和裝置。

背景技術

隨著5G、物聯網、汽車電子、智能手機、人工智能等新興領域的蓬勃發展，芯片的需求急劇上升，進而使半導體制造產業逐漸成為全球最為活躍的制造業領域。面對激烈的產業內競爭，國內越來越多的半導體工廠正逐步從傳統制造模式轉型為智能型制造、智能工廠等。

過去的傳統半導體工廠在收集一片晶圓生產時使用的物料以及消耗用量時，往往通過人在機臺端邊操作邊記錄的人工手段，并基于自身業內的經驗進行判斷，然后統計和計算每一支配方（recipe）的物料清單（BOM）表用量。但在半導體工廠，動輒便有幾百甚至上千的設備機臺，并且設備機臺種類繁多，每個機臺包含數十百條的配方（recipe）生產數據，加上計算方法各異，使得這種人工操作的勞動量十分繁重。如若每一支配方（recipe）均由人力統計計算，耗時過多，過程繁瑣并且極易出錯。

如不能精確計算出產品的配方表，在編制生產預算時便不能很好的控制，造成結果是工廠在采購時會容易多或少買物料，發生不必要的生產成本、影響生產；其次，如果沒有機臺端精準且真實地反映的配方（recipe）數據，工廠就沒有一個標準可以檢查每一支物料的利用效率、綜合系數等參數是否準確，這在精進制程方面進行優化生產成本，精益生產，規模經濟方面顯得尤為重要。

發明內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本發明的目的在于提供一種晶圓制造的配方數據收集方法和裝置，用于解決現有技術中產品配方表人力統計耗時、準確性差的問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本發明提供一種晶圓制造的配方數據收集方法，至少包括以下步驟：

獲取每種機臺組的所有配方ID；

通過每個配方ID索引對應的子配方ID得到特氣消耗數據；

根據特氣消耗數據得到每個配方ID中所有特氣的配方數據。

優選地，根據每個配方ID對應的所有特氣的配方數據構建各機臺組的配方數據表。

優選地，所述通過每個配ID索引子配方ID得到特氣消耗數據的過程包括：

調取每種機臺組的配方體信息；所述配方體信息包括特氣名稱、特氣消耗代碼；

基于配方ID和子配方ID的關聯關系得到每個配方ID對應關聯的子配方ID；

通過子配方ID對應的子配方數據表得到特氣消耗數據；所述子配方數據表包括子配方ID、特氣消耗代碼和特氣消耗數據，所述特氣消耗代碼和特氣消耗數據一一對應。

優選地，所述特氣消耗數據包括特氣消耗的用量和特氣消耗的時間。

優選地，根據子配方數據中的特氣消耗數據得到每個配方ID中所有特氣的配方數據的過程包括：

根據特氣消耗數據得到每個子配方ID中所有特氣代碼對應的特氣用量；

根據每個子配方ID中所有特氣的特氣用量及配方ID和子配方ID的關聯關系得到每個配方ID的配方數據。

優選地，基于配方ID和子配方ID的關聯關系對不同子配方ID中的特氣用量進行處理得到每種配方ID的各特氣代碼的配方用量。

優選地，基于配方ID和子配方ID的關聯關系對不同子配方ID中具有相同特氣代碼的特氣用量進行求和處理得到每種配方ID的各特氣代碼的配方用量。