[發(fā)明專利]一種PBN坩堝維修裝置及方法有效
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202210445033.1 | 申請(qǐng)日: | 2022-04-26 |
公開(公告)號(hào): | CN114737245B | 公開(公告)日: | 2023-10-24 |
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 王金靈;劉火陽;周鐵軍 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 廣東先導(dǎo)微電子科技有限公司 |
主分類號(hào): | C30B11/00 | 分類號(hào): | C30B11/00;C30B29/42 |
代理公司: | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人: | 陳志海 |
地址: | 511500 廣東省*** | 國(guó)省代碼: | 廣東;44 |
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摘要: | |||
搜索關(guān)鍵詞: | 一種 pbn 坩堝 維修 裝置 方法 | ||
1.一種PBN坩堝維修裝置,其特征在于,包括:底座、傳動(dòng)件、螺桿、旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺栓、支撐架和多個(gè)第一葉片;
所述螺桿豎直,且可轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于所述底座;
所述傳動(dòng)件固定于所述螺桿,所述傳動(dòng)件與所述螺柱同軸,所述傳動(dòng)件用于與外部動(dòng)力組件傳動(dòng)連接;
所述旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺栓與所述螺桿螺紋配合;
所述支撐架固定于所述螺桿,且位于所述旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺栓上方,所述支撐架與所述旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺栓相連;
所述旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺栓沿所述螺桿轉(zhuǎn)動(dòng),用于調(diào)節(jié)所述支撐架的支撐直徑的大小;
多個(gè)所述第一葉片沿所述支撐架周向安裝,所述第一葉片的外側(cè)用于固定修復(fù)PBN坩堝筒體部位的內(nèi)壁的砂紙。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PBN坩堝維修裝置,其特征在于,所述支撐架包括:第一滑塊、固定圓盤、多個(gè)支撐桿、多個(gè)第二滑塊和多個(gè)滑軌;
所述第一滑塊開設(shè)有用于所述螺桿穿過的通孔;
所述第一滑塊設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺栓上方,且所述第一滑塊與所述旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺栓活動(dòng)連接;
所述固定圓盤固定于所述第一滑塊上方,且所述固定圓盤與所述轉(zhuǎn)軸同軸;
所述固定圓盤開設(shè)有多個(gè)用于支撐桿穿過的滑動(dòng)孔;
所述滑軌沿所述固定圓盤的徑向設(shè)置,且所述滑軌位于所述滑動(dòng)孔的一側(cè);
所述第二滑塊滑動(dòng)設(shè)置于所述滑軌,所述第二滑塊用于所述第一葉片安裝;
所述支撐桿的一端與所述第一滑塊鉸接,另一端與所述第二滑塊鉸接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的PBN坩堝維修裝置,其特征在于,所述第一葉片卡接于所述第二滑塊。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的PBN坩堝維修裝置,其特征在于,所述第二滑塊設(shè)有第一卡接凸部,所述第一葉片的內(nèi)側(cè)開設(shè)有與所述第一卡接凸部配合的第一卡接凹槽。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PBN坩堝維修裝置,其特征在于,所述第一葉片為弧形葉片。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PBN坩堝維修裝置,其特征在于,還包括:錐部螺栓和多個(gè)第二葉片;
所述錐部螺栓與所述螺桿螺紋配合,其中,所述錐部螺栓位于所述旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺栓上方;
所述第二葉片的下端安裝于所述第一葉片的上端,所述第一葉片的上端搭設(shè)于所述錐部螺栓,所述第二葉片的外側(cè)用于固定修復(fù)PBN坩堝錐部的內(nèi)壁的砂紙;
多個(gè)所述第二葉片與多個(gè)所述第一葉片對(duì)應(yīng)安裝,用于形成支撐PBN坩堝錐部的錐部支撐結(jié)構(gòu);
所述錐部螺栓沿所述螺桿轉(zhuǎn)動(dòng),用于調(diào)節(jié)所述錐形支撐結(jié)構(gòu)的錐度。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的PBN坩堝維修裝置,其特征在于,所述第一葉片的上端部設(shè)有第二卡接凹槽,所述第二葉片的下端部設(shè)有與所述第二卡接凹槽配合的所述第二卡接凸部。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的PBN坩堝維修裝置,其特征在于,還包括:籽晶螺旋桿;
所述籽晶螺旋桿的下端部開設(shè)有用于與所述螺桿配合的內(nèi)螺紋;
所述籽晶螺旋桿用于繞設(shè)修復(fù)PBN坩堝的籽晶腔內(nèi)壁的砂紙。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的PBN坩堝維修裝置,其特征在于,所述籽晶螺旋桿的兩端設(shè)有用于固定砂紙的卡槽。
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