[發明專利]一種屏蔽泵的清洗方法在審

申請號：	202210443601.4	申請日：	2022-04-26
公開（公告）號：	CN114718914A	公開（公告）日：	2022-07-08
發明（設計）人：	牛剛;馬銳;張新龍	申請（專利權）人：	新疆大全新能源股份有限公司
主分類號：	F04D29/70	分類號：	F04D29/70;B08B3/04;B08B5/00
代理公司：	北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙) 11348	代理人：	劉鐵生;孟阿妮
地址：	832000 新疆維吾爾自治區***	國省代碼：	新疆;65
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種屏蔽清洗方法
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【說明書】：

本發明為一種屏蔽泵的清洗方法。一種屏蔽泵的清洗方法，為：關閉屏蔽泵進口閥和屏蔽泵出口閥，從屏蔽泵出口排氣閥持續通入氮氣，將所述的屏蔽泵及籃式過濾器中含有硅粉的殘液從籃式過濾器排液閥排出；再從所述的籃式過濾器排液閥輸入清液進行灌泵，至所述的籃式過濾器排氣閥和屏蔽泵出口排氣閥排出清液時，灌泵結束。本發明所述的一種屏蔽泵的清洗方法，可以去除屏蔽泵內沉積的硅粉和殘液，來避免硅粉導致的啟動瞬間冷卻通道堵塞的問題，從而避免泵溫過高、瞬間過載停機。

技術領域

本發明具體涉及一種屏蔽泵的清洗方法。

背景技術

在采用改良西門子法工藝生產多晶硅的領域，因三氯氫硅、四氯化硅有毒有害化學的性質大多都選用無泄漏的屏蔽泵。因還原爐尾氣量大，夾帶出部分顆粒微小的硅粉，尾氣處理裝置很難將這些微小的硅粉處理干凈。這就造成精餾系統、尾氣處理系統氯硅烷存在顆粒細小的硅粉。尤其是在精餾塔塔釜濃縮過后，硅粉含量較高。這些硅粉密度大于氯硅烷的密度，且不溶于液體氯硅烷。當屏蔽泵停用后，易沉積在屏蔽泵的進口管路及屏蔽泵的底部。

屏蔽泵停用的時間越長，越有利于硅粉沉積分層。沉積的硅粉在會造成屏蔽泵冷卻通道堵塞，在屏蔽泵啟動的瞬間，泵溫過高、過載停機，甚至造成屏蔽泵內部件損壞。屏蔽泵損壞后的檢修周期長，費用大，嚴重時會造成停產，因此采用有效措施防止備用屏蔽泵底部的硅粉沉積且正常備用是非常有必要的。

有鑒于此，本發明提出一種屏蔽泵的清洗方法，來去除沉積在備用屏蔽泵底部的硅粉，來避免硅粉導致的啟動瞬間冷卻通道堵塞的問題，從而減少屏蔽泵的損壞。

發明內容

本發明的目的在于提供一種屏蔽泵的清洗方法，可以去除屏蔽泵內沉積的硅粉和殘液，減少屏蔽泵的損壞。

為了實現上述目的，所采用的技術方案為：

一種屏蔽泵的清洗方法，在屏蔽泵與屏蔽泵進口閥之間的管路上設置有籃式過濾器，所述的籃式過濾器與屏蔽泵的進口連通，濾網為60目，攔截直徑大于60目的固相顆粒物。且所述的籃式過濾器的上部設置有籃式過濾器排氣閥，下部設置有籃式過濾器排液閥；

屏蔽泵出口排氣閥連接氮氣管道；所述的屏蔽泵出口排氣閥在所述的屏蔽泵與屏蔽泵出口閥之間的管路上；

所述的清洗方法為：關閉所述的屏蔽泵進口閥和屏蔽泵出口閥，從所述的屏蔽泵出口排氣閥持續通入氮氣，將所述的屏蔽泵及籃式過濾器中含有硅粉的殘液從所述的籃式過濾器排液閥排出；

再從所述的籃式過濾器排液閥輸入清液進行灌泵，至所述的籃式過濾器排氣閥和屏蔽泵出口排氣閥排出清液時，灌泵結束。

進一步的，所述的清液為精餾塔塔頂汽化冷凝后的液體。

進一步的，灌泵前所述的屏蔽泵內的氮氣壓力小于清液壓力。

再進一步的，所述的灌泵前，屏蔽泵內氮氣壓力為0.01MPa，清液壓力為0.25-0.35MPa。