[發(fā)明專利]一種高導(dǎo)熱、高強(qiáng)度的熱沉復(fù)合材料制備方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210434293.9
• 申請(qǐng)日: 2022-04-24
• 公開（公告）號(hào): CN114770042A
• 公開（公告）日: 2022-07-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳昱暉;周俊;姚歡
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)沙升華微電子材料有限公司
• 主分類號(hào): B23P15/00
• 分類號(hào): B23P15/00;C21D8/02;C22F1/08;H01L23/373
• 代理公司: 長(zhǎng)沙軒榮專利代理有限公司 43235
• 代理人: 張勇

1.一種高導(dǎo)熱、高強(qiáng)度的熱沉復(fù)合材料制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1：對(duì)彌散鋁銅采用固結(jié)研磨的方式進(jìn)行雙面研磨；

S2：清洗彌散鋁銅表面；

S3：將銅板和彌散鋁銅板上掛；

S4：將銅板和彌散鋁銅板進(jìn)行超聲除油8-10分鐘；

S5：將銅板和彌散鋁銅板進(jìn)行電解除油30-120秒；

S6：將除油后的銅板和彌散鋁銅板進(jìn)行水洗；

S7：將除油后的銅板和彌散鋁銅板進(jìn)行酸洗5-6分鐘，去表面氧化層；

S8：將酸洗過后的銅板和彌散鋁銅板進(jìn)行清洗、烘干；

S9：將按順序疊放的銅-彌散鋁銅-銅在氫氣氣氛下加熱；

S10：將加熱的銅-彌散鋁銅-銅熱軋復(fù)合；

S11：將軋制后的銅-彌散鋁銅-銅進(jìn)行熱處理；

S12：將熱處理后的銅-彌散鋁銅-銅進(jìn)行冷軋；

S13：將軋到尺寸的銅-彌散鋁銅-銅坯料剪切下料；

S14：將下料的銅-彌散鋁銅-銅坯料按產(chǎn)品線切割；

S15：將銅-彌散鋁銅-銅產(chǎn)品進(jìn)行退火熱處理。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述步驟S2、S6、S8的清洗為電導(dǎo)率5us/cm@25℃的純水。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述步驟S4中使用的是按NaOH:10-15g/L，Na₂CO₃:20-30g/L，Na₃PO₄﹒12H₂O:50-70g/L，Na₂SiO₃:10-15g/L配置超聲除油劑，溫度在75-85℃。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述步驟S5中使用的是按NaOH:10-15g/L，Na₂CO₃:20-30g/L，Na₂SiO₃:10-15g/L配置電解除油劑，溫度在60-80℃，電流密度在8-12A/dm²。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述步驟S8中使用的酸洗液采用的是無鉻無煙酸洗液，按硫酸40ml/L，鹽酸6ml/L，Na2CO3 70g/L，光亮劑20ml/L，緩釋劑10ml/L配置，溫度45℃。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述步驟S9中溫度為650-950℃，時(shí)間為15分鐘。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述步驟S11中熱處理溫度550-750℃，時(shí)間為30分鐘。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述步驟S15中退火熱處理溫度650-850℃，時(shí)間為30分鐘。