[發(fā)明專利]一種HfO2

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210433762.5
• 申請(qǐng)日: 2022-04-22
• 公開（公告）號(hào): CN114774881A
• 公開（公告）日: 2022-07-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 潘孝軍;吳宏昌;孔祥東;李艷麗;張新月;王綱;靳夢(mèng)靜;白兆文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘭州大學(xué)
• 主分類號(hào): C23C16/40
• 分類號(hào): C23C16/40;C23C16/455;G02B5/08
• 代理公司: 北京元理果知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11938
• 代理人: 饒小平

1.一種HfO₂/Al₂O₃多層膜反射鏡的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)對(duì)基底進(jìn)行預(yù)處理；

(2)利用原子層沉積法在所述基底上沉積HfO₂膜，并利用原子層沉積法在所述HfO₂膜上沉積Al₂O₃膜，所述HfO₂膜和Al₂O₃膜形成雙層膜；

(3)在步驟(2)制得的雙層膜上重復(fù)周期性制備若干組雙層膜，每組雙層膜中的HfO₂膜相較于Al₂O₃膜位于更靠近所述基底的一側(cè)，得到所述HfO₂/Al₂O₃多層膜反射鏡。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的HfO₂/Al₂O₃多層膜反射鏡的制備方法，其特征在于，每組雙層膜中HfO₂膜和Al₂O₃膜的厚度均為1nm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的HfO₂/Al₂O₃多層膜反射鏡的制備方法，其特征在于，所述雙層膜的數(shù)量為60～180層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的HfO₂/Al₂O₃多層膜反射鏡的制備方法，其特征在于，所述基底為硅片、玻璃片。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的HfO₂/Al₂O₃多層膜反射鏡的制備方法，其特征在于，步驟(1)中，所述預(yù)處理的方法包括：將所述基底依次放在丙酮、無水乙醇、去離子水中進(jìn)行超聲清洗，烘干。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的HfO₂/Al₂O₃多層膜反射鏡的制備方法，其特征在于，步驟(1)中，每次超聲清洗的時(shí)間為15～30min。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的HfO₂/Al₂O₃多層膜反射鏡的制備方法，其特征在于，步驟(2)中，

沉積HfO₂膜的方法包括：將預(yù)處理后的基底放入原子層沉積設(shè)備內(nèi)腔中，壓緊腔蓋，抽真空，同時(shí)加熱腔壁；當(dāng)內(nèi)腔真空度在0.01Torr以下，待內(nèi)腔溫度穩(wěn)定在150℃時(shí)，通入N₂；當(dāng)內(nèi)腔壓強(qiáng)穩(wěn)定在0.9Torr時(shí)，依次通入四(二甲胺基)鉿、通入N₂進(jìn)行吹掃、通入水蒸氣、通入N₂進(jìn)行吹掃，完成一次循環(huán)；重復(fù)循環(huán)多次制得預(yù)定厚度的HfO₂膜；

沉積Al₂O₃膜的方法包括：在制得預(yù)定厚度的HfO₂膜后，向原子層沉積設(shè)備內(nèi)腔中依次通入三甲基鋁、通入N₂進(jìn)行吹掃、通入水蒸氣、通入N₂進(jìn)行吹掃，完成一次循環(huán)；重復(fù)循環(huán)多次制得預(yù)定厚度的Al₂O₃膜。