[發(fā)明專(zhuān)利]一種槽式全自動(dòng)清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210433071.5
• 申請(qǐng)日: 2022-04-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114850163B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-03-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫先淼;周訓(xùn)丙
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 智程半導(dǎo)體設(shè)備科技（昆山）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B08B13/00
• 分類(lèi)號(hào): B08B13/00;B08B3/14;B08B3/08;B08B3/02;B01D29/66;H01L21/67
• 代理公司: 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林

本發(fā)明公開(kāi)了一種半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域的槽式全自動(dòng)清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中裝置在長(zhǎng)期使用后，會(huì)在濾芯處積攢著大量的碎屑，其需要工作人員停機(jī)定期進(jìn)行拆裝清理的問(wèn)題。其包括清洗槽、三通管和缸體，清洗槽內(nèi)設(shè)有噴淋機(jī)構(gòu)和承載機(jī)構(gòu)；承載機(jī)構(gòu)包括可相對(duì)于清洗槽上下移動(dòng)的承載臺(tái)和復(fù)位組件，承載臺(tái)上設(shè)有推拉桿，推拉桿的一端貫穿清洗槽底部后設(shè)有活塞，活塞滑動(dòng)連接于缸體內(nèi)；清洗槽底部設(shè)有排水口，排水口與三通管的進(jìn)水口相連通；本發(fā)明適用于晶圓清洗，能夠?qū)V芯進(jìn)行反向沖洗，使得積攢的碎屑清除，并將攜帶有碎屑的少量清洗液分離排出，從而達(dá)到了無(wú)需操作人員頻繁拆裝更換濾芯的效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種槽式全自動(dòng)清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體的制程工藝中，晶圓清洗是其重要的一個(gè)組成部分，現(xiàn)有的常規(guī)清洗手段是通過(guò)采用濕法清洗工藝的全自動(dòng)槽式清洗機(jī)進(jìn)行清洗。目前的全自動(dòng)槽式清洗機(jī)大都存在有循環(huán)噴淋系統(tǒng)，其可對(duì)清洗液進(jìn)行過(guò)濾回收，實(shí)現(xiàn)清洗液的循環(huán)噴淋，提高晶圓的清洗效果，并利用濾芯將清洗液中的碎屑過(guò)濾而出，從而降低了水資源的消耗。

但是現(xiàn)有的槽式全自動(dòng)清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置在長(zhǎng)期使用后，會(huì)在濾芯處積攢著大量的碎屑，其需要工作人員停機(jī)定期進(jìn)行拆裝清理，其操作較為麻煩，降低了工作效率，不利于生產(chǎn)使用。針對(duì)上述問(wèn)題，急需在原有的基礎(chǔ)上進(jìn)行創(chuàng)新設(shè)計(jì)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種槽式全自動(dòng)清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置，可以在每次循環(huán)清洗過(guò)后，都可對(duì)濾芯進(jìn)行反向沖洗，使得積攢的碎屑清除，并將攜帶有碎屑的少量清洗液分離排出，從而達(dá)到了無(wú)需操作人員頻繁拆裝更換濾芯的效果。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明是采用下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

本發(fā)明提供了一種槽式全自動(dòng)清洗機(jī)用循環(huán)清洗裝置，包括清洗槽、三通管和缸體，所述清洗槽內(nèi)設(shè)有噴淋機(jī)構(gòu)和承載機(jī)構(gòu)；

所述承載機(jī)構(gòu)包括可相對(duì)于清洗槽上下移動(dòng)的承載臺(tái)和復(fù)位組件，所述承載臺(tái)上設(shè)有推拉桿，所述推拉桿的一端貫穿清洗槽底部后設(shè)有活塞，所述活塞滑動(dòng)連接于所述缸體內(nèi)；

所述清洗槽底部設(shè)有排水口，所述排水口與三通管的進(jìn)水口相連通，所述三通管的第一出水口通過(guò)循環(huán)輸送機(jī)構(gòu)與所述噴淋機(jī)構(gòu)相連通，所述三通管的第二出水口與缸體遠(yuǎn)離推拉桿的一端相連通，所述循環(huán)輸送機(jī)構(gòu)包括用于過(guò)濾碎屑并通過(guò)快速換裝組件安裝的濾芯和驅(qū)動(dòng)水循環(huán)的水泵；

所述缸體遠(yuǎn)離推拉桿的一端還設(shè)有排污管，所述排污管上設(shè)有第一閥，所述第二出水口上設(shè)有第二閥，所述清洗槽上設(shè)有用于開(kāi)關(guān)所述排水口的封閉機(jī)構(gòu)；

承載臺(tái)承重時(shí)，第一閥導(dǎo)通，第二閥不導(dǎo)通，封閉機(jī)構(gòu)將排水口打開(kāi)；

承載臺(tái)復(fù)位時(shí)，第一閥不導(dǎo)通，第二閥導(dǎo)通，封閉機(jī)構(gòu)將排水口關(guān)閉。

進(jìn)一步的，所述封閉機(jī)構(gòu)包括支撐彈簧、連接桿、設(shè)于清洗槽底部的盒體、活動(dòng)套設(shè)于推拉桿外側(cè)的套環(huán)和固設(shè)于推拉桿外側(cè)的推動(dòng)環(huán)；

所述盒體上設(shè)有通孔，所述排水口通過(guò)通孔與所述三通管的進(jìn)水口相連通，所述盒體內(nèi)活動(dòng)連接有用于將所述通孔隔斷的封閉滑板，所述支撐彈簧設(shè)于封閉滑板與盒體內(nèi)壁之間，所述連接桿的一端與套環(huán)鉸接，另一端與封閉滑板鉸接，所述推動(dòng)環(huán)設(shè)于清洗槽與套環(huán)之間。

進(jìn)一步的，所述盒體內(nèi)設(shè)有與所述通孔連通的腔體，所述封閉滑板滑動(dòng)連接于腔體內(nèi)，所述腔體遠(yuǎn)離通孔的一側(cè)設(shè)有限位通槽，所述封閉滑板的一端通過(guò)限位通槽伸出至盒體外側(cè)與所述連接桿鉸接。

進(jìn)一步的，所述清洗槽底部設(shè)有與承載臺(tái)相匹配的容置槽，所述復(fù)位組件包括設(shè)于容置槽內(nèi)的導(dǎo)向桿和套設(shè)于導(dǎo)向桿上的復(fù)位彈簧，所述承載臺(tái)上設(shè)有與導(dǎo)向桿相匹配的導(dǎo)向孔，所述復(fù)位彈簧支撐于承載臺(tái)和容置槽之間。