[發明專利]一種提高金屬膜沉積臺階覆蓋率的裝置在審
| 申請號： | 202210426440.8 | 申請日： | 2022-04-21 |
| 公開（公告）號： | CN114645245A | 公開（公告）日： | 2022-06-21 |
| 發明（設計）人： | 史鵬;王世寬;宋永輝 | 申請（專利權）人： | 無錫尚積半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;C23C14/18;C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 蘇州京昀知識產權代理事務所(普通合伙) 32570 | 代理人： | 顧友 |
| 地址： | 214135 江蘇省無*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 提高 金屬膜 沉積 臺階 覆蓋率 裝置 | ||
1.一種提高金屬膜沉積臺階覆蓋率的裝置，其特征在于，包括：
腔體，其內設置有真空腔室，所述腔體的頂部設置有靶材放置位置，所述靶材放置位置用于放置靶材；
晶圓臺，設置在所述腔體的底部，所述晶圓臺用于放置晶圓，所述靶材在預設工藝下被濺射至所述晶圓表面；
其中，所述腔體的高度為90～200mm之間的任意一值。
2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述腔體的高度為120～160mm之間的任意一值。
3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述腔體內壁的直徑從頂部至底部逐漸減小。
4.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括：
格柵板，設置在所述腔體中且位于所述靶材放置位置與所述晶圓臺之間，所述格柵板上開設有預設數量的通孔。
5.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述格柵板與所述靶材之間的距離為50～120mm。
6.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述格柵板包括至少一個固定桿和至少兩個環形欄；
每一所述固定桿均沿所述環形欄的徑向延伸且與所有所述環形欄均連接；
每一所述固定桿相對的兩端均伸出于最外側的所述環形欄后與所述腔體的內壁連接；
至少兩個所述環形欄的直徑不同且所有所述環形欄呈套設關系；
所述環形欄與所述固定桿之間的空隙形成所述通孔。
7.根據權利要求6所述的裝置，其特征在于，所述固定桿的數量為兩個，且兩個所述固定桿垂直交叉布置，所述環形欄的數量為三個，且相鄰的兩個所述環形欄之間的距離相同。
8.根據權利要求7所述的裝置，其特征在于，每一所述所述固定桿的每一端伸出于最外側的所述環形欄的長度均與相鄰的兩個所述環形欄之間的距離相同。
9.根據權利要求7所述的裝置，其特征在于，三個所述環形欄的直徑分別為50、100、150mm。
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