[發(fā)明專利]一種加速度敏感測量裝置及其制造方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210421743.0
• 申請日: 2022-04-21
• 公開（公告）號: CN114859075A
• 公開（公告）日: 2022-08-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 盧乾波;吳霜;朱啟軒;周旭瑒;王振山;王小旭;王學(xué)文;黃維
• 申請（專利權(quán)）人: 西北工業(yè)大學(xué)寧波研究院
• 主分類號: G01P15/00
• 分類號: G01P15/00;G01P1/00
• 代理公司: 寧波甬致專利代理有限公司 33228
• 代理人: 梁興法

1.一種加速度敏感測量裝置，所述加速度敏感測量裝置為無源器件，充當(dāng)微加速度計(jì)中的加速度敏感模塊，其特征在于，所述加速度敏感測量裝置包括敏感質(zhì)量塊(1)和框架(4)，所述敏感質(zhì)量塊(1)上連接有若干個用于支撐敏感質(zhì)量塊(1)的懸臂梁(2)，所述懸臂梁(2)一端與敏感質(zhì)量塊(1)連接，所述懸臂梁(2)另一端連接有用于擠壓懸臂梁(2)的加載機(jī)構(gòu)(3)，所述加載機(jī)構(gòu)(3)連接在所述框架(4)上，所述框架(4)內(nèi)設(shè)有通槽(41)，所述敏感質(zhì)量塊(1)可活動地設(shè)置在所述通槽(41)內(nèi)，所述框架(4)與敏感質(zhì)量塊(1)之間設(shè)有用于放大敏感質(zhì)量塊(1)位移量的放大器(5)，所述框架(4)固定安裝在具有凹槽(61)的襯底(6)上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加速度敏感測量裝置，其特征在于，所述懸臂梁(2)和加載機(jī)構(gòu)(3)的數(shù)量均為四個，所述敏感質(zhì)量塊(1)的前后兩側(cè)的中部分別設(shè)有一連接凸起(11)，每個所述連接凸起(11)的左右兩側(cè)分別連接一所述懸臂梁(2)的一端，所述懸臂梁(2)的另一端對應(yīng)連接一所述加載機(jī)構(gòu)(3)，以使得四個所述加載機(jī)構(gòu)(3)間隔分布于所述敏感質(zhì)量塊(1)的四個角。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加速度敏感測量裝置，其特征在于，所述放大器(5)包括杠桿臂(51)，所述杠桿臂(51)一端通過輸入梁(52)與其中一所述連接凸起(11)連接，所述杠桿臂(51)另一端設(shè)有用于位移信號輸出的輸出端(53)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的加速度敏感測量裝置，其特征在于，所述杠桿臂(51)上靠近輸入梁(52)的一側(cè)設(shè)有用于支撐杠桿臂(51)的樞軸梁(54)，所述樞軸梁(54)一端與杠桿臂(51)連接其另一端與框架(4)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加速度敏感測量裝置，其特征在于，所述加載機(jī)構(gòu)(3)包括用于限定懸臂梁(2)左右位置的卡齒結(jié)構(gòu)(31)和用于推動卡齒結(jié)構(gòu)(31)的制動器(32)，所述卡齒結(jié)構(gòu)(31)一側(cè)與懸臂梁(2)連接其另一側(cè)與制動器(32)連接，所述制動器(32)一側(cè)與卡齒結(jié)構(gòu)(31)連接其另一側(cè)與框架(4)連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的加速度敏感測量裝置，其特征在于，所述卡齒結(jié)構(gòu)(31)包括連接塊(311)，所述連接塊(311)連接在懸臂梁(2)與制動器(32)之間，所述連接塊(311)的前后兩側(cè)分別延伸設(shè)有卡齒(312)，所述框架(4)上設(shè)有若干個供所述卡齒(312)配合卡入的齒槽(42)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的加速度敏感測量裝置，其特征在于，所述連接塊(311)與框架(4)之間設(shè)有用于支撐連接塊(311)的連接梁(313)，所述連接梁(313)一端與連接塊(311)連接其另一端與框架(4)連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的加速度敏感測量裝置，其特征在于，所述制動器(32)包括兩個第一梁(321)和第二梁(322)，所述第一梁(321)呈弧形結(jié)構(gòu)，所述第二梁(322)呈多彎折結(jié)構(gòu)，所述第一梁(321)一端與連接塊(311)連接其另一端與第二梁(322)一端連接，所述第二梁(322)另一端與框架(4)連接，兩個所述第一梁(321)和第二梁(322)沿連接塊(311)的對稱軸成前后對稱關(guān)系分布。