[發明專利]掩膜板、蒸鍍方法以及顯示面板

在審

• 申請號: 202210417419.1
• 申請日: 2022-04-20
• 公開（公告）號: CN114737152A
• 公開（公告）日: 2022-07-12
• 發明（設計）人: 王守坤;秦韶陽
• 申請（專利權）人: 云谷（固安）科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 尹紅敏

1.一種掩膜板，用于在基板上蒸鍍膜層，其特征在于，所述掩膜板具有第一蒸鍍狀態和張網狀態，所述掩膜板包括：

蒸鍍開口；

邊框部，所述邊框部圍繞所述蒸鍍開口設置；

遮擋部，位于所述蒸鍍開口內；

第一連接部，所述第一連接部可轉動地連接于所述邊框部和所述遮擋部之間，所述第一連接部包括相交設置的第一側面和第二側面；

在所述第一蒸鍍狀態下，所述第一側面位于所述第一連接部沿所述掩膜板的厚度方向一側，且所述第一側面在所述基板上具有第一正投影；在所述張網狀態下，所述第二側面位于所述第一連接部沿所述厚度方向的一側，且所述第二側面在所述基板上具有第二正投影，所述第二正投影的面積大于所述第一正投影的面積。

2.根據權利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述第一連接部上還設置有貫穿所述第一連接部的第一通孔；

優選地，在所述第一蒸鍍狀態下，所述第一通孔沿所述厚度方向貫穿所述第一連接部；

優選地，所述第一通孔的數量為多個，多個所述第一通孔沿所述第一連接部的延伸方向并排設置。

3.根據權利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述第一連接部的數量為多個，多個所述第一連接部連接于所述遮擋部和所述邊框部之間。

4.根據權利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述邊框部包括相交設置的第一框條和第二框條，多個所述第一連接部間隔分布在所述遮擋部的外周側，并與所述第一框條或所述第二框條連接。

5.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一連接部沿所述厚度方向位于所述遮擋部背離所述基板的一側，所述掩膜板還包括沿所述厚度方向延伸成型，并連接所述第一連接部和所述遮擋部的第二連接部，所述遮擋部通過所述第二連接部與所述第一連接部轉動連接。

6.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一連接部還包括與所述第一側面相對的第三側面，在所述第一蒸鍍狀態下，所述第三側面位于所述第一側面背離所述基板的一側，且所述第三側面在所述基板上具有第三正投影，所述第三正投影的面積大于所述第一正投影的面積；

優選地，所述第一正投影位于所述第三正投影之內。

7.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一連接部在自身延伸方向上可伸縮設置，以帶動所述遮擋部靠近或遠離所述邊框部；

所述掩膜板還包括第二蒸鍍狀態，所述第一連接部在所述第二蒸鍍狀態下的延伸長度小于在所述第一蒸鍍狀態下的延伸長度，且在所述第二蒸鍍狀態下的所述遮擋部在所述基板的正投影面積，小于所述第一蒸鍍狀態下的所述遮擋部在所述基板的正投影面積。

8.一種蒸鍍方法，利用如權利要求7所述的掩膜板蒸鍍，其特征在于，所述蒸鍍方法包括：

將張網狀態下的所述掩膜板設置于所述基板的一側；

轉動所述第一連接部，以減小所述第一連接部在所述基板上的正投影面積，使得所述掩膜板由所述張網狀態轉變為第一蒸鍍狀態；

利用第一蒸鍍狀態下的所述掩膜板在所述基板上形成第一蒸鍍層。

9.根據權利要求8所述的蒸鍍方法，其特征在于，還包括：

收縮所述第一連接部，以減小所述第一連接部的延伸長度；

轉動所述遮擋部，以減小所述遮擋部在所述基板上的正投影面積，使得所述掩膜板由第一蒸鍍狀態轉變為第二蒸鍍狀態；

利用第二蒸鍍狀態下的所述掩膜板在所述基板上形成第二蒸鍍層，所述第二蒸鍍層位于所述第一蒸鍍層背離所述基板的一側。

10.一種顯示面板，其特征在于，包括如權利要求8或9任一項所述的蒸鍍方法制備形成的功能層。