[發(fā)明專利]一種麥克風(fēng)組件及電子設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210414830.3
• 申請(qǐng)日: 2022-04-20
• 公開（公告）號(hào): CN114520947B
• 公開（公告）日: 2022-07-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 榮根蘭;劉青
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司
• 主分類號(hào): H04R19/04
• 分類號(hào): H04R19/04;H04R19/00;H04R7/18
• 代理公司: 深圳紫藤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570
• 代理人: 方世棟

本發(fā)明提供了一種麥克風(fēng)組件及電子設(shè)備，其中，所述麥克風(fēng)組件包括基底、振膜、以及背極板，在垂直于所述基底所在平面的方向上，所述振膜位于所述基底與所述背極板之間；所述振膜的聲波傳導(dǎo)區(qū)域上設(shè)置有在厚度方向上貫通所述振膜的至少一個(gè)聲孔，所述基底的部分區(qū)域構(gòu)成第一電極，所述背極板的部分區(qū)域構(gòu)成第二電極，所述振膜的聲波傳導(dǎo)區(qū)域構(gòu)成第三電極；在垂直于所述基底所在平面的方向上，所述第一電極、所述第三電極以及所述第二電極三者的投影交疊。本發(fā)明所提供的麥克風(fēng)組件實(shí)現(xiàn)了單振膜的差分電容方案，并且提升了麥克風(fēng)組件的性能。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及麥克風(fēng)技術(shù)領(lǐng)域，更為具體的說涉及一種麥克風(fēng)組件及電子設(shè)備。

背景技術(shù)

麥克風(fēng)是一種將聲壓信號(hào)最終轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的壓力傳感器，使用微機(jī)電工藝技術(shù)制造的小型麥克風(fēng)稱為MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）麥克風(fēng)或微麥克風(fēng)。MEMS麥克風(fēng)芯片一般包括襯底、振膜以及背極板。其中的振膜、背極板是MEMS麥克風(fēng)芯片中的重要部件，振膜、背極板平行且間隔設(shè)置，兩者構(gòu)成平板電容的兩個(gè)電極板，振膜用于在聲波的作用下振動(dòng)，導(dǎo)致背極板和振膜之間的相對(duì)距離發(fā)生變化，從而使得平板電容的電容值發(fā)生變化，電容值的變化經(jīng)外圍電路轉(zhuǎn)化成電信號(hào)，實(shí)現(xiàn)聲電的轉(zhuǎn)換。

現(xiàn)有的MEMS麥克風(fēng)大多數(shù)是由一個(gè)感應(yīng)振膜以及一個(gè)剛性背極板組成，這種麥克風(fēng)的線性度較低，諧波失真較大。隨著MEMS麥克風(fēng)應(yīng)用場(chǎng)景的擴(kuò)展（例如利用手機(jī)唱歌的應(yīng)用場(chǎng)景等），用戶對(duì)MEMS麥克風(fēng)的語音質(zhì)量的要求越來越高。為了提高M(jìn)EMS麥克風(fēng)所感應(yīng)的電信號(hào)的信噪比，在現(xiàn)有技術(shù)中，MEMS麥克風(fēng)一般采用多振膜的方式或者多背極板的方式來獲取差分電信號(hào)，但這增加了MEMS麥克風(fēng)的尺寸，無法適應(yīng)電子產(chǎn)品輕薄化的需求。因此，需要對(duì)現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)行改進(jìn)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提供一種麥克風(fēng)組件及電子設(shè)備。

本發(fā)明的目的采用以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供一種麥克風(fēng)組件，包括：基底、振膜、以及背極板，在垂直于所述基底所在平面的方向上，所述振膜位于所述基底與所述背極板之間；所述振膜具有聲波傳導(dǎo)區(qū)域，所述聲波傳導(dǎo)區(qū)域上設(shè)置有在厚度方向上貫通所述振膜的至少一個(gè)聲孔，以傳遞來自外部空間的聲波；所述基底的部分區(qū)域構(gòu)成第一電極，所述背極板的部分區(qū)域構(gòu)成第二電極，所述振膜的聲波傳導(dǎo)區(qū)域構(gòu)成第三電極；其中，所述基底還具有至少一個(gè)第一鏤空區(qū)域，所述至少一個(gè)第一鏤空區(qū)域環(huán)繞所述第一電極，以形成背腔，在垂直于所述基底所在平面的方向上，所述第一電極、所述第三電極以及所述第二電極三者的投影交疊。

可選地，所述基底靠近所述振膜的一側(cè)設(shè)置有用于支撐所述振膜的第一支撐體，所述振膜遠(yuǎn)離所述基底的一側(cè)設(shè)置有用于支撐所述背極板的第二支撐體；所述第一支撐體位于所述基底的邊緣，使得所述振膜懸空于所述第一電極的上方，所述第一電極與所述振膜形成第一可變電容；所述第二支撐體位于所述振膜的邊緣，使得所述背極板懸空于所述振膜的上方，所述第二電極與所述振膜形成第二可變電容。

可選地，所述基底還具有至少一個(gè)第一鏤空區(qū)域，所述至少一個(gè)第一鏤空區(qū)域環(huán)繞所述第一電極，以形成背腔。

可選地，所述基底還包括：第一支持部，至少一個(gè)第一橫梁，所述至少一個(gè)第一橫梁將所述第一電極與所述第一支持部固定連接。

可選地，所述至少一個(gè)第一橫梁中的至少一個(gè)包含導(dǎo)電介質(zhì)以傳輸所述第一電極與外部電路之間的電信號(hào)。

可選地，所述背極板還具有至少一個(gè)第二鏤空區(qū)域，所述至少一個(gè)第二鏤空區(qū)域環(huán)繞所述第二電極，用以降低所述背極板與所述振膜之間的壓膜阻尼。

可選地，所述背極板還包括：第二支持部，至少一個(gè)第二橫梁，所述至少一個(gè)第二橫梁將所述第二電極與所述第二支持部固定連接。

可選地，所述至少一個(gè)第二橫梁中的至少一個(gè)包含導(dǎo)電介質(zhì)，以傳輸所述第二電極與外部電路之間的電信號(hào)。