[發明專利]一種多層嵌套反射鏡位姿的懸掛式精密調整裝置

有效

• 申請號: 202210413902.2
• 申請日: 2022-04-14
• 公開（公告）號: CN114779428B
• 公開（公告）日: 2023-08-15
• 發明（設計）人: 張之敬;李二波;蘇泰玉;薩仁其木格;熊健
• 申請（專利權）人: 北京理工大學
• 主分類號: G02B7/182
• 分類號: G02B7/182;G02B7/185;G02B7/192;G02B7/198
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1.一種多層嵌套反射鏡位姿的懸掛式精密調整裝置，其特征在于：包括底架(1)、底蓋板(2)、反射鏡(5)、立柱(10)、前輻板(19)、托板(20)、前輻板固定組件(21)、前輻板支撐組件(22)、二維平臺組件、位姿測量組件、配重調節組件、位姿調整組件；所述位姿測量組件測量支架(3)和非接觸傳感器(4)組成，用于測量裝調過程中反射鏡(5)的位姿傾角；所述配重調節組件由調整模組(12)、定滑輪(13)、配重塊(15)、配重調節繩(16)、柔性吸附頭(18)組成，用于根據不同的配重抵消反射鏡(5)自重引起的變形；所述位姿調整組件由調整模組(12)、壓電陶瓷致動器(11)、位姿調整桿(17)、柔性吸附頭(18)組成，用于通過柔性吸附頭(18)形成的柔性真空吸附來減小對反射鏡(5)調整引起的變形；所述二維平臺組件由L形底板(6)、X向運動模組(7)、中間支板(8)、上支板(9)、Y向運動模組組成(14)構成，用于實現對反射鏡(5)的在二維平面范圍內的整體移動式對中調節；所述前輻板固定組件(21)，用于對托板(20)的固定作用，以便減小前輻板(19)在作用力施加和卸載前后本身的不可逆形變，進而減小反射鏡(5)的裝調后的變形。

2.如權利要求1所述的一種多層嵌套反射鏡位姿的懸掛式精密調整裝置，其特征在于：所述前輻板支撐組件(22)由支撐底板(221)，支撐懸臂(222)，鎖緊螺母(223)，鎖緊螺柱(224)，高精度力傳感器(225)，微調裝置(226)，微調支撐(227)組成，用于實現對其支撐托板(20)及其承載物件重量的高精度測量，并通過微調裝置(226)的微調作用，完成托板(20)在水平面內位置的精密調整。