[發(fā)明專利]一種多通道微針及其制造工藝在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202210411706.1 | 申請日： | 2022-04-19 |
| 公開（公告）號： | CN114768080A | 公開（公告）日： | 2022-07-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 喬建民 | 申請（專利權(quán)）人： | 沈燕萍 |
| 主分類號： | A61M37/00 | 分類號： | A61M37/00;B23P15/00 |
| 代理公司： | 杭州中利知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 33301 | 代理人： | 韓洪 |
| 地址： | 310000 浙江省杭*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 通道 及其 制造 工藝 | ||
1.一種多通道微針的制造工藝，其特征在于，包括如下步驟：
a)開口：在襯底(1)的頂面刻蝕若干個(gè)內(nèi)凹部(11)；
b)一次成膜：在襯底(1)的頂面生成第一針體膜層(2)，同時(shí)使部分所述第一針體膜層(2)沉入各個(gè)內(nèi)凹部(11)之中并分別形成第一針膜空心下沉結(jié)構(gòu)(21)，所述第一針體膜層(2)具有導(dǎo)電性；
c)二次成膜：在第一針體膜層(2)的頂面生成第二針體膜層(3)，同時(shí)使部分所述第二針體膜層(3)沉入各個(gè)第一針膜空心下沉結(jié)構(gòu)(21)之中并分別形成第二針膜空心下沉結(jié)構(gòu)(31)，所述第二針體膜層(3)具有透光性和絕緣性；
d)三次成膜：在第二針體膜層(3)的頂面生成第三針體膜層(4)，同時(shí)使部分所述第三針體膜層(4)沉入各個(gè)第二針膜空心下沉結(jié)構(gòu)(31)之中并分別形成第三針膜空心下沉結(jié)構(gòu)(41)或第三針膜實(shí)心下沉結(jié)構(gòu)(42)，所述第三針體膜層(4)具有導(dǎo)電性；
e)開孔：當(dāng)形成第三針膜空心下沉結(jié)構(gòu)(41)時(shí)，打磨襯底(1)的底面直至向上磨穿各個(gè)第三針膜空心下沉結(jié)構(gòu)(41)的底部并形成中空通道(43)；當(dāng)形成第三針膜實(shí)心下沉結(jié)構(gòu)(42)時(shí)，在各個(gè)第三針膜實(shí)心下沉結(jié)構(gòu)(42)的頂面分別進(jìn)行刻蝕直至貫穿襯底(1)的底面并形成中空通道(43)；
f)光學(xué)和電極處理：先在第三針體膜層(4)的頂面刻蝕至少兩個(gè)第三針膜通口(44)以形成至少一個(gè)光學(xué)窗口，再在至少一個(gè)所述第三針膜通口(44)之中并于第二針體膜層(3)的頂面刻蝕第二針膜通口(32)以形成至少一個(gè)電極接觸點(diǎn)；
g)去襯：去除襯底(1)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種多通道微針的制造工藝，其特征在于：在步驟a)之中，各個(gè)所述內(nèi)凹部(11)均呈倒錐形。
3.如權(quán)利要求1所述的一種多通道微針的制造工藝，其特征在于：在步驟b)和d)之中，所述第一針體膜層(2)和第三針體膜層(4)均為采用化學(xué)氣相沉積技術(shù)鍍設(shè)而成的純金屬薄膜或合金薄膜。
4.如權(quán)利要求1所述的一種多通道微針的制造工藝，其特征在于：在步驟c)之中，所述第二針體膜層(3)為采用化學(xué)氣相沉積技術(shù)鍍設(shè)而成的玻璃薄膜。
5.如權(quán)利要求1所述的一種多通道微針的制造工藝，其特征在于：在步驟a)、e)和f)之中，各個(gè)所述內(nèi)凹部(11)、第二針膜通口(32)、第三針膜通口(44)以及第三針膜實(shí)心下沉結(jié)構(gòu)(42)之中的中空通道(43)均采用光膠刻蝕技術(shù)或無掩模刻蝕技術(shù)而刻蝕得到。
6.如權(quán)利要求1所述的一種多通道微針的制造工藝，其特征在于：在步驟e)之中，各個(gè)所述中空通道(43)的長度均為100～1500μm，直徑均為1～200μm。
7.如權(quán)利要求1所述的一種多通道微針的制造工藝，其特征在于：還包括步驟h)表面處理：在第一針膜空心下沉結(jié)構(gòu)(21)之外通過物理濺射或電鍍生成納米級金薄膜涂層。
8.如權(quán)利要求1所述的一種多通道微針的制造工藝，其特征在于：還包括步驟i)針尖造型處理：將由第一針膜空心下沉結(jié)構(gòu)(21)、第二針膜空心下沉結(jié)構(gòu)(31)以及第三針膜空心下沉結(jié)構(gòu)(41)或第三針膜實(shí)心下沉結(jié)構(gòu)(42)共同構(gòu)成的針體的針尖處打磨成平面、斜面或球面。
9.如權(quán)利要求8所述的一種多通道微針的制造工藝，其特征在于：還包括步驟j)電極中空處理：在所述平面、斜面或球面處刻蝕第二針體膜層(3)并形成缺口(33)從而使第一針體膜層(2)與第三針體膜層(4)的底端之間產(chǎn)生空隙。
10.一種多通道微針，其特征在于：由權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的制造工藝制造而得。
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