[發明專利]一種快速制備YbAl3 有效
| 申請號： | 202210410567.0 | 申請日： | 2022-04-19 |
| 公開（公告）號： | CN114975759B | 公開（公告）日： | 2023-05-02 |
| 發明（設計）人： | 趙文俞;張曉鵬;賀丹琪;翟鵬程 | 申請（專利權）人： | 武漢理工大學 |
| 主分類號： | H10N10/01 | 分類號： | H10N10/01;H10N10/854;C23C14/26;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/58 |
| 代理公司： | 湖北武漢永嘉專利代理有限公司 42102 | 代理人： | 李欣榮 |
| 地址： | 430070 湖*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 快速 制備 ybal base sub | ||
1.一種快速制備YbAl3熱電薄膜的方法，其特征在于，包括如下步驟：
1)以Al粉和YbAl3粉為原料，將原料在真空條件下蒸鍍至基板表面，得表面含前驅體薄膜的基板；
所述蒸鍍步驟包括：將Al粉和YbAl3粉分別放置在蒸發鎢舟中，在真空度＜6×10-3pa的條件下同時蒸鍍YbAl3粉和Al粉；其中蒸鍍YbAl3粉采用的電流為180～210A，蒸鍍速度為蒸鍍Al粉采用的電流為150～180A，速度為同時蒸鍍時間為5～10min；
2)向耐高溫容器中加入Al粉，然后將步驟1)所得表面含前驅體薄膜的基板設置在耐高溫容器中，并控制基板蒸鍍薄膜的一面與耐高溫容器的內表面形成將Al粉包含在其中的密閉空間；然后在絕氧條件下加熱進行高溫退火，冷卻，即在基板表面得到單相的YbAl3熱電薄膜；
所述高溫退火溫度為600～650℃，時間為2～10min；
所述Al粉的添加量控制在步驟2)所述密閉空間體積的0.1％以下。
2.根據權利要求1所述的所述方法，其特征在于，所述基板為玻璃基板或銅基底。
3.根據權利要求1所述的所述方法，其特征在于，步驟1)中所述Al粉和YbAl3粉的質量比為1:(4～6)。
4.根據權利要求2所述的所述方法，其特征在于，采用銅基底時，在同時蒸鍍YbAl3粉和Al粉前，預先蒸鍍Al粉，具體步驟包括：在真空度＜6×10-3pa的條件下，控制電流為150～180A，速度時間為5～10min；其中預先蒸鍍的Al粉質量與同時蒸鍍步驟引入的YbAl3粉的質量比為1:(4～8)。
5.根據權利要求1所述的所述方法，其特征在于，步驟2)所述耐高溫容器選用氧化物坩堝時，在使用前包覆一層耐高溫且不與Al粉反應的保護層。
6.根據權利要求1所述的所述方法，其特征在于，步驟2)所述Al粉的添加量控制在步驟2)所述密閉空間體積的0.04％以上。
7.根據權利要求1所述的所述方法，其特征在于，所述絕氧條件為真空或惰性氣氛條件。
8.權利要求1～7任一項所述制備方法制得的YbAl3熱電薄膜，其特征在于，其組成為單相YbAl3。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于武漢理工大學，未經武漢理工大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202210410567.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
