[發明專利]一種磁透鏡恒流勵磁電源

在審

• 申請號: 202210409865.8
• 申請日: 2022-04-19
• 公開（公告）號: CN114614656A
• 公開（公告）日: 2022-06-10
• 發明（設計）人: 魏志猛;梁晶;李萬松;萬翔;周武德;唐愛權;呂紹林
• 申請（專利權）人: 蘇州博眾儀器科技有限公司;博眾精工科技股份有限公司
• 主分類號: H02M1/088
• 分類號: H02M1/088;H02M1/36
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 駱文欣

本發明實施例公開了一種磁透鏡恒流勵磁電源，該磁透鏡恒流勵磁電源包括基準電源模塊、控制模塊、輸出調節模塊和輸出反饋模塊；基準電源模塊與輸出調節模塊的輸入端電連接，輸出調節模塊的輸出端分別與負載和輸出反饋模塊電連接，控制模塊分別與輸出調節模塊的輸入端和輸出反饋模塊電連接；基準電源模塊用于向輸出調節模塊輸出基準電壓信號；輸出反饋模塊用于向控制模塊反饋輸出調節模塊輸出的輸出功率信號；控制模塊用于根據輸出功率信號向輸出調節模塊的輸入端輸出反饋信號，控制輸出調節模塊調節輸出功率信號。本發明實施例通過在磁透鏡恒流勵磁電源中設置輸出反饋模塊，形成閉環反饋，提升磁透鏡恒流勵磁電源的穩定性，可以達到1×10^?6/min。

技術領域

本發明涉及電子顯微鏡的技術領域，尤其是涉及一種磁透鏡恒流勵磁電源。

背景技術

以透射電子顯微鏡、掃描電子顯微鏡為代表的電子顯微鏡作為人類探索微觀世界的重要工具，被廣泛地應用于材料科學、生命科學、半導體工業以及地質、能源、醫療、制藥等諸多領域，在人類科學研究和工業生產中發揮著巨大作用。

磁透鏡是電子顯微鏡的關鍵電子光學部件，用于在電子顯微鏡鏡筒內產生旋轉對稱的磁場，從而對電子束產生聚焦效果，就如同光學顯微鏡中的玻璃透鏡對光線產生聚焦效果一樣，同樣，磁透鏡也有像差，從而限制電子顯微鏡的分辨率。磁透鏡所能達到的像差和最終分辨率受到產生磁場的電流穩定性的限制。因此，穩定度盡可能高的恒流電源對于電子顯微鏡是非常重要的。

發明內容

有鑒于此，本發明實施例提供一種磁透鏡恒流勵磁電源，通過在磁透鏡恒流勵磁電源中增設輸出反饋模塊，提升磁透鏡恒流勵磁電源的穩定性。

本發明實施例提供了一種磁透鏡恒流勵磁電源，包括基準電源模塊、控制模塊、輸出調節模塊和輸出反饋模塊；

所述基準電源模塊與所述輸出調節模塊的輸入端電連接，所述輸出調節模塊的輸出端分別與負載和所述輸出反饋模塊電連接，所述控制模塊分別與所述輸出調節模塊的輸入端和所述輸出反饋模塊電連接；

所述基準電源模塊用于向所述輸出調節模塊輸出基準電壓信號；

所述輸出反饋模塊用于向所述控制模塊反饋所述輸出調節模塊輸出的輸出功率信號；

所述控制模塊用于根據所述輸出功率信號向所述輸出調節模塊的輸入端輸出反饋信號，控制所述輸出調節模塊調節所述輸出功率信號。

可選的，所述輸出反饋模塊包括基準采樣單元和第一光電隔離單元；

所述基準采樣單元分別與所述輸出調節模塊和所述第一光電隔離單元電連接，所述第一光電隔離單元與所述控制模塊電連接。

可選的，所述控制模塊包括單片機控制單元和第二光電隔離單元；

所述第二光電隔離單元分別與所述單片機控制單元和所述輸出調節模塊的輸入端電連接。

可選的，所述磁透鏡恒流勵磁電源還包括溫度控制板和溫度調節模塊；

所述溫度控制板與所述溫度調節模塊電連接，用于調整所述磁透鏡恒流勵磁電源的溫度；

至少所述輸出調節模塊設置于所述溫度控制板上。

可選的，所述溫度控制板包括水冷板；

所述溫度調節模塊包括水冷機。

可選的，所述輸出調節模塊包括數模轉換單元、比較放大單元和輸出單元；

所述數模轉換單元分別與所述基準電源模塊和所述控制模塊電連接，用于將所述基準電壓信號和所述反饋信號調整為模擬信號；

所述比較放大單元分別與所述數模轉換單元和所述輸出單元電連接，所述比較放大單元用于根據所述基準電壓信號和所述反饋信號輸出比較放大信號；