[發明專利]一種用于砷化鎵晶體生長用新型密封結構

在審

• 申請號: 202210408728.2
• 申請日: 2022-04-19
• 公開（公告）號: CN114688250A
• 公開（公告）日: 2022-07-01
• 發明（設計）人: 張滿
• 申請（專利權）人: 北京通美晶體技術股份有限公司
• 主分類號: F16J15/06
• 分類號: F16J15/06;F16J15/10;F16J15/12;C30B29/42;C23C4/129;C23C4/073;C22C19/05;C23C4/134;C23C4/10;C23C4/18
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1.一種用于砷化鎵晶體生長用新型密封結構，其特征在于，包括石英管(1)和與石英管(1)螺紋連接的石英帽(2)，所述石英帽(2)內壁設有內螺紋且與石英管(1)螺紋連接；

所述石英帽(2)靠近石英管(1)一側沿其周面開設有容納槽(21)，容納槽(21)處于石英帽(2)頂部與內螺紋之間，所述容納槽(21)內填充有膨脹石墨-玄武巖纖維復合布(3)，所述膨脹石墨-玄武巖纖維復合布(3)由玄武巖纖維布在分散有膨脹石墨的溶劑中浸漬后烘干得到。

2.根據權利要求1所述的一種用于砷化鎵晶體生長用新型密封結構，其特征在于：分散有膨脹石墨的溶劑選用水，且膨脹石墨與水的質量比為（15-20）：1。

3.根據權利要求1所述的一種用于砷化鎵晶體生長用新型密封結構，其特征在于：分散有膨脹石墨的溶劑中還添加有聚乙烯醇，聚乙烯醇與溶劑的質量比為1：（5-6）。

4.根據權利要求1所述的一種用于砷化鎵晶體生長用新型密封結構，其特征在于：玄武巖纖維布浸漬后烘干參數為：烘干溫度為60-80℃，烘干時間為30-40min。

5.根據權利要求1所述的一種用于砷化鎵晶體生長用新型密封結構，其特征在于：所述容納槽(21)內還設置有金屬包覆墊片(4)，金屬包覆墊片(4)一側與所述石英管(1)抵接，另一側與所述膨脹石墨-玄武巖纖維復合布(3)貼合。

6.根據權利要求5所述的一種用于砷化鎵晶體生長用新型密封結構，其特征在于：所述金屬包覆墊片(4)外層靠近石英管(1)一側還依次噴涂形成有MCrAlY粘結層(5)和陶瓷面層(6)以及無機高溫涂層(7)，所述無機高溫涂層(7)由無機高溫涂料噴涂得到，所述無機高溫涂料由包括以下重量份的原料制得：8-15份石英粉、30-50份耐熱樹脂、10-20份納米α-氧化鋁、6-10份納米二氧化鋯和15-25份勃姆石溶膠。

7.根據權利要求6所述的一種用于砷化鎵晶體生長用新型密封結構，其特征在于：所述耐熱樹脂選用耐高溫有機硅改性樹脂；所述勃姆石溶膠由勃姆石固體在3-5體積倍數的強酸溶液中溶解得到。

8.根據權利要求6所述的一種用于砷化鎵晶體生長用新型密封結構，其特征在于：所述金屬墊片外層噴涂有MCrAlY粘結層(5)和陶瓷面層(6)后進行真空高溫固溶熱處理和真空析出熱處理操作；

然后噴涂無機高溫涂料后烘干得到無機高溫涂層(7)。

9.根據權利要求1所述的一種用于砷化鎵晶體生長用新型密封結構，其特征在于：噴涂無機高溫涂料后烘干參數為：烘干溫度170-190℃，烘干時間20-40min。