[發(fā)明專利]一種鍋型靶材的焊接方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210392150.6
• 申請(qǐng)日: 2022-04-14
• 公開（公告）號(hào): CN114603243A
• 公開（公告）日: 2022-06-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚力軍;潘杰;王學(xué)澤;周友平;廖培君;華東瑜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號(hào): B23K15/00
• 分類號(hào): B23K15/00;B23K15/06
• 代理公司: 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11659
• 代理人: 韓承志

本發(fā)明涉及一種鍋型靶材的焊接方法，焊接方法包括：將鍋型靶材和支撐件采用電子束進(jìn)行焊接，焊接中材質(zhì)熔點(diǎn)高的焊接面設(shè)置有斜面；斜面的豎直長度為4?7mm；斜面的高度為0.2?0.5mm；電子束焊接包括第一焊接、第二焊接、第三焊接和第四焊接；第一焊接為對(duì)非斜面的焊接面進(jìn)行焊接；第二焊接為對(duì)距離斜面0.4?0.8mm的端面進(jìn)行焊接；第三焊接為對(duì)距離斜面0.6?1.2mm的端面進(jìn)行焊接；第四焊接為對(duì)鍋型靶材和支撐件間的縫隙進(jìn)行焊接。通過采用特定的焊接結(jié)構(gòu)和焊接過程相配合實(shí)現(xiàn)不同材質(zhì)的靶材和支撐件即法蘭的高效，高強(qiáng)度焊接，解決了目前共熔性較差的材料間焊接過程中存在的脫焊或焊接結(jié)合率不足的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及靶材領(lǐng)域，具體涉及一種鍋型靶材的焊接方法。

背景技術(shù)

目前，在半導(dǎo)體工業(yè)中，由于集成化的提升即需要更小粒級(jí)的材料，HCM被提出進(jìn)行應(yīng)用，而HCM機(jī)臺(tái)用銅濺射靶材外形與常見平面靶材差異較大，HCM用銅靶為“鍋型”，靶材鍋體外側(cè)壁為水冷面，鍋體內(nèi)壁為濺射消耗面。

如CN1308146公開了一種包層的HCM濺射靶，該濺射靶將輕便和/或不昂貴、低純度包層材料片附著在濺射靶材料板上，該濺射靶材料具有精細(xì)、均勻的微觀結(jié)構(gòu)。這種包層HCM濺射靶比單片HCM濺射靶更輕和/或造價(jià)較低，并且其濺射靶材料利用率更高。

CN113319417A公開了一種HCM機(jī)臺(tái)用靶材電子束焊接成型的方法，所述方法包括：將原材料機(jī)加工形成鍋型的靶材主體，所述靶材主體開口處的端面加工成斜面，并將法蘭的一個(gè)端面也加工成斜面；將靶材主體和法蘭的斜面接觸裝配后固定到工裝夾具內(nèi)；啟動(dòng)電子束焊接設(shè)備，抽真空后進(jìn)行電子束焊接，電子束的方向與裝配面平行，焊接后得到所述靶材。其針對(duì)某種特定結(jié)構(gòu)的異型靶材，將靶材主體與法蘭進(jìn)行電子束焊接，并根據(jù)兩者的裝配面特點(diǎn)，選擇合適的工裝夾具結(jié)構(gòu)，通過調(diào)整裝配件和工裝夾具在電子束焊接設(shè)備內(nèi)的位置關(guān)系，保證焊接過程的順利進(jìn)行；所述方法能有效解決該類異型靶材難以整體成型的問題，降低加工難度，并減少原材料用量，降低成本。

然而，在鍋型靶材裝配過程中通常需要通過加裝法蘭對(duì)靶材進(jìn)行安裝和固定，然而由于靶材和法蘭的材質(zhì)往往并不相同，尤其是鉭鍋型靶材和鈦法蘭(支撐件)，由于兩種材料共熔性不佳即熔點(diǎn)不相同，導(dǎo)致焊接強(qiáng)度不盡人意，使用過程中存在明顯的脫焊現(xiàn)象。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種鍋型靶材的焊接方法，以解決目前不同材質(zhì)的鍋型靶材和法蘭進(jìn)行電子束焊接存在的脫焊或焊接結(jié)合率不足的問題。

為達(dá)此目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

本發(fā)明提供了一種鍋型靶材的焊接方法，所述焊接方法包括：將鍋型靶材和支撐件采用電子束進(jìn)行焊接；

所述焊接中材質(zhì)熔點(diǎn)高的焊接面設(shè)置有斜面；

所述斜面的豎直長度為4-7mm；

所述斜面的高度為0.2-0.5mm；

所述電子束焊接包括第一焊接、第二焊接、第三焊接和第四焊接；

所述第一焊接為對(duì)非斜面的焊接面進(jìn)行焊接；

所述第二焊接為對(duì)距離所述斜面0.4-0.8mm的端面進(jìn)行焊接；

所述第三焊接為對(duì)距離所述斜面0.6-1.2mm的端面進(jìn)行焊接；

所述第四焊接為對(duì)所述鍋型靶材和所述支撐件間的縫隙進(jìn)行焊接。

本發(fā)明提供的焊接方法，通過采用特定的焊接結(jié)構(gòu)和焊接過程相配合實(shí)現(xiàn)不同材質(zhì)的靶材和支撐件即法蘭的高效，高強(qiáng)度焊接，解決了目前共熔性較差的材料間焊接過程中存在的脫焊或焊接結(jié)合率不足的問題。