[發(fā)明專利]一種新型遠(yuǎn)距離紅外測(cè)溫傳感器裝置在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202210388497.3 | 申請(qǐng)日: | 2022-04-14 |
| 公開(公告)號(hào): | CN114593828A | 公開(公告)日: | 2022-06-07 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 吳建耀;葉菲;嚴(yán)行健;姜長(zhǎng)華;李佳豪;夏賢沖 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 江蘇物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心;佛山市川東磁電股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | G01J5/12 | 分類號(hào): | G01J5/12;G01J5/06;G01J5/08 |
| 代理公司: | 無錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 季玉晴;曹祖良 |
| 地址: | 214000 江蘇省無錫市新吳區(qū)太湖*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 新型 遠(yuǎn)距離 紅外 測(cè)溫 傳感器 裝置 | ||
本發(fā)明涉及紅外測(cè)溫技術(shù)領(lǐng)域,具體公開了一種新型遠(yuǎn)距離紅外測(cè)溫傳感器裝置,包括紅外光透鏡和設(shè)置在所述紅外光透鏡一側(cè)的傳感元件,還包括光闌,所述光闌包括內(nèi)光闌和/或外光闌,所述內(nèi)光闌設(shè)置在所述紅外光透鏡和所述傳感元件之間,所述外光闌設(shè)置在所述紅外光透鏡遠(yuǎn)離所述傳感元件的一側(cè),所述傳感元件包括位于中間的有效傳感區(qū)域和位于所述有效傳感區(qū)域周邊的邊框區(qū)域。本發(fā)明提供的新型遠(yuǎn)距離紅外測(cè)溫傳感器裝置,可以限制傳感元件邊緣部分受輻射的影響,進(jìn)一步提高信號(hào)的信噪比,同時(shí)更準(zhǔn)確地反映被測(cè)量物體的真實(shí)溫度。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及紅外測(cè)溫技術(shù)領(lǐng)域,更具體地,涉及一種新型提高精度遠(yuǎn)距離紅外測(cè)溫傳感器裝置。
背景技術(shù)
目前常用的普通紅外測(cè)溫器的有效準(zhǔn)確測(cè)溫距離大致在5厘米以內(nèi),這個(gè)限制來自于兩個(gè)部分,一是目前采用的傳感元件,如MEMs紅外傳感器的靈敏度,二是傳感器本身的設(shè)計(jì),如目前常用的人體溫度測(cè)量的TO-46紅外測(cè)溫傳感器封裝,其接受輻射的角度大致有90度,離測(cè)量目標(biāo)距離變大,接受的目標(biāo)面積也會(huì)增大,超出目標(biāo)大小,測(cè)量就不再準(zhǔn)確。為了達(dá)到測(cè)量的準(zhǔn)確并信號(hào)的信噪比穩(wěn)定,就必須解決這兩個(gè)問題。
這兩個(gè)問題的解決不是一個(gè)簡(jiǎn)單的提高傳感元件的靈敏度,或改變傳感器封裝方式來限制輻射接受角度那么簡(jiǎn)單,還要涉及對(duì)傳感元件信號(hào)輸出、封裝及材料的理解來綜合設(shè)計(jì)以提高傳感器的信噪比,達(dá)到實(shí)用的效果。紅外測(cè)溫的基本物理理論基于黑體輻射理論,普朗克公式(Plack’s Law)準(zhǔn)確描述了物體輻射與物體溫度的關(guān)系,普朗克(MaxPlanck)是量子理論的開創(chuàng)者之一,此公式獲得了1918年的Nobel獎(jiǎng)。由普朗克公式對(duì)波長(zhǎng)積分可以推導(dǎo)出Stefan-Boltzmann公式,建立了物體輻射能量與物體溫度的關(guān)系。由此,我們測(cè)量輻射能量就可以間接獲得物體的溫度信息。
紅外測(cè)溫傳感元件,如目前最常用的基于半導(dǎo)體MEMs技術(shù)的熱電偶,接受微弱的輻射而產(chǎn)生一個(gè)微小電勢(shì)輸出,這個(gè)電勢(shì)正比與接受的輻射能量減去自身的輻射能量。這是傳感元件的工作原理。從這個(gè)來說,測(cè)溫傳感信號(hào)不僅取決于被測(cè)物體的溫度,也取決于傳感元件本身的溫度。這里假設(shè)了被測(cè)物體的溫度是均勻的,如不均勻,測(cè)量獲得的結(jié)果是測(cè)量范圍內(nèi)被測(cè)物體的積分平均溫度。
為實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確測(cè)量,采用了封裝技術(shù),把傳感元件密封在一個(gè)溫度一致的環(huán)境內(nèi),實(shí)現(xiàn)傳感元件本身的溫度精確測(cè)量,同時(shí)限制傳感元件接受輻射的角度來實(shí)現(xiàn)對(duì)有限范圍內(nèi)物體的溫度測(cè)量。但隨著被測(cè)物體的距離變遠(yuǎn),我們就要把這個(gè)接受輻射的角度限制到更小,來測(cè)量同樣大小物體的溫度,同時(shí)這個(gè)距離變遠(yuǎn)造成了接受的輻射以距離平方反比關(guān)系的輻射減弱。這對(duì)測(cè)量元件的靈敏度和信噪比提出了更嚴(yán)的要求。為解決這兩個(gè)問題常規(guī)的設(shè)計(jì)是采用光透鏡的方式來達(dá)成兩大目的,即實(shí)現(xiàn)角度的控制,同時(shí)提高了輻射接受角度來提高傳感元件接受更多的能量。國(guó)際市場(chǎng)上已經(jīng)有這種設(shè)計(jì)的紅外測(cè)溫傳感器,有不同的接受角度控制來實(shí)現(xiàn)不同的應(yīng)用需求。
如圖1所示,描述了常規(guī)的紅外測(cè)溫傳感器的設(shè)計(jì),一個(gè)紅外透明材料制作的紅外光透鏡(1)會(huì)聚入射的紅外輻射,聚焦到紅外輻射傳感元件(2)上,主入射光(ChiefRay),在圖1中水平入射的光線,聚焦到傳感元件(2)的中間,傾斜入射的光會(huì)聚點(diǎn)將會(huì)偏離中心,隨入射角度的增大而逐步遠(yuǎn)離中心,最后將離開傳感元件的有效傳感區(qū)域(3)之外,會(huì)聚到傳感元件(2)的邊框區(qū)域(4)。
這個(gè)設(shè)計(jì)理論上是一個(gè)直觀的設(shè)計(jì),但這個(gè)設(shè)計(jì)忽略了MEMs傳感元件本身的一個(gè)具體問題,有限角度內(nèi)的輻射到達(dá)了傳感元件接受面上,但限制角度外的輻射也會(huì)到達(dá)傳感元件的邊側(cè)或封裝上來直接或間接加熱傳感元件,這個(gè)邊側(cè)和封裝設(shè)計(jì)決定了傳感元件本身基準(zhǔn)溫度,受輻射會(huì)造成測(cè)量信號(hào)的下降以及噪聲的提高。
發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述弊端,本發(fā)明提供了一種新型遠(yuǎn)距離紅外測(cè)溫傳感器裝置,可以限制傳感元件邊緣部分受輻射的影響,進(jìn)一步提高信號(hào)的信噪比,同時(shí)更準(zhǔn)確地反映被測(cè)量物體的真實(shí)溫度。
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