[發明專利]一種晶圓分離的設備以及方法

在審

• 申請號: 202210385481.7
• 申請日: 2022-04-13
• 公開（公告）號: CN114932635A
• 公開（公告）日: 2022-08-23
• 發明（設計）人: 簡世平;高楊;國柄智章;簡麟豐;竹原尚吾
• 申請（專利權）人: 深圳市米珈來智能裝備有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04;B23K26/38;B23K26/70;B23K101/40
• 代理公司: 深圳國新南方知識產權代理有限公司 44374
• 代理人: 周雷

1.一種晶圓分離的設備，其特征在于，包括：用于固定晶碇的平臺；

所述設備工作時，所述晶碇的上方為振動板，并且所述晶碇與所述振動板之間具有一層水膜；所述振動板上設置至少一個超聲波發生器，所述超聲波發生器產生的振動經所述振動板傳遞到水膜。

2.根據權利要求1所述的晶圓分離的設備，其特征在于，所述晶碇和所述振動板在垂直方向上的投影重疊。

3.根據權利要求1所述的晶圓分離的設備，其特征在于，所述振動板在垂直方向上的投影包圍所述晶碇在垂直方向上的投影。

4.根據權利要求2或3所述的晶圓分離的設備，其特征在于，所述振動板的內部設置注水口，水從振動板的上方注入到所述振動板與所述晶碇之間。

5.根據權利要求4所述的晶圓分離的設備，其特征在于，所述超聲波發生器安置于所述振動板。

6.根據權利要求5所述的晶圓分離的設備，其特征在于，所述超聲波發生器為多個時，所述超聲波發生器于所述振動板上均勻分布。

7.根據權利要求6所述的晶圓分離的設備，其特征在于，所述振動板與所述晶碇的相對位置可以調節。

8.根據權利要求7所述的晶圓分離的設備，其特征在于，所述設備還包括機械手臂，所述機械手臂用于將待分離晶圓從晶碇上取下。

9.一種晶圓分離的方法，其特征在于，包括：

將經過激光照射的晶碇放置到平臺上；

振動板、超聲波發生器移動至預定位置并保持位置；

向振動板與晶碇之間的間隙持續注水并形成水膜；

超聲波發生器產生超聲波振動，并經所述振動板傳遞到水膜和晶碇，使得改質層的龜裂點周邊裂紋進一步成長；

所述超聲波發生器停止產生超聲波振動，所述振動板復位；

機械手臂將與晶碇結合變弱的晶圓取下并移至下個單元。