[發(fā)明專利]一種回音壁微腔光纖濕度傳感器

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210384984.2
• 申請日: 2022-04-13
• 公開（公告）號: CN114894745A
• 公開（公告）日: 2022-08-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 梁磊;劉美子;劉楠;孫浩;任凱利;石英了
• 申請（專利權(quán)）人: 西安郵電大學(xué)
• 主分類號: G01N21/41
• 分類號: G01N21/41;G02B6/02;G02B6/255
• 代理公司: 西安嘉思特知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 61230
• 代理人: 李薇

1.一種回音壁微腔光纖濕度傳感器，其特征在于，包括：封裝體、熔錐光纖以及單模光纖；

其中，所述單模光纖的一端被加工為回音壁微腔；所述回音壁微腔的外表面涂覆有濕敏材料；

所述封裝體用于對所述熔錐光纖的錐部以及所述回音壁微腔進行固定和封裝；所述封裝體上設(shè)有透氣結(jié)構(gòu)，以使待測濕度的氣體接觸所述濕敏材料；

所述單模光纖垂直于所述熔錐光纖的錐部，且所述單模光纖具有所述回音壁微腔的一端靠近所述錐部；所述回音壁微腔和所述錐部之間的距離滿足預(yù)設(shè)條件；所述預(yù)設(shè)條件為：當(dāng)光在所述熔錐光纖中傳輸時，所述錐部的光經(jīng)過所述距離耦合入所述回音壁微腔中會產(chǎn)生諧振。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的回音壁微腔光纖濕度傳感器，其特征在于，還包括：屏蔽體；

所述屏蔽體，被配置為在所述回音壁微腔光纖濕度傳感器不工作時屏蔽所述透氣結(jié)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的回音壁微腔光纖濕度傳感器，其特征在于，所述單模光纖有兩根；

兩根所述單模光纖分別位于所述熔錐光纖的兩側(cè)且軸對稱放置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的回音壁微腔光纖濕度傳感器，其特征在于，所述單模光纖有兩根；

兩根所述單模光纖位于所述熔錐光纖的同一側(cè)且平行放置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的回音壁微腔光纖濕度傳感器，其特征在于，所述封裝體包括：基板和透氣蓋；

所述基板的一側(cè)表面刻有至少兩條凹槽，以分別載置所述熔錐光纖和所述單模光纖；所述透氣蓋覆蓋在所述回音壁微腔上方。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的回音壁微腔光纖濕度傳感器，其特征在于，還包括屏蔽蓋；

所述屏蔽蓋，被配置為在所述回音壁微腔光纖濕度傳感器不工作時屏蔽所述透氣蓋。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的回音壁微腔光纖濕度傳感器，其特征在于，所述封裝體包括：凝固膠體。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的回音壁微腔光纖濕度傳感器，其特征在于，所述回音壁微腔為微球腔。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的回音壁微腔光纖濕度傳感器，其特征在于，所述錐部的直徑為1μm～10μm。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的回音壁微腔光纖濕度傳感器，其特征在于，所述回音壁微腔的最大直徑為50μm～200μm。