[發(fā)明專利]一種基于邊緣迭代的電子束光刻劑量形狀校正方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210381947.6
• 申請(qǐng)日: 2022-04-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114675508A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-06-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉杰;徐宏成;姚文澤;趙浩杰;張思媛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 湖南大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/20;G06F17/16
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種基于邊緣迭代的電子束光刻劑量形狀校正方法，其特征在于包括以下步驟：

步驟S1，電子束曝光版圖網(wǎng)格劃分；

步驟S2，判斷并存儲(chǔ)曝光版圖中每個(gè)圖素邊緣各點(diǎn)的位置；

步驟S3，模擬電子束曝光版圖曝光、顯影過(guò)程，計(jì)算每個(gè)圖素邊緣對(duì)應(yīng)像素的偏移量；

步驟S4，根據(jù)每個(gè)圖素邊緣對(duì)應(yīng)像素的偏移量，校正每個(gè)圖素的邊緣曝光位置；

步驟S5，計(jì)算誤差并判斷迭代是否收斂；

步驟S6，獲取形狀校正后的版圖。

2.如權(quán)利要求1所述的一種基于邊緣迭代的電子束光刻劑量形狀校正方法，其特征在于：于步驟S1中，讀入電子束光刻原始版圖，將版圖需要曝光的部分等間隔均勻的劃分為正方形網(wǎng)格(亦可以表示為“像素”)，每個(gè)網(wǎng)格即是一個(gè)曝光點(diǎn)，原始版圖處賦值為1，其余空白的網(wǎng)格賦值0，轉(zhuǎn)化的原始版圖用P(x,y)(0≤xM,0≤yN,其中M，N分別是版圖的長(zhǎng)度和寬度)表示。

3.如權(quán)利要求1所述的一種基于邊緣迭代的電子束光刻劑量形狀校正方法，其特征在于：于步驟S2中，判斷并存儲(chǔ)曝光版圖中每個(gè)圖素邊緣各點(diǎn)的位置，根據(jù)S1中獲取的原始版圖矩陣P(x,y)，按照邊緣分成上(T)、右(R)、下(B)和左(L)四組數(shù)據(jù)列表，按照公式(1)、(2)、(3)和(4)四個(gè)條件，分別判斷與存儲(chǔ)，即：

1)版圖中每個(gè)圖素位于上邊緣的判斷條件：

式中，P(x,y)為原始版圖矩陣。T為存儲(chǔ)上邊緣所有點(diǎn)和偏移量的列表，δ為上邊緣的某點(diǎn)的偏移量(即上邊緣該點(diǎn)向上移動(dòng)，或者向下移動(dòng)的量)。遍歷原始版圖矩陣P(x,y)中x、y坐標(biāo)，將滿足公式(1)的坐標(biāo)按x、y和δ三個(gè)變量為一組，按順序依次存入上邊緣列表T，且初始化δ＝0。

2)版圖中每個(gè)圖素位于右邊緣的判斷條件：

式中，P(x,y)為原始版圖矩陣。R為存儲(chǔ)右邊緣所有點(diǎn)和偏移量的列表，δ為右邊緣的某點(diǎn)的偏移量(即右邊緣該點(diǎn)向左移動(dòng)，或者向右移動(dòng)的量)。遍歷原始版圖矩陣P(x,y)中x、y坐標(biāo)，將滿足公式(2)的坐標(biāo)按x、y和δ三個(gè)變量為一組，按順序依次存入右邊緣列表R，且初始化δ＝0。

3)版圖中每個(gè)圖素位于下邊緣的判斷條件：

式中，P(x,y)為原始版圖矩陣。B為存儲(chǔ)下邊緣所有點(diǎn)和偏移量的列表，δ為下邊緣的某點(diǎn)的偏移量(即下邊緣該點(diǎn)向上移動(dòng)，或者向下移動(dòng)的量)。遍歷原始版圖矩陣P(x,y)中x、y坐標(biāo)，將滿足公式(3)的坐標(biāo)按x、y和δ三個(gè)變量為一組，按順序依次存入下邊緣列表B，且初始化δ＝0。

4)版圖中每個(gè)圖素位于左邊緣的判斷條件：

式中，P(x,y)為原始版圖矩陣。L為存儲(chǔ)左邊緣所有點(diǎn)和偏移量的列表，δ為左邊緣的某點(diǎn)的偏移量(即左邊緣該點(diǎn)向左移動(dòng)，或者向右移動(dòng)的量)。遍歷原始版圖矩陣P(x,y)中x、y坐標(biāo)，將滿足公式(4)的坐標(biāo)按x、y和δ三個(gè)變量為一組，按順序依次存入左邊緣列表L，且初始化δ＝0。