[發(fā)明專利]一種光伏硅片洗磷裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202210378252.2 | 申請日: | 2022-04-12 |
| 公開(公告)號: | CN114695208A | 公開(公告)日: | 2022-07-01 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 石燦中 | 申請(專利權(quán))人: | 安徽舟港新能源科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687;H01L31/18;B08B3/08;B08B3/10 |
| 代理公司: | 成都蓉創(chuàng)智匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51276 | 代理人: | 王成 |
| 地址: | 230000 安徽*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 硅片 裝置 | ||
1.一種光伏硅片洗磷裝置,包括清洗框(1)、控制調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(2)、放置夾持機(jī)構(gòu)(3)以及聯(lián)動控制機(jī)構(gòu)(4);其特征在于,所述清洗框(1)的左右兩側(cè)對稱安裝有控制調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(2),所述控制調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(2)之間通過卡接固定的方式設(shè)置有放置夾持機(jī)構(gòu)(3),所述清洗框(1)內(nèi)設(shè)置有與所述放置夾持機(jī)構(gòu)(3)相配合的聯(lián)動控制機(jī)構(gòu)(4);
所述控制調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(2)包括安裝在所述清洗框(1)上的控制電動滑塊(21),所述控制電動滑塊(21)上安裝有移動板,所述移動板上安裝有升降氣缸(22),所述升降氣缸(22)上安裝有升降架(23),所述升降架(23)的側(cè)壁上安裝有插接氣缸(24),所述插接氣缸(24)上安裝有插接板(25),所述插接板(25)上安裝有插接支鏈(26);
所述放置夾持機(jī)構(gòu)(3)包括放置框(31)、對稱設(shè)置在所述放置框(31)的上端左右兩側(cè)用于與所述插接支鏈(26)相配合的卡接支鏈(32),所述放置框(31)的左右兩端對稱設(shè)置有用于對硅片進(jìn)行夾緊的夾持支鏈(33),所述放置框(31)的后端設(shè)置有用于控制夾持支鏈(33)作業(yè)的驅(qū)動支鏈(34)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光伏硅片洗磷裝置,其特征在于,所述插接支鏈(26)包括設(shè)置在所述插接板(25)上的插接架(261),所述插接架(261)呈U型結(jié)構(gòu),所述插接架(261)遠(yuǎn)離所述插接板(25)的一端上開設(shè)有抵靠槽,所述插接架(261)的內(nèi)壁上安裝有插接彈簧桿(262),所述插接彈簧桿(262)上安裝有抵靠架(263),所述插接架(261)的上下兩個(gè)端面上對稱開設(shè)有穿插孔,所述穿插孔內(nèi)滑動設(shè)置有穿插塊(264),所述穿插塊(264)滑動抵靠在所述抵靠架(263)上,所述抵靠架(263)與所述穿插塊(264)接觸的端面呈傾斜結(jié)構(gòu),所述穿插塊(264)上對稱開設(shè)有鎖緊槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種光伏硅片洗磷裝置,其特征在于,所述卡接支鏈(32)包括對稱設(shè)置在所述放置框(31)左右兩側(cè)的卡接塊(321),所述卡接塊(321)上開設(shè)有矩形槽,所述卡接塊(321)的上下兩端對稱開設(shè)有與所述矩形槽連通的卡接槽,所述矩形槽安裝有立板(322),所述立板(322)的前后兩側(cè)對稱安裝有卡接彈簧桿(323),所述卡接彈簧桿(323)上安裝有卡接架(324),所述卡接架(324)與所述卡接塊(321)之間滑動連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光伏硅片洗磷裝置,其特征在于,所述控制夾持支鏈(33)包括從前往后等間距開設(shè)在所述放置框(31)上的控制槽,所述控制槽內(nèi)設(shè)置有夾持組件,所述夾持組件安裝在控制板上,所述控制板與所述放置框(31)的外壁之間設(shè)置有控制彈簧桿(333),所述控制板從前往后依次交錯(cuò)分為一號板(331)與二號板(332),所述一號板(331)之間通過一號T型(334)板相連,所述二號板(332)之間通過二號T型板(335)相連。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種光伏硅片洗磷裝置,其特征在于,所述驅(qū)動支鏈(34)包括通過電機(jī)座安裝在所述放置框(31)外壁上的驅(qū)動電機(jī)(341),所述驅(qū)動電機(jī)(341)的輸出軸上安裝有驅(qū)動桿(342),所述驅(qū)動桿(342)的兩端分別通過滑動配合方式與一號T型(334)板和二號T型板(335)相連。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種光伏硅片洗磷裝置,其特征在于,所述夾持組件包括安裝在所述控制板上的抵靠塊(336),所述抵靠塊(336)的兩側(cè)對稱安裝有夾持彈簧桿(337),所述夾持彈簧桿(337)安裝有夾持作業(yè)架(338),所述夾持作業(yè)架(338)位于所述控制槽內(nèi)。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





