[發明專利]一種由氣動控制的高低能切換裝置

在審

• 申請號: 202210372456.5
• 申請日: 2022-04-11
• 公開（公告）號: CN114724909A
• 公開（公告）日: 2022-07-08
• 發明（設計）人: 何珍光;李士會;張冰;郭森;季杰
• 申請（專利權）人: 北京爍科中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/248
• 分類號: H01J37/248;H01J37/317
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113
• 代理人: 馬強;王麗霞

本發明提供一種由氣動控制的高低能切換裝置。所述切換裝置包括安裝座、固定座、連接桿、第一導電柱、第二導電柱、第一銅桿、第二銅桿、伸縮驅動件、公頭和母頭；所述連接桿與伸縮驅動件的伸縮桿相連，所述第一銅桿和第二銅桿分別設置在所述連接桿的兩端；所述第一銅桿臨近伸縮桿的末端設置；所述第二導電柱和第一導電柱間隔設置在所述安裝座內；所述連接桿的末端上設有所述公頭，所述安裝座上設有與所述公頭位置對應的所述母頭；所述母頭遠離公頭的一端接地線；所述第一導電柱連接第一高壓線纜和第二高壓線纜,所述第二導電柱連接一根高壓線纜。與相關技術相比，本發明在滿足電氣間隙情況下，通過改變接線方式實現不同能量之間的切換。

技術領域

本發明涉及半導體器件制造技術領域，尤其涉及一種由氣動控制的高低能切換裝置。

背景技術

離子注入摻雜是半導體制造技術中必不可少的關鍵工藝，根據注入元素的不同，要求的電離能量差距是巨大的。離子注入區分為低能和高能，切換不同的注入能量能夠拓展離子注入的應用范圍，可應用到半導體器件制造和不同材料的改性等領域中。既要保證注入質量同時也需要高效率完成。由于需要切換注入能量，則必須考慮安全因素，離子注入工藝中，通常要加幾十到幾百千伏的電壓。

另外，平常用的開關受結構空間影響，接觸頭間距較小，不適應于幾十到幾百千伏的高壓正常的切換，不滿足絕緣距離。

發明內容

本發明的目的在于提供一種由氣動控制的高低能切換裝置，在滿足電氣間隙情況下，通過改變接線方式實現不同能量之間的切換。

本發明的一種技術方案是：一種由氣動控制的高低能切換裝置包括安裝座、固定座、連接桿、第一導電柱、第二導電柱、第一銅桿、第二銅桿、伸縮驅動件、公頭和母頭；所述安裝座與所述固定座插裝并在內部形成能夠安裝伸縮驅動件的空間；所述連接桿與伸縮驅動件的伸縮桿相連，所述第一銅桿和第二銅桿分別設置在所述連接桿的兩端；所述第一銅桿臨近伸縮桿的末端設置；所述第二導電柱和第一導電柱間隔設置在所述安裝座內，且所述第二導電柱位于第一銅桿和第二銅桿之間；所述連接桿臨近第一銅桿的末端上設有所述公頭，所述安裝座上設有與所述公頭位置對應的所述母頭；所述母頭遠離公頭的一端接地線；所述第一導電柱連接第一高壓線纜和第二高壓線纜，所述第二導電柱連接一根高壓線纜；

所述伸縮驅動件伸出時，所述第二銅桿與所述第二導電柱連接，公頭插入母頭中，使高壓電纜接地；所述伸縮驅動件縮回時，所述第一銅桿與第二導電柱連接，所述第二銅桿與所述第一導電柱連接，使所述高壓線纜與第一高壓線纜和第二高壓線纜連接。

優選的，所述由氣動控制的高低能切換裝置還包括固定座，所述伸縮驅動件通過螺釘和壓板安裝在所述固定座上，所述固定座通過螺栓連接于所述安裝座上。

優選的，所述伸縮驅動件為單桿雙作用氣缸，其上設有兩個接頭，分別與無桿腔和有桿腔連通。

優選的，所述母頭與安裝座過盈配合。

優選的，所述母頭遠離公頭的一端通過地線連接塊接地線，所述地線連接塊為長矩形板，其末端設有地線連接孔。

與相關技術相比，本發明的有益效果為：

一、導電柱用耐壓絕緣材料的尼龍塊固定，并將導電柱保持一定的絕緣距離，滿足高電壓需求；

二、伸縮驅動件為單桿雙作用氣缸，雙向推動連接桿，保證連接桿與導電柱良好接觸，防止出現打火現象；

三、所述固定座和安裝座為兩個獨立模塊，方便裝配和維修；

四、結果簡單實用，實用靈活、方便，且成本較低。

附圖說明

圖1為本發明提供的由氣動控制的高低能切換裝置的俯視結構示意圖；

圖2為圖1的A-A剖視示意圖；

圖3為圖1的左側結構示意圖；