[發明專利]一種射頻電源驅動方法及相關設備

在審

• 申請號: 202210365167.2
• 申請日: 2022-04-07
• 公開（公告）號: CN114865884A
• 公開（公告）日: 2022-08-05
• 發明（設計）人: 阮正華;顧銳
• 申請（專利權）人: 無錫邑文電子科技有限公司
• 主分類號: H02M1/00
• 分類號: H02M1/00
• 代理公司: 北京眾達德權知識產權代理有限公司 11570
• 代理人: 劉瑞越

發明公開了一種射頻電源驅動方法及相關設備。該方法包括：基于當前的通訊方案，調用與射頻電源的通用功能或者特定功能對應的驅動指令；基于所述驅動指令，驅動所述射頻電源進行工作；所述通訊方案為射頻電源與上位機的通信方案，該通訊方案為TCP/IP、RS232/485、PLC方案中的至少一種，所述通用功能為所有不同類型的射頻電源均具有的相同功能，所述特定功能為單個射頻電源具有的與其它所有射頻電源均不相同的功能。本申請實施例為射頻電源驅動提供一種統一的編程方法和模型，可以適配不同廠家及型號的射頻電源。為上位機與不同型號的射頻電源之間提供了一種更為靈活的驅動方案。

技術領域

本說明書涉及射頻電源領域，更具體地說，本發明涉及一種射頻電源驅動方法及相關設備。

背景技術

在半導體相關的行業中，射頻電源是一種在不同工藝下(CVD，ETCH等)經常會使用的關鍵設備。隨著半導體電路的模式走向細微化和三維立體化，工藝變得非常復雜，射頻電源趨向多種頻率(2MHz、3.2MHz、13.56MHz、27.12MHz、60MHz)、多功能(Pulse、變頻等)發展。因此，半導體制造設備商在研發不同工藝設備時，會使用到不同廠家提供的不同功能的射頻電源設備。而不同廠家的不同設備提供的通訊方式，指令集不盡相同。

現有的設備控制程序通常會為每一種射頻電源提供一套單獨的設備軟體驅動，并通過UI界面給用戶提供不同軟件功能，程序的控制模式也比較固定。在設備研發過程中或批量生產后，如果射頻電源選型變更，經常會需要對應修改設備驅動，并調整UI界面。一方面需要兼容舊設備中使用的射頻電源，另一方面需要開發新的射頻電源驅動。程序很快會變得臃腫，并難以維護，造成后期大量的維護和開發成本，并最終影響項目的進度及質量。

發明內容

在發明內容部分中引入了一系列簡化形式的概念，這將在具體實施方式部分中進一步詳細說明。本發明的發明內容部分并不意味著要試圖限定出所要求保護的技術方案的關鍵特征和必要技術特征，更不意味著試圖確定所要求保護的技術方案的保護范圍。

為了提供一種適配于不同型號射頻電源的控制軟件，第一方面，本發明提出一種射頻電源驅動方法，用于上位機，上述方法包括：

基于當前的通訊方案，調用與射頻電源的通用功能或者特定功能對應的驅動指令；

基于上述驅動指令，驅動上述射頻電源進行工作；

上述通訊方案為射頻電源與上位機的通信方案，該通訊方案為TCP/IP、RS232/485、PLC方案中的至少一種，上述通用功能為所有不同類型的射頻電源均具有的相同功能，上述特定功能為單個射頻電源具有的與其它所有射頻電源均不相同的功能。

可選的，上述調用與射頻電源的通用功能或者特定功能對應的驅動指令之前，上述方法還包括：

基于不同射頻電源的廠家和型號，定義射頻電源的通用功能和特定功能；

為上述通用功能和特定功能定義分別設置對應的驅動指令；

上述通用功能至少包括創建連接、斷開連接、設置輸出功率和啟用/關閉輸出中的至少一種。

可選的，上述方法還包括：

調用顯示上述射頻電源的一般狀態的顯示指令；

基于上述顯示指令，驅動上述射頻電源將其一般狀態反饋給上位機；

上述一般狀態為不同的射頻電源均具有的狀態，其至少包括廠家、型號、是否已連接、當前輸出功率和反射功率中的至少一種。

可選的，上述方法還包括：

調用顯示上述射頻電源的獨有狀態的顯示指令；

基于上述顯示指令，驅動上述射頻電源將其獨有狀態反饋給上位機；