[發明專利]一種硅片烘干設備

在審

• 申請號: 202210358446.6
• 申請日: 2022-04-06
• 公開（公告）號: CN114719563A
• 公開（公告）日: 2022-07-08
• 發明（設計）人: 孫彬;徐志群;付明全;楊振忠;畢喜行
• 申請（專利權）人: 廣東高景太陽能科技有限公司;廣東金灣高景太陽能科技有限公司
• 主分類號: F26B5/04
• 分類號: F26B5/04;F26B9/06;F26B21/00;F26B21/10;F26B23/04;F26B25/00;F26B25/12;F26B25/18
• 代理公司: 北京眾達德權知識產權代理有限公司 11570
• 代理人: 張曉冬

本發明公開一種硅片烘干設備，包括底座，所述底座的頂端通過固定支撐柱安裝有烘干箱，所述烘干箱的箱體內部填充有保溫棉，所述烘干箱的內部安裝有三個固定箱，所述烘干箱和三個所述固定箱的頂端均開設有入料口，三個所述固定箱的內部均安裝有連接板；本發明的烘干效果更佳相較比傳統的設備該裝置可以通過真空泵使烘干箱內處于負壓，當烘干箱內處于負壓后，使水分中的沸點降低，這樣的烘干效果更好，同時相較比傳統的方式，該裝置可以做到密封的同時又可以將水分進行去除，同時做到了熱交換和熱輻射并存，這樣提高了裝置的實用性和便利性，同時在不影響烘干效果的同時，減少了烘干時間，這樣就提高了工作效率。

技術領域

本發明涉及硅片加工設備技術領域，尤其涉及一種硅片烘干設備。

背景技術

硅片烘干設備就是對硅片進行熱烘干的一種設備，硅片一般是指由單晶硅切割成的薄片，地殼中含量達25.8％的硅元素，為單晶硅的生產提供了取之不盡的源泉，由于硅元素是地殼中儲量最豐富的元素之一，對太陽能電池這樣注定要進入大規模市場的產品而言，儲量的優勢也是硅成為光伏主要材料的原因之一；

傳統的硅片烘干設備，在對硅片烘干的過程中效率較低并且需要進行更換箱子，因在硅片烘干的過程中需要保持密封性這樣就導致并烘干設備為密封時內部的水分將無法排出，因此本發明提出一種硅片烘干設備以解決現有技術中存在的問題。

發明內容

針對上述問題，本發明的目的在于提出一種硅片烘干設備，該硅片烘干設備解決了傳統的硅片烘干設備，在對硅片烘干的過程中效率較低并且需要進行更換箱子，因在硅片烘干的過程中需要保持密封性這樣就導致并烘干設備為密封時內部的水分將無法排出的問題。

為實現本發明的目的，本發明通過以下技術方案實現：一種硅片烘干設備，包括底座，所述底座的頂端通過固定支撐柱安裝有烘干箱，所述烘干箱的箱體內部填充有保溫棉，所述烘干箱的內部安裝有三個固定箱，所述烘干箱和三個所述固定箱的頂端均開設有入料口，三個所述固定箱的內部均安裝有連接板，所述連接板的頂端安裝有硅片放置箱，所述硅片放置箱的下方設置有風輪，三個所述固定箱的兩側均設置有電發熱管，所述電發熱管安裝在烘干箱的兩側，所述烘干箱的兩側內側壁均安裝有折射板，所述底座的頂端安裝有真空泵，所述真空泵的輸入端通過連接管道貫穿于烘干箱和固定箱的底端，并延伸至固定箱的內部，所述連接管道通過管道固定片與烘干箱的底端固定連接，所述固定箱的內側壁通過固定架安裝有監測機構。

進一步改進在于：所述硅片放置箱的底端設置有相接塊，所述相接塊安裝在連接槽的內部，所述連接槽開設在連接塊的內部，所述連接塊設置在連接板的底端中部，所述連接槽的內側壁與相接塊的外側壁均為螺紋狀設置。

進一步改進在于：所述硅片放置箱的前后內壁均開設有卡槽，所述卡槽的內部卡合連接有分隔板。

進一步改進在于：所述風輪安裝在運風馬達的輸出端，所述運風馬達通過安裝架安裝在烘干箱的底端，所述運風馬達的輸出端貫穿于烘干箱和固定箱并延伸至固定箱的內部。

進一步改進在于：所述電發熱管的底端貫穿于烘干箱的底端兩側，所述電發熱管的底端通過安裝固定螺帽與烘干箱固定連接，所述電發熱管的底端外側壁與固定螺帽的內側壁均為螺紋狀設置。

進一步改進在于：所述監測機構包括溫度檢測頭、傳輸線和工業溫度計本體，所述固定箱的內側壁通過固定架安裝有溫度檢測頭，所述溫度檢測頭的一側通過傳輸線與工業溫度計本體相連接，所述傳輸線貫穿于烘干箱的一側。

進一步改進在于：所述工業溫度計本體安裝在固定套的內部，所述固定套安裝在烘干箱的外側壁。

進一步改進在于：所述烘干箱的頂端兩側均通過安裝螺栓安裝有安裝塊，所述安裝塊的內部開設有滑槽，所述滑槽的內部安裝有滑塊。

進一步改進在于：所述滑塊設置在密封移門的兩側，所述密封移門通過滑塊與安裝塊構成滑動結構，所述密封移門的底端與烘干箱的頂端相抵觸，所述密封移門的頂端均安裝有固定板。