[發(fā)明專利]一種用于細管道內(nèi)壁的磁控濺射鍍膜裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210354033.0
• 申請日: 2022-04-06
• 公開（公告）號: CN114752902A
• 公開（公告）日: 2022-07-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉佳明;王鵬程;劉順明;譚彪;孫曉陽;關(guān)玉慧
• 申請（專利權(quán)）人: 散裂中子源科學(xué)中心;中國科學(xué)院高能物理研究所
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/04;C23C14/52
• 代理公司: 深圳鼎合誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44281
• 代理人: 廖金暉;彭家恩

一種用于細管道內(nèi)壁的磁控濺射鍍膜裝置，包括：連接導(dǎo)向機構(gòu)，配重導(dǎo)向機構(gòu)，陰極絲以及磁場發(fā)生機構(gòu)；連接導(dǎo)向機構(gòu)包括：連接管，導(dǎo)體固定件，以及絕緣連接件；導(dǎo)體固定件的內(nèi)部設(shè)有第一連接穿孔，絕緣連接件的內(nèi)部設(shè)有第二連接穿孔，陰極絲的一端穿設(shè)于第一連接穿孔與第二連接穿孔中，并固定在導(dǎo)體固定件上；配重導(dǎo)向機構(gòu)包括：導(dǎo)向管以及配重件；配重件可滑動的設(shè)置在導(dǎo)向管中，配重件上設(shè)有固定位，陰極絲的另一端連接于固定位；磁場發(fā)生機構(gòu)用于套設(shè)在被鍍管道的外側(cè)。陰極絲的兩端分別與連接導(dǎo)向機構(gòu)和導(dǎo)線配重導(dǎo)向機構(gòu)連接，并通過連接導(dǎo)向機構(gòu)和配重導(dǎo)向機構(gòu)保持陰極絲與細長管道的同軸度，避免陰極絲接觸細長管道而導(dǎo)致其短路的現(xiàn)象。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及磁控濺射鍍膜裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于細管道內(nèi)壁的磁控濺射鍍膜裝置。

背景技術(shù)

隨著現(xiàn)代工業(yè)技術(shù)的迅速發(fā)展，薄膜技術(shù)已經(jīng)成為當代真空技術(shù)和材料科學(xué)中最活躍的研究領(lǐng)域之一，在新技術(shù)革命中，具有舉足輕重的作用。管道內(nèi)表面鍍膜技術(shù)是其中重要的領(lǐng)域。在工業(yè)生產(chǎn)中應(yīng)用廣泛，例如：管道內(nèi)表面沉積超硬材料提高耐磨性；在加速器領(lǐng)域中，真空盒內(nèi)表面沉積氮化鈦降低二次電子發(fā)射系數(shù)，沉積非蒸散型吸氣劑薄膜(NEG)使真空盒具有抽氣能力。

對于常規(guī)尺寸管道內(nèi)表面鍍膜，可利用帶有永磁鐵的陰極或內(nèi)置一根金屬絲進行磁控濺射鍍膜，但對于極細管道(直徑小于10mm、長度大于500mm)而言，永磁體陰極受尺寸限制無法置入管道內(nèi)部，內(nèi)置金屬細絲的方式也因易短路的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明主要解決的技術(shù)問題是提供一種用于細管道內(nèi)壁的磁控濺射鍍膜裝置，以保證陰極絲的同軸度，避免與被鍍管道接觸，進而不會造成短路。

本申請?zhí)峁┝艘环N用于細管道內(nèi)壁的磁控濺射鍍膜裝置，包括：連接導(dǎo)向機構(gòu)，配重導(dǎo)向機構(gòu)，陰極絲以及磁場發(fā)生機構(gòu)；所述連接導(dǎo)向機構(gòu)包括：連接管，導(dǎo)體固定件，以及絕緣連接件；所述導(dǎo)體固定件設(shè)置在所述連接管的內(nèi)部，所述絕緣連接件設(shè)置在所述連接管的一端端口處，且所述絕緣連接件與所述導(dǎo)體固定件連接；所述導(dǎo)體固定件的內(nèi)部設(shè)有第一連接穿孔，所述絕緣連接件的內(nèi)部設(shè)有第二連接穿孔，所述陰極絲的一端穿設(shè)于所述第一連接穿孔與所述第二連接穿孔中，并固定在所述導(dǎo)體固定件上；所述配重導(dǎo)向機構(gòu)包括：導(dǎo)向管，以及配重件；所述配重件可滑動的設(shè)置在所述導(dǎo)向管中，所述配重件上設(shè)有固定位，所述陰極絲的另一端連接于所述固定位；所述連接管的另一端用于連接被鍍管道的一端，所述導(dǎo)向管用于連接被鍍管道的另一端，所述磁場發(fā)生機構(gòu)設(shè)置在被鍍管道的外側(cè)，用于產(chǎn)生平行于陰極絲的磁場；所述陰極絲、第一連接穿孔、第二連接穿孔、導(dǎo)向管、固定位均同軸。

一種實施例中，還包括：

第一觀察窗組件，所述第一觀察窗組件包括：第一過渡連接管以及第一觀察件；所述第一過渡連接管具有第一過渡連接通道，所述第一觀察件具有第一觀察通道，所述第一觀察件連接在所述第一過渡連接管上，所述第一觀察通道與所述第一過渡連接通道連通；所述第一過渡連接管的一端與所述絕緣連接件連接，所述第一過渡連接管的另一端用于與被鍍管道的一端連接。

第二觀察窗組件，所述第二觀察窗組件包括：第二過渡連接管以及第二觀察件；所述第二過渡連接管具有第二過渡連接通道，所述第二觀察件具有第二觀察通道，所述第二觀察件連接在所述第二過渡連接管上，所述第二觀察通道與所述第二過渡連接通道連通；所述第二過渡連接管的一端與所述導(dǎo)向管的一端連接，所述第二過渡連接管的另一端用于與被鍍管道的另一端連接。

一種實施例中，還包括：

第一屏蔽管，所述第一屏蔽管穿設(shè)于所述第一過渡連接通道、所述第一連接穿孔與所述第二連接穿孔中，且所述第一屏蔽管固定在所述導(dǎo)體固定件上，所述陰極絲的一端穿設(shè)于所述第一屏蔽管；

第二屏蔽管，所述第二屏蔽管穿設(shè)于所述第二過渡連接通道，且所述第二屏蔽管與所述配重件固定連接；所述陰極絲的另一端穿設(shè)于所述第二屏蔽管。

一種實施例中，