[發(fā)明專利]密封式開關(guān)磁阻電機

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210353951.1
• 申請日: 2014-11-13
• 公開（公告）號: CN114640194A
• 公開（公告）日: 2022-06-17
• 發(fā)明（設計）人: J.T.穆拉;J.克里什納薩米
• 申請（專利權(quán)）人: 博魯可斯自動化美國有限責任公司
• 主分類號: H02K1/16
• 分類號: H02K1/16;H02K1/278;H02K5/10
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張一舟

一種電機包括：密封的轉(zhuǎn)子，其具有至少一個凸出的轉(zhuǎn)子磁極；以及定子，其包括至少一個凸出的定子磁極，所述至少一個凸出的定子磁極具有與之相關(guān)聯(lián)的勵磁繞組，并且與所述至少一個凸出的轉(zhuǎn)子磁極對接，以在所述至少一個凸出的定子磁極和所述至少一個凸出的轉(zhuǎn)子磁極之間實現(xiàn)軸向通量回路。

本申請是申請日為2016年7月13日、申請?zhí)枮?201480073103.9、發(fā)明名稱為《密封式開關(guān)磁阻電機》的發(fā)明專利申請的分案申請。

技術(shù)領(lǐng)域

示例性實施例一般涉及用于真空或腐蝕性環(huán)境中的電機，例如，用于襯底處理設備中的電機。

背景技術(shù)

一般而言，用于例如半導體制造之類的應用中的電機通常被構(gòu)造為無刷DC電機。用于這些應用的轉(zhuǎn)子一般可包括采用稀土材料的若干永磁體。可能需要特別的固定裝置將所述永磁體結(jié)合到轉(zhuǎn)子。例如，當直接驅(qū)動裝置的磁體、結(jié)合的部件、密封件和腐蝕性材料暴露于超高真空和/或侵蝕和腐蝕性的環(huán)境時，例如將永磁體電機用于促動并且將光學編碼器用于位置感測的現(xiàn)有的直接驅(qū)動技術(shù)具有相當大的限制。為了在腐蝕性或高真空的環(huán)境下繼續(xù)使用，永磁體一般需要被封裝和密封，以便避免磁體退化。

用于這些應用的定子通常由具有復雜的槽形狀、多個相位和重疊的線圈的層狀的鐵磁性材料構(gòu)成。常規(guī)的層狀定子的構(gòu)造需要若干復雜的制造步驟，以便保證適當?shù)慕M裝、層壓合、線圈纏繞和安裝以及適當?shù)募庸ぃ詽M足嚴格的公差。

將有利的是提供如下轉(zhuǎn)子，即：所述轉(zhuǎn)子是真空相容的、耐腐蝕的、非層狀的，并且所述轉(zhuǎn)子不利用稀土材料。還將有利的是，使用具有簡化構(gòu)造的非層狀的定子。進一步將有利的是，提供具有較短的磁通路徑的電機，所述較短的磁通路徑導致較低的渦電流和鐵損，并且提供較高的扭矩能力。

附圖說明

結(jié)合附圖，在以下描述中解釋所公開的實施例的前述方面和其他特征，附圖中：

圖1A-1D示出了根據(jù)所公開的實施例的一些方面的襯底處理設備或工具的示意圖；

圖2圖示了根據(jù)所公開的實施例的一些方面的示例性電機；

圖3A圖示了根據(jù)所公開的實施例的一些方面的示例性轉(zhuǎn)子；

圖3B圖示了根據(jù)所公開的實施例的一些方面的示例性定子；

圖4示出了根據(jù)所公開的實施例的一些方面的線圈元件；

圖5示出了根據(jù)所公開的實施例的一些方面的線圈元件和相關(guān)聯(lián)的定子磁極；

圖6示出了根據(jù)所公開的實施例的一些方面的轉(zhuǎn)子、定子和線圈元件的示例性組件；

圖7A-7C示出了根據(jù)所公開的實施例的一些方面的不同的示例性轉(zhuǎn)子；

圖8示出了根據(jù)所公開的實施例的一些方面的集成（或整合）到機器人驅(qū)動器中的轉(zhuǎn)子、定子和線圈元件；

圖9示出了根據(jù)所公開的實施例的一些方面的線圈元件的示例性連接；

圖10示出了根據(jù)所公開的實施例的一些方面的示例性軸向磁通電機；

圖11示出了根據(jù)所公開的實施例的一些方面的軸向磁通電機的局部剖視圖；

圖12A和圖12B示出了根據(jù)所公開的實施例的一些方面的常規(guī)的徑向磁通機和軸向磁通機中的磁通流；

圖13圖示了根據(jù)所公開的實施例的一些方面的示例性軸向磁通電機；

圖14示出了根據(jù)所公開的實施例的一些方面的定子磁極；

圖15圖示了根據(jù)所公開的實施例的一些方面的定子模塊、轉(zhuǎn)子和隔離壁；

圖16示出了根據(jù)所公開的實施例的一些方面的示例性軸向磁通機的另一方面；

圖17A示出了根據(jù)所公開的實施例的一些方面的示例性轉(zhuǎn)子；

圖17B示出了根據(jù)所公開的實施例的一些方面的示例性轉(zhuǎn)子；

圖18A示出了根據(jù)所公開的實施例的一些方面的示例性換向序列（commutationsequence）的一個步驟中的一組示例性定子繞組和轉(zhuǎn)子的頂視圖；以及