[發(fā)明專利]電容容值測(cè)量裝置及測(cè)量方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210351817.8
• 申請(qǐng)日: 2022-04-02
• 公開（公告）號(hào): CN114705921A
• 公開（公告）日: 2022-07-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王乾斌;張璇;孫騰達(dá)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯集成電路（寧波）有限公司
• 主分類號(hào): G01R27/26
• 分類號(hào): G01R27/26;G01R31/00;G01R15/14
• 代理公司: 深圳市嘉勤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44651
• 代理人: 董琳

1.一種電容容值測(cè)量裝置，其特征在于，包括：直流電壓模塊、隔離模塊和測(cè)量模塊；

所述直流電壓模塊，用于向待測(cè)器件施加直流電壓信號(hào)；

所述測(cè)量模塊，用于向待測(cè)器件施加交流測(cè)試信號(hào)；

所述隔離模塊，分別與所述測(cè)量模塊和所述直流電壓模塊連接，用于防止所述直流電壓信號(hào)流向所述測(cè)量模塊，并防止所述交流測(cè)試信號(hào)流向所述直流電壓模塊；

所述測(cè)量模塊，用于根據(jù)所述交流測(cè)試信號(hào)測(cè)量出所述待測(cè)器件在不同所述直流電壓信號(hào)下的電容容值。

2.如權(quán)利要求1所述的電容容值測(cè)量裝置，其特征在于，所述直流電壓模塊包括可調(diào)直流電壓源。

3.如權(quán)利要求2所述的電容容值測(cè)量裝置，其特征在于，所述測(cè)量模塊包括LCR測(cè)試儀。

4.如權(quán)利要求3所述的電容容值測(cè)量裝置，其特征在于，所述隔離模塊包括直流信號(hào)隔離單元；

所述直流信號(hào)隔離單元連接于所述LCR測(cè)試儀的輸入端和輸出端之間，用于防止所述直流電壓信號(hào)流至所述LCR測(cè)試儀。

5.如權(quán)利要求4所述的電容容值測(cè)量裝置，其特征在于，所述隔離模塊還包括交流信號(hào)隔離單元；

所述交流信號(hào)隔離單元與所述可調(diào)直流電壓源連接，用于防止所述LCR測(cè)試儀輸出的交流測(cè)試信號(hào)流至所述可調(diào)直流電壓源。

6.如權(quán)利要求5所述的電容容值測(cè)量裝置，其特征在于，所述待測(cè)器件包括電容式傳感器；

所述直流信號(hào)隔離單元包括至少一第一隔直電容和第二隔直電容；

所述第一隔直電容的一端與所述LCR測(cè)試儀的輸出端連接，另一端與所述電容式傳感器的一端連接，所述第二隔直電容的一端與所述LCR測(cè)試儀的輸入端連接，另一端與所述電容式傳感器的另一端連接。

7.如權(quán)利要求6所述的電容容值測(cè)量裝置，其特征在于，所述交流隔離單元包括至少一第一可調(diào)電阻和第二可調(diào)電阻；

所述第一可調(diào)電阻的一端與所述可調(diào)直流電壓源的輸出端連接、另一端與所述電容式傳感器的一端連接；

所述第二可調(diào)電阻的一端與所述可調(diào)直流電壓源的輸出端連接、另一端與所述電容式傳感器的另一端連接。

8.如權(quán)利要求5所述的電容容值測(cè)量裝置，其特征在于，所述直流信號(hào)隔離單元和所述交流信號(hào)隔離單元設(shè)置在同一印制電路板上。

9.如權(quán)利要求6所述的電容容值測(cè)量裝置，其特征在于，所述第一隔直電容與所述電容式傳感器的容值比值為第一容值比，所述第二隔直電容與所述電容式傳感器的容值比值為第二容值比，所述第一容值比和所述第二容值比均大于1000。

10.如權(quán)利要求6所述的電容容值測(cè)量裝置，其特征在于，所述直流電壓信號(hào)的范圍是0～120V；

所述第一隔直電容和所述第二隔直電容的容值范圍為1nF～100uF。

11.如權(quán)利要求7所述的電容容值測(cè)量裝置，其特征在于，所述第一可調(diào)電阻的阻值與所述交流測(cè)試信號(hào)的頻率負(fù)相關(guān)；

所述第二可調(diào)電阻的阻值與所述交流測(cè)試信號(hào)的頻率負(fù)相關(guān)。

12.如權(quán)利要求11所述的電容容值測(cè)量裝置，其特征在于，當(dāng)所述交流測(cè)試信號(hào)的頻率為1KHz時(shí)，所述第一可調(diào)電阻的阻值大于10MΩ，所述第二可調(diào)電阻的阻值大于10MΩ；

當(dāng)所述交流測(cè)試信號(hào)的頻率為10KHz時(shí)，所述第一可調(diào)電阻的阻值大于1MΩ，所述第二可調(diào)電阻的阻值大于1MΩ。

13.如權(quán)利要求1所述的電容容值測(cè)量裝置，其特征在于，所述測(cè)量模塊還用于根據(jù)所述待測(cè)器件在不同的所述直流電壓信號(hào)下的容值變化量判斷所述待測(cè)器件是否發(fā)生損壞。