[發明專利]一種集成電路芯片穩定檢測裝置

在審

• 申請號: 202210347889.5
• 申請日: 2022-04-01
• 公開（公告）號: CN114720852A
• 公開（公告）日: 2022-07-08
• 發明（設計）人: 吳龍軍;廖廣蘭;鮑秉國
• 申請（專利權）人: 徐州盛科半導體科技有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01B21/30;G01N21/95
• 代理公司: 南京業騰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32321
• 代理人: 徐莉娟

1.一種集成電路芯片穩定檢測裝置，包括芯片檢測設備，其特征在于：所述芯片檢測設備主要包括機架(1)、靜電檢測消除機構、輸送機一(2)、表面缺陷檢測器、機械爪(3)、芯片引腳水平度檢測機構、輸送機二(4)和次品排料盒，所述機架(1)的右側與靜電檢測消除機構相連接，所述靜電檢測消除機構包括對稱設置的兩組導向板(5)和安裝于兩組導向板(5)之間的橫向推桿(6)，兩組所述導向板(5)之間形成有導向口(7)，所述輸送機一(2)安裝于機架(1)內且右端與導向口(7)的末端相連接，所述表面缺陷檢測器垂直安裝于機架(1)內且位于輸送機一(2)的正上方，所述機械爪(3)安裝于機架(1)內且位于芯片引腳水平度檢測機構的正上方，所述芯片引腳水平度檢測機構安裝于機架(1)的左下角且下方與輸送機二(4)相連接，所述輸送機二(4)為兩段式結構且包括與芯片引腳水平度檢測機構相連接的坡板(8)和輸送機本體(9)，所述次品排料盒分設有兩組且分別位于輸送機一(2)、芯片引腳水平度檢測機構的一側，所述機架(1)的頂部還安裝有控制臺(10)，所述控制臺(10)通過線路與芯片檢測設備相連接。

2.根據權利要求1所述的一種集成電路芯片穩定檢測裝置，其特征在于：所述導向板(5)由立板(11)、靜電傳感器(12)、靜電消除器(13)和滑動式接觸墊片(33)組成，所述靜電傳感器(12)分設有兩組且安裝于立板(11)，所述靜電消除器(13)安裝于立板(11)的外側且通過線路與滑動式接觸墊片(33)相連接。

3.根據權利要求2所述的一種集成電路芯片穩定檢測裝置，其特征在于：所述滑動式接觸墊片(33)包括縱向開設于立板(11)上的滑槽(14)和內置于滑槽(14)內的電動推桿一(15)，所述電動推桿一(15)的動力輸出端連接有接觸板(16)，所述接觸板(16)滑動設置于滑槽(14)內。

4.根據權利要求1所述的一種集成電路芯片穩定檢測裝置，其特征在于：所述橫向推桿(6)包括電動推桿二(17)和安裝于電動推桿二(17)動力輸出端的推板(18)，所述推板(18)滑動設置于導向口(7)內。

5.根據權利要求1所述的一種集成電路芯片穩定檢測裝置，其特征在于：所述表面缺陷檢測器從上到下依次設置有支撐架(19)、電機一(20)、轉動軸(21)和3D激光攝像機(22)，所述支撐架(19)安裝于機架(1)的頂部且下端與電機一(20)相連接，所述電機一(20)的動力輸出端與轉動軸(21)相連接，所述轉動軸(21)的下端與3D激光攝像機(22)相連接。

6.根據權利要求1所述的一種集成電路芯片穩定檢測裝置，其特征在于：所述芯片引腳水平度檢測機構由機體外殼(23)、分體式檢測板、電動推桿三(24)、液壓缸(25)和立塊(26)組成，所述機體外殼(23)的一側開設有排料口(27)，所述分體式檢測板位于機體外殼(23)內，所述電動推桿三(24)分設有四組且分別安裝于機體外殼(23)的內壁上，所述液壓缸(25)內置于機體外殼(23)內且動力輸出端安裝有連接桿(28)，所述連接桿(28)活動穿插有固定塊(29)，所述固定塊(29)安裝于機體外殼(23)內壁，所述連接桿(28)的外端與立塊(26)相連接。

7.根據權利要求6所述的一種集成電路芯片穩定檢測裝置，其特征在于：所述分體式檢測板包括對稱設置的檢測板一(30)和檢測板二(31)，所述檢測板一(30)的表面加工成型有放置槽(32)，所述放置槽(32)的底部和側面均勻安裝有若干組接觸墊片(33)，相鄰兩組所述接觸墊片(33)的外側通過線路連接有指示燈(34)，所述檢測板二(31)的結構與檢測板一(30)的結構相同。

8.根據權利要求1所述的一種集成電路芯片穩定檢測裝置，其特征在于：所述次品排料盒包括盒體(35)和安裝于盒體(35)頂部的電機三(36)，所述電機三(36)的動力輸出端安裝有撥板(37)。