[發明專利]一種便捷式大直徑硅片片盒清洗設備

在審

• 申請號: 202210338411.6
• 申請日: 2022-04-01
• 公開（公告）號: CN114749406A
• 公開（公告）日: 2022-07-15
• 發明（設計）人: 楊路肖;張宏杰;劉建偉;武衛;劉姣龍;祝斌;袁祥龍;雍琪浩
• 申請（專利權）人: 中環領先半導體材料有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B3/10;B08B13/00
• 代理公司: 蘇州高專知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32474
• 代理人: 冷泠

1.一種便捷式大直徑硅片片盒清洗設備，包括底座(5)，其特征在于：所述底座(5)的頂部設置有清洗箱(9)，所述底座(5)的內部固定安裝有電機(15)，所述電機(15)的輸出端貫穿清洗箱(9)安裝有中心軸(11)，所述中心軸(11)的外側表面固定安裝有片盒架(12)，所述片盒架(12)上方的清洗箱(9)內部環繞設置有噴淋口(13)，所述噴淋口(13)上方的清洗箱(9)內壁環繞設置有烘干管(10)，所述清洗箱(9)的一側表面設置有加熱管(1)，所述加熱管(1)的下方設置有溫控器(2)。

2.根據權利要求1所述的一種便捷式大直徑硅片片盒清洗設備，其特征在于：所述清洗箱(9)的一側表面貫穿設置有溢流管(3)，所述清洗箱(9)另一側靠近頂部的表面設置有進水管(14)，且進水管(14)的下方設置有排水管(7)。

3.根據權利要求1所述的一種便捷式大直徑硅片片盒清洗設備，其特征在于：所述清洗箱(9)的一側表面設置有封閉門(8)，且底座(5)的一側表面通過合頁活動安裝有密封板(6)。

4.根據權利要求1所述的一種便捷式大直徑硅片片盒清洗設備，其特征在于：所述底座(5)的底部靠近四個邊角處皆設置有支撐腿(18)，且支撐腿(18)的底端皆設置有定位盤(4)。

5.根據權利要求1所述的一種便捷式大直徑硅片片盒清洗設備，其特征在于：所述片盒架(12)的數量為四個，且片盒架(12)環繞著中心軸(11)等距排布。

6.根據權利要求1所述的一種便捷式大直徑硅片片盒清洗設備，其特征在于：所述底座(5)的內部固定安裝有蓄電池(16)，且蓄電池(16)的輸出端通過導線與溫控器(2)和電機(15)的輸入端電性連接。

7.根據權利要求1所述的一種便捷式大直徑硅片片盒清洗設備，其特征在于：所述底座(5)的內部固定安裝有控制按鈕(17)，且控制按鈕(17)的輸出端通過導線與溫控器(2)和電機(15)的輸入端電性連接。