[發明專利]一種用于晶圓保護膜的UV固化輸送輥及其制備方法

在審

• 申請號: 202210335209.8
• 申請日: 2022-03-31
• 公開（公告）號: CN114632681A
• 公開（公告）日: 2022-06-17
• 發明（設計）人: 李政;張強
• 申請（專利權）人: 廣東萊爾新材料科技股份有限公司
• 主分類號: B05D3/06
• 分類號: B05D3/06;B65H20/02;C03B33/06;C03C17/22;C03C17/23;C03C17/00;C03C17/245;C03C17/25
• 代理公司: 佛山市禾才知識產權代理有限公司 44379
• 代理人: 羅凱欣;曹振

1.一種用于晶圓保護膜的UV固化輸送輥，其特征在于，所述UV固化輸送輥安裝于晶圓保護膜的膠粘層涂布生產的收卷輸送線，所述UV固化輸送輥的外側面與所述晶圓保護膜的一面接觸，所述UV固化輸送輥包括圓輥本體、紫外線光源、端蓋板和轉軸；

所述圓輥本體為中空的圓柱形的玻璃體，所述圓輥本體的前后兩端均安裝有所述端蓋板，兩個所述轉軸分別垂直地安裝于兩個所述端蓋板的中心處，所述轉軸的一端與所述端蓋板的外露的板面相抵，所述紫外線光源安裝于所述圓輥本體內，所述紫外線光源發出的紫外線光穿過所述圓輥本體朝外照射于所述晶圓保護膜。

2.根據權利要求1所述的用于晶圓保護膜的UV固化輸送輥，其特征在于，所述圓輥本體的外側面和內側面分別鍍有外增透膜層和內增透膜層，所述外增透膜層和所述內增透膜層均包括至少一個光學鍍膜材料層；

所述光學鍍膜材料層含有氟化鎂、二氧化鈦、二氧化硅、三氧化二鋁、氧化鋅和硫化鋅中的至少一種。

3.根據權利要求2所述的用于晶圓保護膜的UV固化輸送輥，其特征在于，所述紫外線光源為汞燈或LED燈；

所述紫外線光源發出的紫外線光的主波段的波長為200-290nm或320-400nm；

所述收卷輸送線安裝有以上兩個紫外線光波長不同的所述UV固化輸送輥，其中，波長為200-290nm的所述UV固化輸送輥靠近所述收卷輸送線的輸入端安裝，波長為320-400nm的另一所述UV固化輸送輥靠近所述收卷輸送線的輸出端安裝；

所述端蓋板為非透光材料。

4.根據權利要求3所述的用于晶圓保護膜的UV固化輸送輥，其特征在于，所述紫外線光源的紫外線光的主波段的波長為200-290nm時，對應的所述外增透膜層15的厚度和所述內增透膜層16的厚度均為20-55nm；

所述紫外線光源的紫外線光的主波段的波長為320-400nm時，對應的所述外增透膜層的厚度和所述內增透膜層的厚度均為30-70nm。

5.根據權利要求4所述的用于晶圓保護膜的UV固化輸送輥，其特征在于，所述外增透膜層的厚度或所述內增透膜層的厚度為厚度d,所述外增透膜層的折射率或所述內增透膜層的折射率為n，對應的所述紫外線光源的波長為波長λ，所述厚度d的計算公式為d＝λ/4n。

6.一種UV固化輸送輥的制備方法，其特征在于，用于制備權利要求1-4任一所述的用于晶圓保護膜的UV固化輸送輥，包括以下步驟：

S1)取一條玻璃管，用激光將玻璃管切割為長度相同的兩段，切割后的玻璃管的軸向長度與收卷輸送線的寬度相匹配，用水清洗，再用超色波清潔并干燥，制得兩個玻璃圓筒體；

S2)取一玻璃圓筒體，然后放入鍍膜機中鍍增透膜，制得內外側面均覆有增透膜層的第一個圓通本體；

S3)再取另一個玻璃圓筒體，然后放入鍍膜機中鍍增透膜，內外側面均覆有與第一個圓通本體的厚度不同的增透膜層，制得第二個圓通本體；

S4)在第一個圓通本體中放入短波長的紫外線光源，然后用端蓋板密封第一個圓通本體的兩端，并保留短波長的紫外線光源的電極導線外露，再在端蓋板的中心處垂直地安裝轉軸，即制得短波長的UV固化輸送輥；

S5)在第二個圓通本體中放入長波長的紫外線光源，然后用端蓋板密封第二個圓通本體的兩端，并保留長波長的紫外線光源的電極導線外露，再在端蓋板的中心處垂直地安裝轉軸，即制得長波長的UV固化輸送輥。

7.根據權利要求6所述的UV固化輸送輥的制備方法，其特征在于，步驟S1)中，所述玻璃管為石英玻璃管。

8.根據權利要求6所述的UV固化輸送輥的制備方法，其特征在于，步驟S2)和S3)中，鍍膜機采用的鍍膜工藝均為真空蒸鍍法、化學氣相沉積法和溶膠凝膠法中的一種或兩種。

9.根據權利要求6所述的UV固化輸送輥的制備方法，其特征在于，步驟S2)和S3)中，所述增透膜層為單層結構、雙層結構或多層結構。

10.根據權利要求6所述的UV固化輸送輥的制備方法，其特征在于，步驟S2))中，玻璃圓筒體的內外側面覆有的增透膜層的厚度為20-55nm；

步驟S3)中，另一玻璃圓筒體的內外側面覆有的增透膜層的厚度為30-70nm。