[發明專利]一種適用于疊放晶圓的高效上料結構

有效

• 申請號: 202210334837.4
• 申請日: 2022-03-31
• 公開（公告）號: CN114420617B
• 公開（公告）日: 2022-06-07
• 發明（設計）人: 段成龍
• 申請（專利權）人: 三河建華高科有限責任公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 武漢世躍專利代理事務所(普通合伙) 42273
• 代理人: 萬仲達

1.一種適用于疊放晶圓的高效上料結構，包括傳送裝置（10）以及安裝在所述傳送裝置（10）一側的存放組件（20），其特征在于：所述傳送裝置（10）至少包括：

操作臺（110），所述操作臺（110）呈L型結構；

側板（120），所述側板（120）設置在所述操作臺（110）頂端，所述側板（120）側面頂端位置設置有橫向滑道（121）；

第一伺服電機（130），所述第一伺服電機（130）設置在所述側板（120）另一側頂端位置，所述第一伺服電機（130）側面設置有第一皮帶（131）；

轉軸（140），所述轉軸（140）設置有一對，兩所述轉軸（140）分別設置在所述側板（120）頂端兩側，兩所述轉軸（140）分別與所述第一皮帶（131）內端兩側轉動連接，其中一個所述轉軸（140）與所述第一伺服電機（130）側面同軸連接；

滑塊（150），所述滑塊（150）側面頂端位置與所述第一皮帶（131）滑動連接，所述滑塊（150）側面中間位置與所述橫向滑道（121）滑動連接；

升降組件（160），所述升降組件（160）包括豎向滑道（161），所述豎向滑道（161）一側與所述滑塊（150）另一側固定連接，所述豎向滑道（161）側面頂端位置固定連接有第二伺服電機（162），所述豎向滑道（161）頂端設置有連接軸（163），所述第二伺服電機（162）頂端同軸連接有主軸（164），所述主軸（164）與所述連接軸（163）之間連接有第二皮帶，所述連接軸（163）底端同軸連接有傳送桿，所述傳送桿側面連接有升降板（165），所述升降板（165）底端連接有拉盤（166），所述拉盤（166）底端設置有若干氣柱（167）；

L型板（170），所述L型板（170）設置在所述側板（120）一側，所述L型板（170）底端開設有限位孔（171）；

所述存放組件（20）包括支架（210），所述支架（210）各側均設置有墊板（211），所述支架（210）底端同軸連接有第三伺服電機（212），所述第三伺服電機（212）固定在所述操作臺（110）頂端位置，各所述墊板（211）頂端均設置有存放倉（220），其中一個所述存放倉（220）位于所述拉盤（166）正下方，所述存放倉（220）底端設置有底套（221），所述底套（221）固定在所述墊板（211）頂端位置，所述底套（221）頂端與所述存放倉（220）底端之間連接有若干復位彈簧（222），所述存放倉（220）一側設置有限位桿（223），所述限位桿（223）與所述限位孔（171）卡接配合。

2.根據權利要求1所述的適用于疊放晶圓的高效上料結構，其特征在于：所述操作臺（110）一側設置有支板（111），所述支板（111）位于其中一個所述存放倉（220）正下方。

3.根據權利要求1所述的適用于疊放晶圓的高效上料結構，其特征在于：所述L型板（170）底端兩側均開設有側槽（172），所述側槽（172）呈弧形結構。

4.根據權利要求1所述的適用于疊放晶圓的高效上料結構，其特征在于：所述支架（210）底端中間位置設置有套環（214），所述套環（214）位于所述第三伺服電機（212）外側。

5.根據權利要求4所述的適用于疊放晶圓的高效上料結構，其特征在于：所述套環（214）側面開設有若干風槽（2141），所述風槽（2141）呈陣列排布。

6.根據權利要求1所述的適用于疊放晶圓的高效上料結構，其特征在于：所述存放倉（220）內側頂端套接有漏斗環（225），所述漏斗環（225）頂端截面尺寸大于所述漏斗環（225）底端截面尺寸，所述漏斗環（225）底端截面尺寸與晶圓截面尺寸保持吻合。

7.根據權利要求6所述的適用于疊放晶圓的高效上料結構，其特征在于：所述漏斗環（225）底端設置有松緊帶（2251）。