[發(fā)明專利]一種大帶寬、低損耗的集成硅基Y波導(dǎo)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210331480.4
• 申請(qǐng)日: 2022-03-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114706165A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-07-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周彥汝;尹程玉;劉文耀;邢恩博;唐軍;劉俊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中北大學(xué)
• 主分類號(hào): G02B6/125
• 分類號(hào): G02B6/125;G02B6/124;G02B6/122
• 代理公司: 太原新航路知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 14112
• 代理人: 王勇

1.一種大帶寬、低損耗的集成硅基Y波導(dǎo)，其特征在于：包括呈橫向設(shè)置的主直波導(dǎo)段（1）；主直波導(dǎo)段（1）的右端延伸設(shè)置有左窄右寬的錐形波導(dǎo)段（2）；錐形波導(dǎo)段（2）的右端延伸設(shè)置有兩個(gè)過(guò)渡直波導(dǎo)段（3），且兩個(gè)過(guò)渡直波導(dǎo)段（3）呈前后對(duì)稱分布；兩個(gè)過(guò)渡直波導(dǎo)段（3）之間形成有耦合狹縫；兩個(gè)過(guò)渡直波導(dǎo)段（3）的右端各延伸設(shè)置有一個(gè)圓弧波導(dǎo)段（4），且兩個(gè)圓弧波導(dǎo)段（4）呈前后對(duì)稱分布；耦合狹縫內(nèi)填充有亞波長(zhǎng)光柵，且亞波長(zhǎng)光柵的各個(gè)柵條（5）均呈縱向設(shè)置；主直波導(dǎo)段（1）的厚度、錐形波導(dǎo)段（2）的厚度、兩個(gè)過(guò)渡直波導(dǎo)段（3）的厚度、兩個(gè)圓弧波導(dǎo)段（4）的厚度、亞波長(zhǎng)光柵的厚度均一致；主直波導(dǎo)段（1）的寬度、錐形波導(dǎo)段（2）的左端寬度、兩個(gè)過(guò)渡直波導(dǎo)段（3）的寬度、兩個(gè)圓弧波導(dǎo)段（4）的寬度均一致；錐形波導(dǎo)段（2）的右端寬度等于兩個(gè)過(guò)渡直波導(dǎo)段（3）的寬度與耦合狹縫的寬度之和。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大帶寬、低損耗的集成硅基Y波導(dǎo)，其特征在于：主直波導(dǎo)段（1）的厚度、錐形波導(dǎo)段（2）的厚度、兩個(gè)過(guò)渡直波導(dǎo)段（3）的厚度、兩個(gè)圓弧波導(dǎo)段（4）的厚度、亞波長(zhǎng)光柵的厚度均為190nm~250nm；錐形波導(dǎo)段（2）的長(zhǎng)度大于等于2μm；兩個(gè)過(guò)渡直波導(dǎo)段（3）的長(zhǎng)度均為0.95μm~1.05μm；兩個(gè)圓弧波導(dǎo)段（4）的內(nèi)徑均大于5μm；亞波長(zhǎng)光柵的周期為100nm~300nm；亞波長(zhǎng)光柵的柵條（5）個(gè)數(shù)為4~6。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大帶寬、低損耗的集成硅基Y波導(dǎo)，其特征在于：該集成硅基Y波導(dǎo)是基于SOI平臺(tái)加工而成的。