[發(fā)明專利]還原爐鐘罩內(nèi)表面銀層的制備方法、還原爐鐘罩和還原爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210329320.6
• 申請(qǐng)日: 2022-03-30
• 公開（公告）號(hào): CN114657549B
• 公開（公告）日: 2023-05-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝迎春;黃仁忠;王高民;俞澤新;鄧春明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東省科學(xué)院新材料研究所
• 主分類號(hào): C23C24/04
• 分類號(hào): C23C24/04;C23F15/00;C30B28/04;C30B29/06;C01B33/03;C01B33/035
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 何蘭蘭

1.一種還原爐鐘罩內(nèi)表面銀層的制備方法，其特征在于，包括：采用電磁感應(yīng)加熱系統(tǒng)對(duì)鐘罩內(nèi)壁進(jìn)行預(yù)熱，之后利用拉法爾噴嘴向加熱軟化之后的鐘罩內(nèi)表面高速噴射低溫銀粉顆粒的同時(shí)，對(duì)鐘罩內(nèi)形成的銀層表面進(jìn)行照射以使生成的氧化銀氣化；

采用所述電磁感應(yīng)加熱系統(tǒng)將鐘罩內(nèi)壁預(yù)熱至1200-1300℃，再利用拉法爾噴嘴向鐘罩內(nèi)表面噴射銀粉顆粒，利用激光清洗頭在已形成銀層表面進(jìn)行照射，以使氧化銀氣化；

控制所述銀粉顆粒的碰撞速度為700-800m/s，且粉末不經(jīng)預(yù)熱，并在拉法爾噴嘴中完成降溫過(guò)程，以低于室溫條件下噴出；所述銀粉顆粒的粒徑為5-25μm；

所述激光清洗頭是在開始新一輪沉積前，對(duì)舊銀層待搭接區(qū)域進(jìn)行照射，進(jìn)而去除新舊銀層搭接處的氧化銀；所述激光清洗頭為高能激光清洗頭，所述高能激光清洗頭的激光功率為2?KW-6?KW，頻率為400?KHz-600?KHz。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，控制所述電磁感應(yīng)加熱系統(tǒng)的工作頻率大于200Hz，功率為90-110KW。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備方法，其特征在于，控制所述電磁感應(yīng)加熱系統(tǒng)的工作頻率為250-300Hz。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于所述銀粉顆粒的純度大于99.9%，氧含量小于500ppm。

5.根據(jù)權(quán)利要求2-4中任一項(xiàng)所述的制備方法，其特征在于，將所述鐘罩安裝于鐘罩轉(zhuǎn)臺(tái)，使所述鐘罩在噴涂過(guò)程中進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)；

將所述電磁感應(yīng)加熱系統(tǒng)的電磁感應(yīng)加熱盤、所述拉法爾噴嘴和所述激光清洗頭連接于機(jī)械手上，以使三者聯(lián)動(dòng)并具有相同的移動(dòng)軌跡和速度；

控制所述拉法爾噴嘴相對(duì)于所述鐘罩內(nèi)表面以450-550mm/s的速度勻速移動(dòng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述電磁感應(yīng)加熱盤的加熱區(qū)域?yàn)?8-23mm的圓形，所述拉法爾噴嘴的出口直徑為11-13mm，所述拉法爾噴嘴與所述電磁感應(yīng)加熱盤的間距為9-11mm。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備方法，其特征在于，所述電磁感應(yīng)加熱盤是采用中空銅制金屬管圈，并在圓盤狀的中心設(shè)置永磁體。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，對(duì)所述鐘罩內(nèi)表面進(jìn)行預(yù)熱之前依次進(jìn)行一次清洗、打磨、二次清洗和干燥。