[發明專利]一種用于鍵合工序的自潔式基板壓緊裝置

在審

• 申請號: 202210321722.1
• 申請日: 2022-03-30
• 公開（公告）號: CN114695206A
• 公開（公告）日: 2022-07-01
• 發明（設計）人: 王昕;徐震鳴;丁雪峰;任曉
• 申請（專利權）人: 無錫紅光微電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B08B1/00;B08B1/02
• 代理公司: 江陰市輕舟專利代理事務所(普通合伙) 32380
• 代理人: 江霞

1.一種用于鍵合工序的自潔式基板壓緊裝置，其特征在于：包括水平設置的壓板(1)，所述壓板(1)上設置有方孔(2)和四個第一條形槽(3)，四個第一條形槽(3)分別設置在方孔(2)的前側、后側、左側和右側，所述第一條形槽(3)的兩端與方孔(2)中心之間的距離相等，所述壓板(1)的頂部和底部通過第一條形槽(3)連通，各第一條形槽(3)內均設置有壓緊機構；

所述壓緊機構包括壓條(4)，所述壓條(4)與第一條形槽(3)滑動連接，所述壓條(4)上設置有第二條形槽(5)，所述第二條形槽(5)內設置有清潔組件，所述壓條(4)的上方設置有升降組件，所述升降組件驅動壓條(4)升降；

所述清潔組件包括轉動軸(6)，所述轉動軸(6)與壓條(4)平行，所述轉動軸(6)的中端安裝有滾筒(7)，所述轉動軸(6)通過兩個第一軸承(8)與第二條形槽(5)的內壁連接，所述滾筒(7)位于兩個第一軸承(8)之間，所述滾筒(7)的底部位于壓條(4)的下方，所述第二條形槽(5)內設置有兩個刮桿(9)，兩個刮桿(9)中，其中一個該干位于滾筒(7)的靠近方孔(2)的一側，另一個刮桿(9)位于滾筒(7)的另一側，所述刮桿(9)與轉動軸(6)平行，所述刮桿(9)固定設置在第二條形槽(5)的內壁上，所述刮桿(9)與滾筒(7)貼合，所述轉動軸(6)上設置有兩個轉動單元，所述轉動軸(6)位于兩個轉動單元之間；

所述轉動單元包括連接塊(10)和升降桿(11)，所述連接塊(10)固定設置在第二條形槽(5)的內壁上，所述升降桿(11)豎向活動穿過連接塊(10)，所述升降桿(11)的頂端通過第一彈簧(12)與連接塊(10)連接，所述升降桿(11)的底端位于滾筒(7)的下方，所述升降桿(11)的頂端設置有轉動部件，所述轉動部件與轉動軸(6)連接。

2.根據權利要求1所述的一種用于鍵合工序的自潔式基板壓緊裝置，其特征在于：所述轉動部件包括設置在連接塊(10)和轉動軸(6)之間的滾珠絲杠副(13)，所述滾珠絲杠副(13)的螺桿與轉動軸(6)同軸設置，所述滾珠絲杠副(13)的螺桿固定設置在轉動軸(6)上，所述滾珠絲杠副(13)的螺母通過第一連桿(14)與升降桿(11)的頂端鉸接，所述第一連桿(14)傾斜設置。

3.根據權利要求1所述的一種用于鍵合工序的自潔式基板壓緊裝置，其特征在于：所述壓條(4)的底部固定設置有兩個水平設置的收集板(16)，所述收集板(16)與刮桿(9)一一對應，所述收集板(16)的頂部設置有條形的收集槽，所述收集槽與刮桿(9)平行，所述滾筒(7)的底部位于收集槽的下方。

4.根據權利要求3所述的一種用于鍵合工序的自潔式基板壓緊裝置，其特征在于：所述刮桿(9)向下的投影位于收集槽內。

5.根據權利要求1所述的一種用于鍵合工序的自潔式基板壓緊裝置，其特征在于：所述升降組件包括驅動軸(17)，所述驅動軸(17)與轉動軸(6)平行，所述驅動軸(17)的中端安裝有轉動盤(18)，所述驅動軸(17)通過兩個第二軸承(19)與第一條形槽(3)的內壁連接，所述驅動軸(17)的兩端均設置有升降單元，所述升降單元與壓條(4)連接，所述轉動盤(18)上設置有鎖緊單元。

6.根據權利要求5所述的一種用于鍵合工序的自潔式基板壓緊裝置，其特征在于：所述升降單元包括絲桿(20)，所述絲桿(20)與驅動軸(17)同軸設置，所述絲桿(20)固定設置在驅動軸(17)上，所述絲桿(20)上螺紋連接有滑塊(21)，所述滑塊(21)通過第二連桿(22)與壓桿鉸接，所述第二連桿(22)傾斜設置。