[發(fā)明專利]一種靜電卡盤多區(qū)溫控系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210313806.0
• 申請日: 2022-03-28
• 公開（公告）號: CN114678301A
• 公開（公告）日: 2022-06-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 莊仕偉;劉嬋娟
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇師范大學(xué);蘇師大半導(dǎo)體材料與設(shè)備研究院（邳州）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 32200
• 代理人: 徐爾東

1.一種靜電卡盤多區(qū)溫控系統(tǒng)，其特征在于：包括設(shè)置有內(nèi)圓區(qū)(1)、中圓區(qū)、中外圓區(qū)、外圓區(qū)(10)四個同心圓區(qū)的靜電卡盤，所述中圓區(qū)包括沿內(nèi)圓區(qū)(1)外周均布的第一中圓區(qū)(2)、第二中圓區(qū)(3)、第三中圓(4)、第四中圓區(qū)(5)，所述中外圓區(qū)包括沿中圓區(qū)外周均布的第一中外圓區(qū)(6)、第二中外圓區(qū)(7)、第三中外圓區(qū)(8)、第四中外圓區(qū)(9)，所述內(nèi)圓區(qū)(1)、第一中圓區(qū)(2)、第二中圓區(qū)(3)、第三中圓(4)、第四中圓區(qū)(5)、第一中外圓區(qū)(6)、第二中外圓區(qū)(7)、第三中外圓區(qū)(8)、第四中外圓區(qū)(9)、外圓區(qū)(10)內(nèi)設(shè)置有獨(dú)立的PI電熱膜、溫度傳感器，所述PI電熱膜、溫度傳感器與溫控器電連接。

2.如權(quán)利要求1所述的一種靜電卡盤多區(qū)溫控系統(tǒng)，其特征在于：所述PI電熱膜通過固態(tài)繼電器與溫控器電連接。

3.如權(quán)利要求1所述的一種靜電卡盤多區(qū)溫控系統(tǒng)，其特征在于：所述靜電卡盤包括依次設(shè)置的介電層、加熱層、基座，所述PI電熱膜按照內(nèi)圓區(qū)(1)、第一中圓區(qū)(2)、第二中圓區(qū)(3)、第三中圓(4)、第四中圓區(qū)(5)、第一中外圓區(qū)(6)、第二中外圓區(qū)(7)、第三中外圓區(qū)(8)、第四中外圓區(qū)(9)、外圓區(qū)(10)的布置方式黏貼固定在加熱層靠近基座的一側(cè)，所述溫度傳感器內(nèi)嵌于基座內(nèi)與PI電熱膜對應(yīng)，每個PI電熱膜對應(yīng)一個溫度傳感器。

4.如權(quán)利要求3所述的一種靜電卡盤多區(qū)溫控系統(tǒng)，其特征在于：所述介電層、加熱層、基座均呈圓形結(jié)構(gòu)設(shè)置。

5.如權(quán)利要求3所述的一種靜電卡盤多區(qū)溫控系統(tǒng)，其特征在于：所述安裝基板層內(nèi)設(shè)置有與所述內(nèi)圓區(qū)(1)、中圓區(qū)、中外圓區(qū)、外圓區(qū)(10)對應(yīng)的且避開溫度傳感器的冷卻管道，所述冷卻管道與冷卻機(jī)連通。