[發(fā)明專利]一種晶圓檢測高精度氣浮運動平臺及方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202210309413.2
• 申請日: 2022-03-28
• 公開（公告）號: CN114878864A
• 公開（公告）日: 2022-08-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 許云飛
• 申請（專利權(quán)）人: 斯棨信息科技（上海）有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R31/28
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓檢測高精度氣浮運動平臺，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)上安裝有兩個對稱設(shè)置的Y向?qū)к?2)，兩個Y向?qū)к?2)上均滑動有Y向滑塊(3)，兩個Y向滑塊(3)固接在X向?qū)к?4)的兩端，X向?qū)к?4)上滑動有X向滑塊(5)，X向滑塊(5)的表面安裝有水平補償機構(gòu)(6)，水平補償機構(gòu)(6)上固接有固定柱(7)，固定柱(7)的頂部活動連接有浮動臺(8)，浮動臺(8)的頂部固接有載臺(9)，固定柱(7)內(nèi)嵌設(shè)有高度補償機構(gòu)(10)，固定柱(7)的頂部與浮動臺(8)的內(nèi)側(cè)之間形成有氣浮腔(18)，固定柱(7)的外壁上通過安裝座(11)固接有浮動式傳動機構(gòu)(12)，浮動式傳動機構(gòu)(12)與固接在浮動臺(8)外壁上的齒圈(13)相嚙合，載臺(9)的底部固設(shè)有用于固定晶圓的固定機構(gòu)(14)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓檢測高精度氣浮運動平臺，其特征在于，所述水平補償機構(gòu)(6)包括固接在X向滑塊(5)上的固定架(61)，固定架(61)的一側(cè)安裝有微動電機一(62)，微動電機一(62)的輸出軸與螺桿(63)的一端固接，螺桿(63)的另一端螺旋傳動連接在螺筒(64)內(nèi)，螺筒(64)固接在移動架(65)的一側(cè)壁上，移動架(65)滑動在固定架(61)內(nèi)，移動架(65)的內(nèi)壁上安裝有微動電機二(66)，微動電機二(66)的輸出軸與絲杠(67)的一端固接，絲杠(67)的另一端轉(zhuǎn)動連接在移動架(65)內(nèi)，絲杠(67)的外壁螺旋傳動連接在活動臺(68)內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓檢測高精度氣浮運動平臺，其特征在于，所述X向滑塊(5)的側(cè)壁上安裝有Y向距離傳感器(19)，底座(1)上正對Y向距離傳感器(19)的一側(cè)處固設(shè)有擋板(20)，固定架(61)的側(cè)壁上安裝有X向距離傳感器(21)，Y向滑塊(3)上正對X向距離傳感器(21)的一側(cè)處固設(shè)有擋塊(22)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓檢測高精度氣浮運動平臺，其特征在于，所述浮動臺(8)的內(nèi)壁上固接有固定環(huán)(15)，固定環(huán)(15)的內(nèi)壁上固設(shè)有多個滾珠(16)，固定環(huán)(15)通過滾珠(16)滾動連接在固定柱(7)外壁上開設(shè)的浮動槽(17)內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓檢測高精度氣浮運動平臺，其特征在于，所述浮動式傳動機構(gòu)(12)包括安裝在安裝座(11)上的旋轉(zhuǎn)電機(121)，旋轉(zhuǎn)電機(121)的輸出軸與固定軸(122)的底端固接，固定軸(122)內(nèi)活動連接有浮動軸(123)，浮動軸(123)的外壁上固接有多個限位塊(124)，多個限位塊(124)分別滑動在固定軸(122)外壁上開設(shè)的多個限位孔內(nèi)，浮動軸(123)通過軸承塊(125)轉(zhuǎn)動連接在浮動臺(8)的外壁上，浮動軸(123)的頂端固接有齒輪(126)，齒輪(126)與齒圈(13)相嚙合。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓檢測高精度氣浮運動平臺，其特征在于，所述固定機構(gòu)(14)包括轉(zhuǎn)動安裝在載臺(9)底部的電動推桿(141)，電動推桿(141)的伸縮軸與轉(zhuǎn)動環(huán)(143)的底部轉(zhuǎn)動連接，轉(zhuǎn)動環(huán)(143)轉(zhuǎn)動連接在連接環(huán)(142)的底部，連接環(huán)(142)固接在載臺(9)的底部，轉(zhuǎn)動環(huán)(143)的外壁上設(shè)有凸起并通過多個連桿(144)與多個夾塊(145)的底部相鉸接，夾塊(145)滑動在載臺(9)上開設(shè)的移動孔內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓檢測高精度氣浮運動平臺，其特征在于，所述高度補償機構(gòu)(10)包括嵌設(shè)于固定柱(7)內(nèi)部的氣泵(101)，氣泵(101)的出氣端與內(nèi)氣管(102)的一端連接，內(nèi)氣管(102)的另一端延伸至氣浮腔(18)內(nèi)，氣泵(101)的進氣端與外氣管(103)的一端連接，外氣管(103)的另一端延伸至固定柱(7)外部。