[發明專利]一種半導體芯片測試探針用鈀合金套桶及其加工設備

有效

• 申請號: 202210307974.9
• 申請日: 2022-03-26
• 公開（公告）號: CN114643519B
• 公開（公告）日: 2022-12-09
• 發明（設計）人: 曹鐳
• 申請（專利權）人: 浙江金連接科技股份有限公司
• 主分類號: B24B27/00
• 分類號: B24B27/00;B24B37/02;B24B37/34;G01R1/067
• 代理公司: 嘉興啟帆專利代理事務所(普通合伙) 33253
• 代理人: 翁斌

1.一種半導體芯片測試探針用鈀合金套桶加工設備，其特征在于，包括：工作臺（1）、外研磨機構和內研磨機構；

所述工作臺（1）的上端固定安裝有所述內研磨機構；所述內研磨機構包括固定座一（2）、固定座二（3）、活動桿（4）和金屬絲（5）；所述固定座一（2）與所述固定座二（3）與所述工作臺（1）固定安裝；所述固定座一（2）滑動連接有所述活動桿（4）；所述活動桿（4）設置有所述金屬絲（5）；所述內研磨機構通過設置四個拉桿（6）張緊所述金屬絲（5）；所述外研磨機構布置在所述固定座一（2）與所述固定座二（3）之間；所述外研磨機構設置有四個研磨輪（7）；所述研磨輪（7）的兩端轉動連接有滑塊（8）；所述滑塊（8）與所述外研磨機構滑動連接；

所述內研磨機構包括轉盤（10）、彈簧和齒條（14）；所述工作臺（1）在所述固定座一（2）的兩側均固定安裝有電機一（9）；所述電機一（9）固定安裝有所述轉盤（10）；兩個所述轉盤（10）分別與所述金屬絲（5）的一端連接；所述活動桿（4）靠近所述固定座二（3）的一側固定安裝有中間軸；所述中間軸轉動連接有擺桿一（11）和擺桿二；所述擺桿一（11）與所述擺桿二均設置有導向孔一；所述活動桿（4）靠近所述固定座二（3）的一側設置有導向孔二；所述金屬絲（5）穿過所述導向孔一和所述導向孔二；所述擺桿一（11）和所述擺桿二遠離所述活動桿（4）的一側設置有磁鐵一（16）；所述固定座二（3）固定安裝有連接管（13）；所述連接管（13）設置有水平的活動槽；所述連接管（13）的內部設置有活動塊；所述活動塊通過彈簧與所述固定座二（3）連接；所述活動塊對稱固定安裝有所述齒條（14）；所述齒條（14）分別與一個所述活動槽滑動連接；所述齒條（14）均固定安裝有磁鐵二（15）；所述磁鐵二（15）與所述磁鐵一（16）相互吸引；所述工作臺（1）在所述連接管（13）的兩側對稱固定安裝有傳動座一（17）；所述傳動座一（17）轉動連接有傳動軸一（18）；所述傳動軸一（18）固定安裝有直齒輪一（19）；所述直齒輪一（19）與所述齒條（14）嚙合；所述工作臺（1）在靠近所述傳動座一（17）的一端固定安裝有傳動座二（20）；所述傳動座二（20）轉動連接有傳動軸二（21）；所述傳動軸二（21）與相鄰的所述傳動軸一（18）通過傘齒輪傳動；所述傳動軸二（21）遠離所述連接管（13）的一側轉動連接有限位板一（22）；所述限位板一（22）靠近所述連接管（13）的一側固定安裝有所述拉桿（6）；所述限位板一（22）靠近所述傳動軸二（21）的內部固定安裝有直齒輪二（23）；所述工作臺（1）靠近一個所述傳動軸二（21）的一側固定安裝有電機二（24），所述工作臺（1）靠近另一個所述傳動軸二（21）的一側固定安裝有傳動座三（25）；所述傳動座三（25）與所述電機二（24）均固定安裝有傳動軸三（26）；所述傳動軸三（26）均固定安裝有直齒輪三（27）；所述直齒輪三（27）與所述直齒輪二（23）適配；所述固定座二（3）轉動連接有傳動軸四（28）；所述傳動軸四（28）與兩個所述傳動軸三（26）均通過傘齒輪傳動；所述工作臺（1）在所述活動桿（4）的兩側固定安裝有傳動座五（29）；所述傳動座五（29）轉動連接有傳動軸五（30）；所述傳動軸五（30）固定安裝有限位板二（31）；所述限位板二（31）在所述活動桿（4）和所述金屬絲（5）之間固定安裝有所述拉桿（6）；所述傳動軸三（26）穿過所述傳動座三（25）的一側與一個所述傳動軸五（30）通過同步帶連接；所述工作臺（1）在所述傳動軸五（30）之間轉動連接有傳動軸六（32）；所述傳動軸六（32）與兩個所述傳動軸五（30）通過傘齒輪傳動；所述活動桿（4）通過驅動機構傳動。