[發(fā)明專利]氣體粉塵捕集裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210306429.8
• 申請日: 2022-03-25
• 公開（公告）號: CN116202822A
• 公開（公告）日: 2023-06-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫仁君
• 申請（專利權(quán)）人: 上海悠合悠合科技有限公司
• 主分類號: G01N1/22
• 分類號: G01N1/22
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙) 31219
• 代理人: 賀妮妮

本發(fā)明提供一種氣體粉塵捕集裝置，包括過濾封閉容器，其由下向上依次包括：粉塵收集區(qū)、氣體入口分配區(qū)、粉塵捕集區(qū)及氣體排放區(qū)；粉塵收集區(qū)與氣體入口分配區(qū)之間設(shè)置有帶傾斜度的遮擋板；粉塵收集區(qū)所在過濾封閉容器器壁設(shè)置有粉塵排放口；氣體入口分配區(qū)所在過濾封閉容器器壁設(shè)置有氣體入口；粉塵捕集區(qū)內(nèi)設(shè)置有粉塵捕集罐，粉塵捕集罐中設(shè)置有粉塵捕集過濾器；粉塵過濾捕集器包括至少一層粉塵過濾捕集層，粉塵過濾捕集層由若干傾斜過濾板依次排布形成；氣體排放區(qū)所在過濾封閉容器器壁設(shè)置有氣體排放出口。該裝置可以延長終端精細(xì)過濾器的使用壽命，維護(hù)保養(yǎng)方便，同時減少廢棄濾芯作為耗材對環(huán)境的污染。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備制造技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種氣體粉塵捕集裝置。

背景技術(shù)

在一些半導(dǎo)體設(shè)備尤其是大規(guī)模生產(chǎn)用MOCVD(英文為Metal?Organic?ChemicalVapor?Deposition，金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng))設(shè)備中，反應(yīng)腔工作時排放的氣體都含帶有反應(yīng)氣體的副產(chǎn)物，表現(xiàn)為高溫粉塵顆粒物，而這些粉塵顆粒物會嚴(yán)重?fù)p傷真空抽氣設(shè)備，故氣體進(jìn)入真空抽氣設(shè)備前必須對氣體中含有的粉塵顆粒物進(jìn)行處理。

目前常用的處理方法是采用過濾器的方式，多數(shù)是利用濾芯對氣體粉塵完全隔離后再進(jìn)入真空抽氣設(shè)備。采用過濾器方式無論是使用金屬材質(zhì)濾芯還是其他材質(zhì)的精細(xì)濾芯，在使用中都必須考慮過濾面積，以防因粉塵物的堵塞而影響氣體的流導(dǎo)通暢，若過濾面積小，則需要經(jīng)常停機(jī)拆除更換濾芯；若過濾面積越大，相應(yīng)正常生產(chǎn)的周期時間越長，有利于生產(chǎn)的持續(xù)進(jìn)行，但過大也會增加真空抽氣設(shè)備的工作負(fù)擔(dān)。同時，維護(hù)時粉塵的排放不方便，濾芯必須全部拆除，除金屬濾芯外，更換下來的精細(xì)濾芯基本不能二次使用，對環(huán)境帶來污染影響且增加成本。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本發(fā)明的目的在于提供一種氣體粉塵捕集裝置，用于優(yōu)化改善現(xiàn)有技術(shù)中半導(dǎo)體設(shè)備中采用過濾器方式過濾尾氣中的高溫粉塵顆粒物時，濾芯容易堵塞影響氣體的流導(dǎo)，導(dǎo)致過濾器的使用周期較短，以及更換下來的精細(xì)濾芯不能二次使用，對環(huán)境帶來污染且增加設(shè)備成本等的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本發(fā)明提供一種氣體粉塵捕集裝置，包括過濾封閉容器，所述過濾封閉容器由下向上依次包括：粉塵收集區(qū)、氣體入口分配區(qū)、粉塵捕集區(qū)及氣體排放區(qū)；

所述粉塵收集區(qū)與所述氣體入口分配區(qū)之間設(shè)置有帶傾斜度的遮擋板，以將所述粉塵收集區(qū)與所述氣體入口分配區(qū)隔離，并將上部掉落的粉塵引導(dǎo)至所述粉塵收集區(qū)；

所述粉塵收集區(qū)所在的所述過濾封閉容器的器壁設(shè)置有粉塵排放口；

所述氣體入口分配區(qū)所在的所述過濾封閉容器的器壁設(shè)置有氣體入口；

所述粉塵捕集區(qū)內(nèi)設(shè)置有粉塵捕集罐，所述粉塵捕集罐中設(shè)置有粉塵過濾捕集器，所述粉塵過濾捕集器產(chǎn)生的氣體流導(dǎo)大于從所述氣體入口管路的氣體流導(dǎo)；

所述粉塵過濾捕集器包括至少一層粉塵過濾捕集層，且所述粉塵過濾捕集層由若干傾斜過濾板依次排布形成，相鄰兩所述過濾板之間間隙設(shè)置；

所述氣體排放區(qū)所在的所述過濾封閉容器的器壁設(shè)置有氣體排放出口。

可選地，所述過濾板為片狀過濾板或環(huán)狀過濾板；當(dāng)所述過濾板為片狀過濾板時，所述粉塵過濾捕集層由若干所述過濾板依次排列形成；當(dāng)所述過濾板為環(huán)狀過濾板時，所述粉塵過濾捕集層由若干所述過濾板依次嵌套形成。

可選地，所述氣體入口分配區(qū)設(shè)置有環(huán)形的氣體分配板，以對從所述氣體入口進(jìn)入的氣體進(jìn)行二次分配，且進(jìn)行二次分配后的氣體流導(dǎo)大于從所述氣體入口進(jìn)入的氣體流導(dǎo)。

可選地，所述氣體排放區(qū)設(shè)置有阻隔板，且所述阻隔板位于所述氣體排放出口的下方；所述粉塵排放口設(shè)置于所述粉塵收集區(qū)所在的所述過濾封閉容器器壁的最底部。