[發(fā)明專利]轉(zhuǎn)移裝置及顯示面板的制備方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210306232.4
• 申請日: 2022-03-25
• 公開（公告）號: CN114709162A
• 公開（公告）日: 2022-07-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 謝來
• 申請（專利權(quán)）人: TCL華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L33/00
• 代理公司: 深圳紫藤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570
• 代理人: 孔翰

本申請實施例提供一種轉(zhuǎn)移裝置及顯示面板的制作方法；該轉(zhuǎn)移裝置包括轉(zhuǎn)移基板以及多個磁性構(gòu)件，每一個磁性構(gòu)件用于抓取對應(yīng)的目標(biāo)發(fā)光器件，其中，多個磁性構(gòu)件與轉(zhuǎn)移基板磁性連接，目標(biāo)發(fā)光器件通過磁性構(gòu)件和轉(zhuǎn)移基板轉(zhuǎn)移至目標(biāo)基板上；上述轉(zhuǎn)移裝置通過將多個磁性構(gòu)件與多個目標(biāo)發(fā)光器件一一對應(yīng)，且每一個磁性構(gòu)件用于抓取對應(yīng)的目標(biāo)發(fā)光器件，同時使轉(zhuǎn)移基板與多個磁性構(gòu)件磁性連接，從而使多個目標(biāo)發(fā)光器件通過磁性構(gòu)件與轉(zhuǎn)移基板同步轉(zhuǎn)移至目標(biāo)基板的指定位置上，從而無需使用轉(zhuǎn)印膠頭就能實現(xiàn)可靠、精確、快速、廉價地對目標(biāo)發(fā)光器件的巨量轉(zhuǎn)移，更進(jìn)一步地解決了原有轉(zhuǎn)移裝置中轉(zhuǎn)印膠頭與轉(zhuǎn)印膠頭之間存在的膠殘留問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及顯示領(lǐng)域，具體涉及一種轉(zhuǎn)移裝置及顯示面板的制備方法。

背景技術(shù)

發(fā)光器件(Micro-light emitting diodes，MicroLED)是一種新型自發(fā)光顯示技術(shù)，具有亮度高，發(fā)光效率好，功耗低，壽命長且輕薄等優(yōu)點的顯示器件，有望成為下一代主流顯示技術(shù)。MicroLED技術(shù)主要是將微縮后的幾微米到幾十微米的LED在基板上進(jìn)行陣列排布，而形成具有高密度微小尺寸的LED陣列。

MicroLED的發(fā)展受制于芯片(巨量)轉(zhuǎn)移等關(guān)鍵技術(shù)，通過巨量轉(zhuǎn)移及巨量轉(zhuǎn)移后的芯片與基板的鍵合是MicroLED顯示技術(shù)實現(xiàn)良率提升的瓶頸所在。現(xiàn)有的MicroLED的轉(zhuǎn)移裝置使用黏附性膠吸頭對MicroLED器件進(jìn)行吸取轉(zhuǎn)移，其利用膠的黏附性。然而，轉(zhuǎn)移裝置在轉(zhuǎn)移后，相鄰的轉(zhuǎn)移頭與轉(zhuǎn)移頭之間的會產(chǎn)生膠殘留問題。

因此，亟需一種轉(zhuǎn)移裝置及顯示面板的制備方法以解決上述技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容

本申請實施例提供一種轉(zhuǎn)移裝置及顯示面板的制備方法，可以解決當(dāng)前的發(fā)光器件在巨量轉(zhuǎn)移過程中存在膠殘留的技術(shù)問題。

本申請實施例提供一種轉(zhuǎn)移裝置，用于轉(zhuǎn)移目標(biāo)發(fā)光器件，所述轉(zhuǎn)移裝置包括轉(zhuǎn)移基板以及設(shè)置于所述轉(zhuǎn)移基板的一側(cè)的多個磁性構(gòu)件，每一個所述磁性構(gòu)件遠(yuǎn)離所述轉(zhuǎn)移基板的一端用于抓取對應(yīng)的所述目標(biāo)發(fā)光器件；

其中，多個所述磁性構(gòu)件與所述轉(zhuǎn)移基板磁性連接，所述目標(biāo)發(fā)光器件通過所述磁性構(gòu)件和所述轉(zhuǎn)移基板轉(zhuǎn)移至目標(biāo)基板上。

可選的，在本申請的一些實施例中，所述磁性構(gòu)件為摻雜有磁性材料的有機光阻。

可選的，在本申請的一些實施例中，所述轉(zhuǎn)移基板包括金屬襯底，所述金屬襯底的材料為金屬磁性材料。

可選的，在本申請的一些實施例中，所述轉(zhuǎn)移基板包括主體結(jié)構(gòu)以及與所述主體結(jié)構(gòu)固定連接的多個具有磁性的探針，多個所述探針固定于所述主體結(jié)構(gòu)的一側(cè)；

其中，所述主體結(jié)構(gòu)能夠產(chǎn)生磁場，以使每一個所述探針能夠磁性吸附對應(yīng)的所述磁性構(gòu)件。

可選的，在本申請的一些實施例中，所述主體結(jié)構(gòu)為磁性材料或者所述主體結(jié)構(gòu)通電后能夠產(chǎn)生磁場。

相應(yīng)地，本申請實施例還提供一種顯示面板的制備方法，所述方法包括：

提供一承載基板以及一轉(zhuǎn)移裝置，所述承載基板上陣列設(shè)置有多個目標(biāo)發(fā)光器件，所述轉(zhuǎn)移裝置為如上任一項所述的轉(zhuǎn)移裝置；

通過所述轉(zhuǎn)移裝置轉(zhuǎn)移多個所述目標(biāo)發(fā)光器件至一目標(biāo)基板上；

在每一個所述目標(biāo)發(fā)光器件上形成封裝層，得到所述顯示面板。

可選的，在本申請的一些實施例中，所述通過所述轉(zhuǎn)移裝置轉(zhuǎn)移多個所述目標(biāo)發(fā)光器件至一目標(biāo)基板上的步驟還包括：

在所述承載基板上形成多個磁性構(gòu)件，多個所述磁性構(gòu)件與多個所述目標(biāo)發(fā)光器件一一對應(yīng)；

將所述轉(zhuǎn)移基板轉(zhuǎn)移至所述承載基板上，使所述轉(zhuǎn)移基板靠近所述承載基板的一側(cè)與多個所述磁性構(gòu)件磁性連接；