[發明專利]加料組件及具有其的單晶生長裝置、加料方法

有效

• 申請號: 202210301704.7
• 申請日: 2022-03-24
• 公開（公告）號: CN114686978B
• 公開（公告）日: 2023-05-30
• 發明（設計）人: 陳俊宏
• 申請（專利權）人: 中環領先（徐州）半導體材料有限公司;中環領先半導體材料有限公司
• 主分類號: C30B27/02
• 分類號: C30B27/02;C30B29/06
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 徐章偉

1.一種用于單晶生長裝置的加料組件，其特征在于，所述單晶生長裝置包括：爐體、坩堝以及所述加料組件，所述爐體內限定出爐室，所述坩堝設于所述爐室內，所述加料組件適于向所述坩堝內補充原料，所述加料組件包括：

加料筒，所述加料筒內形成容納所述原料的容納腔，所述容納腔的朝向所述坩堝一側形成開口；

導料件，所述導料件可移動地設于所述容納腔內，所述導料件朝向所述開口的表面形成為導料面，所述導料面與所述開口的內周壁之間限定出出料口，所述導料件具有關閉所述出料口的展開狀態以及打開所述出料口的收合狀態，所述導料件包括：

環形的連接件；

隔擋葉片，在由上至下的方向上，所述隔擋葉片朝向所述連接件的徑向外側傾斜延伸，所述隔擋葉片設有多個，多個隔擋葉片沿所述連接件的周向排布且相鄰的兩個所述隔擋葉片的至少部分重疊設置，以形成所述導料面，所述導料件在所述展開狀態和所述收合狀態之間切換的過程中，所述導料面相對于水平面的傾斜角度可變；

調節件，所述調節件適于驅動多個所述隔擋葉片以所述連接件與所述隔擋葉片的連接處的切線為軸轉動，使所述導料件在所述展開狀態和所述收合狀態之間切換，以調節所述出料口的大小以及所述導料面相對于水平面的傾斜角度，所述調節件適于驅動所述連接件升降帶動所述導料件升降，以調節所述出料口大小。

2.根據權利要求1所述的單晶生長裝置的加料組件，其特征在于，所述調節件包括：

驅動板，所述驅動板設于所述導料件朝向所述坩堝的一側，所述驅動板與多個所述隔擋葉片朝向所述坩堝的一側抵接；

第一驅動模塊，所述第一驅動模塊適于驅動所述驅動板升降。

3.根據權利要求2所述的單晶生長裝置的加料組件，其特征在于，所述隔擋葉片上形成過濾孔，所述過濾孔的直徑小于所述原料的最小直徑，所述隔擋葉片與所述驅動板限定出雜質收集腔，以在所述原料沿所述隔擋葉片下落并從所述出料口進入所述坩堝的過程中，所述原料中的雜質通過所述過濾孔進入所述雜質收集腔。

4.根據權利要求3所述的單晶生長裝置的加料組件，其特征在于，所述調節件還包括：

第一底板，所述第一底板設于所述驅動板朝向所述坩堝的軸向端面上，所述驅動板上形成第一過孔，所述第一底板上形成第二過孔，所述第二過孔的內徑不小于所述第一過孔的內徑，所述第一驅動模塊適于驅動所述第一底板相對所述驅動板轉動，以使得所述第一過孔和所述第二過孔對齊或錯開。

5.根據權利要求2所述的單晶生長裝置的加料組件，其特征在于，所述原料至少包括：一類原料和二類原料，所述一類原料的直徑大于所述二類原料的直徑，所述隔擋葉片上形成分料孔，所述分料孔與所述驅動板在上下方向上相對設置，所述分料孔的直徑小于所述一類原料的直徑且大于所述二類原料的直徑，所述調節件還包括：

第二底板，所述第二底板設于所述驅動板朝向所述坩堝的軸向端面上，所述驅動板上形成第三過孔，所述第三過孔的直徑不小于所述二類原料的直徑，所述第二底板上形成第四過孔，所述第四過孔的內徑不小于所述第三過孔的內徑，所述第一驅動模塊適于驅動所述第二底板相對所述驅動板轉動，以使得所述第三過孔和所述第四過孔對齊或錯開。

6.根據權利要求2所述的單晶生長裝置的加料組件，其特征在于，所述加料組件還包括：第二驅動模塊，所述第二驅動模塊包括底端與所述連接件連接的傳動軸以及驅動所述傳動軸升降和/或轉動的第二驅動件，所述第一驅動模塊包括：第一驅動件和傳動桿，所述驅動板設于所述傳動桿的底端，所述第一驅動件適于驅動所述傳動桿升降和/或轉動，所述傳動桿穿設于所述傳動軸。

7.一種單晶生長裝置，其特征在于，包括：根據權利要求1-6中任一項所述的加料組件。