[發明專利]一種晶圓良率數據的處理方法及裝置

有效

• 申請號: 202210300083.0
• 申請日: 2022-03-25
• 公開（公告）號: CN114397985B
• 公開（公告）日: 2022-07-12
• 發明（設計）人: 楊文浩;邵康鵬
• 申請（專利權）人: 杭州廣立微電子股份有限公司
• 主分類號: G06F3/0481
• 分類號: G06F3/0481;G06F3/04847
• 代理公司: 杭州華進聯浙知識產權代理有限公司 33250
• 代理人: 周長梅

1.一種晶圓良率數據的處理方法，其特征在于，包括：

在數據可視化界面中展示主顯示組件和至少一個從顯示組件，其中，所述主顯示組件包括可在多數據維度展示晶圓良率和/或良率相關參數趨勢的圖表組件，所述至少一個從顯示組件包括與所述主顯示組件在相同數據維度上的晶圓良率堆疊圖和/或失效類型失效率圖表，其中，所述失效類型失效率圖表用于展示在不同預設失效類型下的晶圓失效率；

響應于用戶在所述主顯示組件的所述圖表組件中至少一個數據維度的篩選操作，獲取篩選后的所述至少一個數據維度的數據范圍；

確定所述數據范圍分別在所述主顯示組件和所述至少一個從顯示組件中對應的數據結果；

根據所述數據結果分別調整所述主顯示組件和所述至少一個從顯示組件中的展示結果。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在所述在數據可視化界面中展示主顯示組件和至少一個從顯示組件之前，所述方法還包括：

獲取晶圓測試的生數據，并按照至少一種數據維度對所述生數據進行預統計并存儲預統計結果；

對應地，所述確定所述數據范圍分別在所述主顯示組件和所述至少一個從顯示組件中對應的數據結果，包括：

根據與所述數據范圍相匹配的數據維度所對應的預統計結果，生成所述主顯示組件和所述至少一個從顯示組件中對應的數據結果。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在數據可視化界面中展示主顯示組件和至少一個從顯示組件之后，所述方法還包括：

響應于用戶對所述主顯示組件中晶圓良率和/或良率相關參數的切換，切換顯示與所述主顯示組件相匹配的至少一個從顯示組件。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述確定所述數據范圍分別在所述主顯示組件和所述至少一個從顯示組件中對應的數據結果，包括：

確定所述數據范圍所對應的良率及良率相關參數的數值、晶圓良率的堆疊值和/或失效類型失效率的統計值；

對應地，所述根據所述數據結果分別調整所述主顯示組件和所述至少一個從顯示組件中的展示結果，包括：

根據所述良率及良率相關參數的數值調整所述圖表組件的展示結果，根據所述晶圓良率的堆疊值調整所述晶圓良率堆疊圖的展示結果和/或根據所述失效類型失效率的統計值調整所述失效類型失效率圖表的展示結果。

5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，還包括：

響應于用戶在所述晶圓良率堆疊圖上的預設操作，展示參與統計所述晶圓良率堆疊圖的各個晶圓的晶圓良率圖。

6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述根據所述數據結果分別調整所述主顯示組件和所述至少一個從顯示組件中的展示結果，包括：

根據所述數據結果調整所述主顯示組件和所述至少一個從顯示組件，并在所述主顯示組件和所述至少一個從顯示組件中對比顯示所述數據結果所對應的基準數據結果。

7.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在所述主顯示組件包括可在多維度展示失效類型失效率趨勢的圖表組件的情況下，所述從顯示組件至少包括多種失效類型的可選擇控件；對應地，所述方法還包括：

響應于用戶選擇的至少一種失效類型，執行下述中的至少一種調整：

將所述主顯示組件切換至所述至少一種失效類型所對應的失效率趨勢；

在所述主顯示組件突出顯示所述至少一種失效類型所對應的失效率；

在所述從顯示組件中所述至少一種失效類型所對應的失效率堆疊圖。

8.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述篩選操作包括下述中的至少一種：在所述圖表組件中自由圈選數據范圍、在提供的數據可選項中選擇數據范圍。