[發(fā)明專利]一種提高ITO靶材初坯致密度的制備設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210292313.3
• 申請日: 2022-03-23
• 公開（公告）號: CN114619543B
• 公開（公告）日: 2023-09-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 唐安泰
• 申請（專利權(quán)）人: 株洲火炬安泰新材料有限公司
• 主分類號: B28B3/04
• 分類號: B28B3/04;B28B7/00;B28B7/44;B28B17/00
• 代理公司: 長沙鑫澤信知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 43247
• 代理人: 刁飛

本發(fā)明公開了一種提高ITO靶材初坯致密度的制備設(shè)備，包括上模框、第一移動(dòng)支架、轉(zhuǎn)動(dòng)組件及升降組件；所述上?？蛑谢瑒?dòng)設(shè)置有壓板，所述壓板與所述第一移動(dòng)支架之間通過伸縮油缸連接，所述伸縮油缸的外部套設(shè)有第一彈性件；所述升降組件設(shè)置有兩個(gè)分別設(shè)置在所述第一移動(dòng)支架的兩側(cè)并與所述上?？蛑g相連接；所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件設(shè)置在所述第一移動(dòng)支架上，所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的兩側(cè)分別與兩個(gè)所述升降組件之間傳動(dòng)連接；該裝置通過轉(zhuǎn)動(dòng)組件、升降組件及真空機(jī)之間的配合，利用大氣壓完成進(jìn)料按壓，在按壓材料的過程中不斷提高第一移動(dòng)支架的高度，經(jīng)過反復(fù)的加料擠成型可將材料中氣泡完全排除，并且反復(fù)的擠壓可以將材料擠壓的更加緊實(shí)，進(jìn)而增加成型件密度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于注漿成型技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種提高ITO靶材初坯致密度的制備設(shè)備。

背景技術(shù)

ITO是銦錫氧化物的英文縮寫，其主要特征是它的薄膜既有很好的導(dǎo)電性，又有很高的透光率，現(xiàn)在全世界的ITO靶材用量在1000－1200噸；目前在制備ITO靶材坯的過程中存在ITO靶材坯的密度不均勻的現(xiàn)象，同時(shí)在注塑材料的過程中材料中容易出現(xiàn)氣泡。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問題，本發(fā)明目的在于提供一種提高ITO靶材初坯致密度的制備設(shè)備。

本發(fā)明所采用的技術(shù)方案為：

一種提高ITO靶材初坯致密度的制備設(shè)備，包括上模框、第一移動(dòng)支架、轉(zhuǎn)動(dòng)組件及升降組件；

所述上?？蛑谢瑒?dòng)設(shè)置有壓板，所述壓板與所述第一移動(dòng)支架之間通過伸縮油缸連接，所述伸縮油缸的外部套設(shè)有第一彈性件；

所述壓板上安裝有真空機(jī)及進(jìn)料管，所述進(jìn)料管上設(shè)置有電磁閥；

所述升降組件設(shè)置有兩個(gè)分別設(shè)置在所述第一移動(dòng)支架的兩側(cè)并與所述上模框之間相連接；

所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件設(shè)置在所述第一移動(dòng)支架上，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件的兩側(cè)分別與兩個(gè)所述升降組件之間傳動(dòng)連接；所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件在所述伸縮油缸中油脂回流至油箱的過程中帶動(dòng)升降組件轉(zhuǎn)動(dòng)來提高第一移動(dòng)支架的高度。

優(yōu)選的，還包括下?？?，所述下?？蚺c所述上模框的尺寸相同，所述下模框與上模框的兩側(cè)分別通過兩個(gè)伸縮氣缸連接。

優(yōu)選的，所述上?？蚺c下?？蛑g的閉合面之間設(shè)置有軟質(zhì)密封條，所述上模塊與所述下模塊閉合后與所述壓板之間形成成型腔。

優(yōu)選的，所述上?？蜻€的兩側(cè)內(nèi)部均設(shè)置有滑軌，所述第一移動(dòng)支架的兩側(cè)分別滑動(dòng)連接在兩個(gè)的所述滑軌上，所述壓板的外邊緣與所述上模框之間設(shè)置有密封邊框。

優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件包括固定連接在所述第一移動(dòng)支架上的雙頭氣缸及滑動(dòng)連接在所述第一移動(dòng)支架上的第二移動(dòng)支架，所述第二移動(dòng)支架設(shè)置為兩個(gè)，兩個(gè)所述第二移動(dòng)支架對稱分布在第一移動(dòng)支架上，所述雙頭氣缸設(shè)置在所述第一移動(dòng)支架的中部，所述雙頭氣缸的兩端分別與兩個(gè)所述第二移動(dòng)支架固定連接。

優(yōu)選的，每個(gè)所述第二移動(dòng)支架上均固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)油缸，每個(gè)所述轉(zhuǎn)動(dòng)油缸的轉(zhuǎn)動(dòng)端均固定連接有第一摩擦輪，每個(gè)所述轉(zhuǎn)動(dòng)油缸設(shè)置在所述伸縮油缸與所述油箱之間并通過導(dǎo)管與兩者相連通。

優(yōu)選的，所述升降組件包括轉(zhuǎn)動(dòng)連接在所述第一移動(dòng)支架上的螺紋套筒及固定連接在所述上?？蛏系慕z桿，所述螺紋套筒與所述絲桿之間螺紋連接，所述螺紋套筒的外部固定連接有第二摩擦輪。

優(yōu)選的，所述第二摩擦輪與所述第一摩擦輪之間傳動(dòng)連接，所述第二摩擦輪與所述第一移動(dòng)支架之間設(shè)置有扭轉(zhuǎn)復(fù)位件。

優(yōu)選的，所述下模框的底部設(shè)置有排水管，每個(gè)所述排水管的上均設(shè)置有單向閥，所述下模框的內(nèi)部側(cè)底部設(shè)置有濾網(wǎng)。

優(yōu)選的，所述下?？蜻€設(shè)置有流水槽，所述流水槽之間成網(wǎng)格狀設(shè)置，所述排水管的位于所述流水槽的的交匯處。