[發明專利]一種具有不同傾角匯流條的聲表面波諧振器

在審

• 申請號: 202210290656.6
• 申請日: 2022-03-23
• 公開（公告）號: CN114614794A
• 公開（公告）日: 2022-06-10
• 發明（設計）人: 劉賢棟;高安明;張海力;姜偉
• 申請（專利權）人: 浙江星曜半導體有限公司
• 主分類號: H03H9/25
• 分類號: H03H9/25;H03H9/145;H03H9/02
• 代理公司: 合肥昊晟德專利代理事務所(普通合伙) 34153
• 代理人: 何梓秋

1.一種具有不同傾角匯流條的聲表面波諧振器，其特征在于，包括：叉指換能器、兩個反射柵，兩個所述反射柵分別設置在所述叉指換能器兩側；所述反射柵包括兩個短路條、反射柵指條，所述反射柵指條設置在所述兩個短路條之間，所述短路條將所述反射柵指條短路，構成短路反射柵；所述叉指換能器包括并排設置的上下兩個叉指電極，所述叉指電極包括折線形匯流條與電極指條，所述電極指條與所述折線形匯流條連接，所述電極指條分為真指與假指，同一個叉指電極上的真指與假指間隔設置，不同叉指電極上的真指與假指錯位設置。

2.根據權利要求1所述的一種具有不同傾角匯流條的聲表面波諧振器，其特征在于：間距最近的所述反射柵中的反射柵指條與所述叉指電極中的電極指條之間的間距為叉指換能器的半周期波長。

3.根據權利要求2所述的一種具有不同傾角匯流條的聲表面波諧振器，其特征在于：同一個叉指電極上的真指與假指的中心間距為叉指換能器的半周期波長。

4.根據權利要求2或3所述的一種具有不同傾角匯流條的聲表面波諧振器，其特征在于：不同叉指電極上相對位置的真指與假指之間的間距為Dg，Dg取值小于0.5個叉指換能器的周期波長。

5.根據權利要求4所述的一種具有不同傾角匯流條的聲表面波諧振器，其特征在于：所述折線形匯流條至少包括相連的兩段，折線形匯流條中兩段的偏向角數值均在能流角±10°范圍內或者能流角補角±10°范圍內，其中能流角為能量流與叉指電極垂直方向的夾角，偏向角為折線形匯流條中各段與叉指電極垂直方向的夾角。

6.根據權利要求5所述的一種具有不同傾角匯流條的聲表面波諧振器，其特征在于：所述折線形匯流條包括相連的四段，其中上叉指電極的折線形匯流條第一段和X軸正方向夾角為θ₁，第二段和X軸負方向夾角為θ₂，第三段和X軸正方向夾角為θ₁，第四段和X軸負方向夾角為0°；其中下叉指電極的折線形匯流條第一段和X軸正方向夾角θ₃，第二段和X軸負方向夾角為θ₄，第三段和X軸正方向夾角為θ₃，第四段和X軸負方向夾角為0°；其中θ₁～θ₄的角度范圍是0°～15°。

7.根據權利要求6所述的一種具有不同傾角匯流條的聲表面波諧振器，其特征在于：X軸沿所述叉指電極垂直方向設置，位于所述叉指電極所在平面，Y軸沿所述叉指電極所在方向設置，位于所述叉指電極所在平面，并與X軸相互垂直。

8.根據權利要求7所述的一種具有不同傾角匯流條的聲表面波諧振器，其特征在于：兩個所述具有不同傾角匯流條的聲表面波諧振器在級聯時，級聯部分的匯流條為與X軸夾角為0°。

9.根據權利要求7所述的一種具有不同傾角匯流條的聲表面波諧振器，其特征在于：所述折線形匯流條包括相連的兩段，其中，上、下叉指電極的折線形匯流條第一段與X軸正方向夾角為6°，第二段與X軸負方向夾角為6°，所述短路條與X軸夾角為0°。

10.根據權利要求7所述的一種具有不同傾角匯流條的聲表面波諧振器，其特征在于：所述折線形匯流條包括相連的兩段，其中，上、下叉指電極的折線形匯流條第一段與X軸正方向夾角為6°，第二段與X軸負方向夾角為6°，靠近所述折線形匯流條第一段的所述短路條與X軸正方向夾角為6°，靠近所述折線形匯流條第二段的所述短路條與X軸負方向夾角為6°。